가스 센서 및 그 제조방법

    公开(公告)号:KR101925000B1

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:KR1020170050778

    申请日:2017-04-20

    Abstract: 본 발명은 기판; 기판 상에 형성되되 개구부를 포함하는 절연층; 일단부가 상기 절연층으로 각각 덮이고 타단부가 상기 개구부에서 각각 노출되되, 상기 개구부에서 서로 이격되는, 한 쌍의 제 1 전극 패턴; 상기 한 쌍의 제 1 전극 패턴과 상기 기판 사이에 개재되되 상기 절연층 내에 매립되어 배치된 제 2 전극 패턴; 및 상기 한 쌍의 제 1 전극 패턴 사이의 이격 영역을 메우도록 형성된, CNT 구조체;를 포함하는 가스 센서를 제공한다.

    가스 센서 및 그 제조방법

    公开(公告)号:KR1020180117795A

    公开(公告)日:2018-10-30

    申请号:KR1020170050778

    申请日:2017-04-20

    Abstract: 본발명은기판; 기판상에형성되되개구부를포함하는절연층; 일단부가상기절연층으로각각덮이고타단부가상기개구부에서각각노출되되, 상기개구부에서서로이격되는, 한쌍의제 1 전극패턴; 상기한 쌍의제 1 전극패턴과상기기판사이에개재되되상기절연층내에매립되어배치된제 2 전극패턴; 및상기한 쌍의제 1 전극패턴사이의이격영역을메우도록형성된, CNT 구조체;를포함하는가스센서를제공한다.

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