적응 제어 알고리즘을 위한 중앙처리장치-병렬처리장치 구조 기반의 데이터 처리 장치 및 그 방법

    公开(公告)号:WO2020045730A1

    公开(公告)日:2020-03-05

    申请号:PCT/KR2018/011756

    申请日:2018-10-05

    Inventor: 박영진 김영석

    Abstract: 본 발명에 의한 적응 제어 알고리즘을 위한 중앙처리장치-병렬처리장치 구조 기반의 데이터 처리 장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 데이터 처리 장치는 기준 신호와 오차 신호를 입력 받고, 입력 받은 상기 기준 신호와 적응 처리를 위한 가중치 필터의 계수 사이의 컨벌루션을 수행하여 그 수행한 결과로 제어 신호를 생성하는 중앙처리장치; 및 상기 중앙처리장치로부터 상기 기준 신호와 상기 오차 신호를 제공 받으면, 제공 받은 상기 기준 신호와 상기 오차 신호를 기반으로 상기 가중치 필터의 계수를 업데이트하고, 상기 업데이트된 가중치 필터의 계수를 상기 중앙처리장치에 제공하는 병렬처리장치를 포함할 수 있다.

    박막 스트레스 측정장치 및 이를 위한 프로브의 제조방법
    5.
    发明授权
    박막 스트레스 측정장치 및 이를 위한 프로브의 제조방법 失效
    用于测量薄膜中的应力的装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR100279017B1

    公开(公告)日:2001-01-15

    申请号:KR1019990001423

    申请日:1999-01-19

    CPC classification number: G01L1/24

    Abstract: 박막스트레스측정장치및 이에사용되는광섬유다발프로브의제작방법에대해개시하고있다. 본발명의박막스트레스측정장치는, 광원부, 광원에서나온광을기판의이면에반사시켜반사된광을광 검출기에입사시키는센서부, 광검출기, 검출된광의세기를증폭하여처리하는부분으로구성된다. 센서부분은광섬유다발프로브로서, 이는복수의입사용광섬유가닥들과, 입사용광섬유가닥들의각각의주위에대칭적으로분포하게위치한복수의수신용광섬유가닥들과, 이들을내부에삽입하여집적시키기위한모세관으로이루어진다. 이러한광섬유가닥들을배치함에있어서, 가장좋은감도를갖도록실제실험결과와일치하는전산시늉프로그램을사용할수 있다. 본발명에따르면, 박막형성시필연적으로발생하는스트레스를실시간, 초고감도로측정할수 있다.

    박막 스트레스 측정장치 및 이를 위한 프로브의 제조방법
    6.
    发明公开
    박막 스트레스 측정장치 및 이를 위한 프로브의 제조방법 失效
    用于测量薄膜应力的装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020000051142A

    公开(公告)日:2000-08-16

    申请号:KR1019990001423

    申请日:1999-01-19

    CPC classification number: G01L1/24

    Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring a thin film stress and a method for manufacturing a probe therefor are provided to measure stress generated by forming a thin film on a substrate in real time with the growth of the thin film by an atom layer sensitivity for optimizing the physical property of the stress acting on the thin film and performing a quantitative test, thereby improving the reliability of the thin film. CONSTITUTION: An apparatus for measuring a thin film stress includes a light source(10), a bundle of optical fiber probes(30) including a plurality of light dissipating optical fibers(31), a plurality of light receiving optical fibers(32), and a capillary(21) to be inserted with the light dissipating and receiving optical fibers, a substrate holder(51) for fixing an end part of a substrate(50) for causing bending of the substrate by forming a thin film, an element for controlling a distance from a surface of the substrate, on which the thin film is not formed, to the probes, and a light detection element(40) for converting light from the light receiving optical fibers into electrical signals.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于测量薄膜应力的装置及其制造方法,用于测量在基板上实时形成薄膜所产生的应力,随着薄膜的生长以原子层的灵敏度优化 作用在薄膜上的应力的物理性质并进行定量测试,从而提高薄膜的可靠性。 一种用于测量薄膜应力的装置,包括光源(10),包括多个光散射光纤(31)的光纤探针束(30),多个光接收光纤(32), 和用于散射和接收光纤的毛细管(21),用于固定用于通过形成薄膜而使基板弯曲的基板(50)的端部的基板保持件(51),用于 控制从其上没有形成薄膜的基板的表面到探针的距离,以及用于将来自光接收光纤的光转换成电信号的光检测元件(40)。

    모노 적외선 카메라를 이용한 거리 측정 장치 및 그 방법

    公开(公告)号:KR101918887B1

    公开(公告)日:2018-11-14

    申请号:KR1020180011646

    申请日:2018-01-30

    Abstract: 모노적외선카메라를이용한거리측정장치및 그방법이개시된다. 일실시예에따른거리측정장치는이동체와, 상기이동체의이동에따라상기이동체의변위를측정하기위한센서와, 상기이동체의이동에따라열상이미지들을생성하기위한모노열화상카메라와, 상기이동체의변위및 상기열상이미지들을이용하여열상까지의실제거리를계산하는컨트롤러를포함한다.

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