公开(公告)号：KR101617952B1

公开(公告)日：2016-05-09

申请号：KR1020140098547

申请日：2014-07-31

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박재홍 ,  장현익 ,  김우충 ,  양충모 ,  김희연

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/60

Abstract: 본발명은경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는소프트리소그래피를이용하여경사진관통구멍을구비한구조체를제조하는방법에관한것이다. 본발명에따른경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법은, 경사진양각구조를구비한스탬프를준비하는단계와, 금속층이형성된기판상에고분자용액을도포하는단계와, 도포된고분자용액에상기스탬프를가압접촉시켜상기고분자용액에경사진음각구조를형성하는단계와, 상기고분자용액을경화하여경사진음각구조가형성된고분자층을형성하는단계와, 상기스탬프를경화된고분자층으로부터분리하는단계와, 상기고분자층의음각구조를식각하여상기금속층을노출시키는단계와, 노출된상기금속층과고분자층의음각구조에금속구조를형성하는단계와, 상기금속층과고분자층으로부터금속구조를분리하여경사진관통구멍을구비한구조체를얻는단계를포함한다. 본발명에따른경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법에따르면, 종래의방법에비해서용이하게경사진관통구멍을구비한구조체를제조할수 있다.

公开(公告)号：KR101705990B1

公开(公告)日：2017-02-13

申请号：KR1020150142066

申请日：2015-10-12

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박재홍 ,  김우충 ,  장현익 ,  윤해수 ,  안치원

IPC: G03F7/00 ,  B29C59/02 ,  B82Y40/00

Abstract: 본발명은고분자구조체의제조방법및 그고분자구조체를이용한미세패턴이형성된구조체의제조방법에관한것으로, 양각부분및 음각부분이패터닝된구조몰드를준비하는단계와, 상기준비된구조몰드를소수성처리및 친수성처리하는단계와, 상기소수성및 친수성처리된상기구조몰드의상부에유동성고분자용액을도포하여상기음각부분을제 1 고분자로충진하는단계와, 상기제 1 고분자가충진된상기구조몰드의상부를기판과접촉시킨후, 상기기판을가압하면서상기제 1 고분자를경화시키는단계와, 상기구조몰드로부터상기기판을분리하여상기기판의상부에제 1 고분자패턴이형성된제 1 고분자구조체를제조하는단계를포함함으로써, 미세패턴을갖는고분자구조체를제조할수 있다.

公开(公告)号：KR101547533B1

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：KR1020130141902

申请日：2013-11-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박재홍 ,  양충모 ,  김희연 ,  김병일 ,  김우충 ,  장현익 ,  김한흥 ,  유동은

IPC: B29C59/02

Abstract: 본발명은미세패턴이형성된구조체를제조하는방법에관한것으로서, 더욱상세하게는고분자몰드를이용한생산성이향상된미세패턴이형성된구조체의제조방법에관한것이다. 본발명에따른미세패턴이형성된구조체의제조방법은, (ㄱ) 표면에패턴이형성된고분자몰드를제조하는단계와, (ㄴ) 상기고분자몰드의패턴내에유동성재료를도포하는단계와, (ㄹ) 2차구조체지지기판을상기고분자몰드의패턴위에배치하는단계와, (ㅁ) 상기유동성재료를경화시켜상기 2차구조체지지기판에부착하는단계와, (ㅂ) 상기 2차구조체지지기판과상기고분자몰드를분리시켜, 상기유동성재료가경화되면서형성된유동성재료경화구조체가부착된 2차구조체지지기판을얻는단계를포함한다. 본발명에따른미세패턴이형성된구조체의제조방법은기포등에의한패턴결함이발생할확률이낮다는장점이있다. 따라서구조의미세화와고밀도화에유리하며수율이높다.

