公开(公告)号：KR101765512B1

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：KR1020160013279

申请日：2016-02-03

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최양규 ,  허재 ,  김다진 ,  김충기 ,  방태욱

IPC: H01Q1/36 ,  H01Q21/00 ,  H01Q21/06 ,  H01L29/861

Abstract: 본발명에따른플라즈마안테나는, PIN 다이오드구조를가지는플라즈마안테나로서, 비도핑기판; 기판상에형성된 P형영역, N형영역및 그사이에위치한비도핑영역에의하여형성된복수의 PIN 다이오드; P형영역및 N형영역상부에형성된복수의연결선; 복수의 PIN 다이오드간의누설전류를차단하는절연영역; 및복수의연결선중 P형영역으로만이루어진영역또는 N형영역으로만이루어진영역상부에형성된연결선에구비되는패드;를포함하고, P형영역으로만이루어진영역상부의연결선에형성된패드는전압원에연결되고, N형영역으로만이루어진영역상부의연결선에형성된패드는그라운드(GND)에연결된다.

Abstract translation: 根据本发明的等离子体天线是具有PIN二极管结构的等离子体天线，包括：非掺杂基板; 由形成在衬底上的P型区域，位于其间的N型区域和非掺杂区域形成的多个PIN二极管; 形成在P型区域和N型区域上的多条连接线; 隔离区，用于阻止多个PIN二极管之间的漏电流; 和设置在形成于一个区域所作的多条连接线的P型区域euroman的包含区域或N型区域euroman以上的连接线的焊盘;垫包括，和形成在该区域的连接线，上部由euroman P型区域被连接到一个电压源，N 形成在仅由裸片区域构成的区域上方的连接线上的焊盘连接到地（GND）。

公开(公告)号：KR102027545B1

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：KR1020170154949

申请日：2017-11-20

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최양규 ,  김다진 ,  허재 ,  방태욱 ,  김충기

IPC: H01L27/08 ,  H01L29/868 ,  H01L27/102