公开(公告)号：KR1020150059190A

公开(公告)日：2015-06-01

申请号：KR1020130141902

申请日：2013-11-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박재홍 ,  양충모 ,  김희연 ,  김병일 ,  김우충 ,  장현익 ,  김한흥 ,  유동은

IPC: B29C59/02

CPC classification number: B29C59/022 ,  B29C41/22 ,  B29C59/046 ,  B29C2059/023 ,  G03F7/0002

Abstract: 본발명은미세패턴이형성된구조체를제조하는방법에관한것으로서, 더욱상세하게는고분자몰드를이용한생산성이향상된미세패턴이형성된구조체의제조방법에관한것이다. 본발명에따른미세패턴이형성된구조체의제조방법은, (ㄱ) 표면에패턴이형성된고분자몰드를제조하는단계와, (ㄴ) 상기고분자몰드의패턴내에유동성재료를도포하는단계와, (ㄹ) 2차구조체지지기판을상기고분자몰드의패턴위에배치하는단계와, (ㅁ) 상기유동성재료를경화시켜상기 2차구조체지지기판에부착하는단계와, (ㅂ) 상기 2차구조체지지기판과상기고분자몰드를분리시켜, 상기유동성재료가경화되면서형성된유동성재료경화구조체가부착된 2차구조체지지기판을얻는단계를포함한다. 본발명에따른미세패턴이형성된구조체의제조방법은기포등에의한패턴결함이발생할확률이낮다는장점이있다. 따라서구조의미세화와고밀도화에유리하며수율이높다.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造具有精细图案的结构的方法，更具体地说，涉及使用聚合物模具提高生产率的精细图案的结构的制造方法，包括以下步骤：（a）制造聚合物模具， 表面有图案; （b）用流体材料在聚合物模具上涂布图案; （d）在所述聚合物模具上设置辅助结构支撑基板; （e）将固化的流体材料附着到二级结构支撑基底; 和（f）将聚合物模具与二级结构支撑基材分离，从而获得附着有通过固化流体材料形成的流体材料的固化结构的第二结构支撑基底，从而具有高产率，同时具有较低的图案可能性 气泡造成的故障，有利于制作微结构和高密度。

公开(公告)号：KR1020160017195A

公开(公告)日：2016-02-16

申请号：KR1020140098547

申请日：2014-07-31

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박재홍 ,  장현익 ,  김우충 ,  양충모 ,  김희연

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L21/0273

Abstract: 본발명은경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는소프트리소그래피를이용하여경사진관통구멍을구비한구조체를제조하는방법에관한것이다. 본발명에따른경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법은, 경사진양각구조를구비한스탬프를준비하는단계와, 금속층이형성된기판상에고분자용액을도포하는단계와, 도포된고분자용액에상기스탬프를가압접촉시켜상기고분자용액에경사진음각구조를형성하는단계와, 상기고분자용액을경화하여경사진음각구조가형성된고분자층을형성하는단계와, 상기스탬프를경화된고분자층으로부터분리하는단계와, 상기고분자층의음각구조를식각하여상기금속층을노출시키는단계와, 노출된상기금속층과고분자층의음각구조에금속구조를형성하는단계와, 상기금속층과고분자층으로부터금속구조를분리하여경사진관통구멍을구비한구조체를얻는단계를포함한다. 본발명에따른경사진관통구멍을구비한구조체의제조방법에따르면, 종래의방법에비해서용이하게경사진관통구멍을구비한구조체를제조할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造包括倾斜通孔的结构的方法，更具体地说，涉及一种使用软光刻技术制造包括倾斜通孔的结构的方法。 根据本发明，用于制造包括倾斜通孔的结构的方法包括以下步骤：制备包括倾斜压花结构的印模; 将聚合物溶液施加到其上形成有金属层的基板上; 通过使施加的聚合物溶液和印模在压力下彼此接触来在聚合物溶液上形成倾斜的雕刻结构; 形成通过硬化聚合物溶液形成倾斜雕刻结构的聚合物层; 将印模与硬化的聚合物层分离; 通过蚀刻聚合物层的雕刻结构来暴露金属层; 在金属层和聚合物层的暴露的雕刻结构上形成金属结构; 以及通过从金属层和聚合物层分离金属结构，获得包括倾斜通孔的结构。 根据用于制造包括倾斜通孔的结构的方法，与常规方法相比，能够容易地制造包括倾斜通孔的结构。