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公开(公告)号：WO2017159973A2
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：PCT/KR2016/015413
申请日：2016-12-28
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/768 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02 , H01L21/768
Abstract: 기판 상에 박막을 형성하는 단계; 및 상기 박막에 빛을 조사하여 상기 박막과 기판 사이의 계면간 화학 및 물리적 결합을 형성하는 단계를 포함하는 박막 제조방법이 제공된다.
Abstract translation: 在衬底上形成薄膜; 并用光照射薄膜以在薄膜和基底之间形成界面化学和物理结合。
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公开(公告)号：KR102150047B1
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：KR1020150080685
申请日：2015-06-08
Applicant: 한국과학기술원 , 코오롱인더스트리 주식회사
IPC: C01B32/184 , B01J19/08
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公开(公告)号：KR101519888B1
公开(公告)日：2015-05-15
申请号：KR1020130120855
申请日：2013-10-10
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 목적은 하이브리드 투명전극 및 이의 제조방법을 제공하는 데 있다. 이를 위하여 이를 위하여 본 발명은 투명기판 상에 금속 메쉬층 및 은 나노와이어 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 메쉬 및 은 나노와이어의 하이브리드 투명전극을 제공한다. 또한, 본 발명은 투명 기판 상에 금속 메쉬층을 형성하는 단계(단계 1); 및 상기 투명 기판 상에 형성된 금속 메쉬층에 은 나노와이어를 성장시켜 은 나노와이어 층을 형성하는 단계(단계 2);를 포함하는 하이브리드 투명전극의 제조방법을 제공한다. 본 발명에서는 미세 선폭을 가지는 금속 메쉬층 상에 은 나노와이어 층을 형성하여 금속 메쉬층이 눈에 보이게 되는 시인성 문제를 해결하고, 미세 선폭으로 인하여 발생하는 전기전도도의 저하를 은 나노와이어 층으로 보완할 수 있다. 또한, 금속 메쉬층과 은 나노와이어 층이 동시에 형성됨으로 인하여 전기 전도도가 향상될 수 있으므로, 은 나노와이어 층을 적절한 두께로 형성할 수 있어 나노와이어 층으로 인하여 발생하는 헤이즈(Haze) 문제를 해결할 수 있다. 나아가, 투명전극을 형성하기 위한 공정에서 화학적인 공정이 사용되지 않을 수 있으므로, 투명전극이 친환경적으로 제조될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170108612A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020160032786
申请日：2016-03-18
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/768 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02 , H01L21/768
Abstract: 기판상에박막을형성하는단계; 및상기박막에빛을조사하여상기박막과기판사이의계면간화학및 물리적결합을형성하는단계를포함하는박막제조방법이제공된다.
Abstract translation: 在衬底上形成薄膜; 并且将光照射到薄膜上以在薄膜和基底之间形成界面化学和物理结合。
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Patent Agency Ranking6.发明公开
公开(公告)号：KR1020170076027A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：KR1020150185727
申请日：2015-12-24
Applicant: 한국과학기술원 , 코오롱인더스트리 주식회사
IPC: H01L41/27 , H01L41/113 , H01L41/083 , H01L41/18 , H01L41/047 , H05B3/00
Abstract: 투명기판상에압전물질층을적층하는단계; 상기압전물질층상에패터닝된은 나노와이어전극층을적층하는단계; 및상기전극층에플래쉬램프로빛을조사하는어닐링단계를포함하는것을특징으로하는투명나노제너레이터제조방법이제공된다.
Abstract translation: 在透明基板上堆叠压电材料层; 在压电材料层上沉积图案化的银纳米线电极层; 以及用闪光灯向电极层照射光的退火步骤。
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公开(公告)号：KR1020150069788A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：KR1020130156330
申请日：2013-12-16
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/28
CPC classification number: H01L21/76898 , H01L21/02601 , H01L21/268 , H01L21/288 , H01L21/823475
Abstract: 기판상부에구리나노입자를포함하는코팅층을형성하는단계, 레이저를코팅층에조사하는단계, 잔류코팅층을제거하는단계를포함하고, 상기구리나노입자는, 90%이상의구리를포함하는것을특징으로하고, 상기레이저를코팅층에조사하는단계는, 레이저스캐닝속도가 1 ~ 3000mm/s의속도로스캐닝하는것을특징으로하는구리배선의제조방법.
Abstract translation: 铜线的制造方法包括：在基板的上部形成包含铜纳米粒子的被覆层的工序; 将激光发射到涂层的步骤; 以及去除残留涂层的步骤。 铜纳米颗粒包含不少于90％的铜。 向涂层发射激光的步骤以1-3000mm / s的激光扫描速度进行扫描。
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公开(公告)号：KR101394968B1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：KR1020120113607
申请日：2012-10-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/36 , H01L21/027
Abstract: 금속패턴 형성방법에서, 기판 상에 금속 잉크층을 형성한다. 상기 금속 잉크층이 형성된 상기 기판을 가열하고, 상기 금속 잉크층 상에 보호층을 형성하고, 상기 기판의 상부에서 조사된 레이저가 상기 보호층을 통과하여 상기 금속 잉크층을 패터닝하며, 상기 보호층 및 상기 금속 잉크층을 제거하여 금속 패턴을 잔류시킨다. 이와 같이, 상기 금속 잉크층 상에 보호층을 형성한 후, 레이저 패터닝 공정을 수행하므로, 상기 금속 잉크층이 공기 중의 산소, 수분 또는 외부의 광과 직접 접촉하는 것이 방지되어, 상기 레이저 패터닝을 통한 금속 패턴의 형성시 균일성이 향상될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160144195A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：KR1020150080685
申请日：2015-06-08
Applicant: 한국과학기술원 , 코오롱인더스트리 주식회사
Abstract: 본발명은플래시램프를이용한그래핀제조장치에관한것으로서, 본발명에의하면, 기판층과상기기판층에적층된금속층을구비하는그래핀성장판이수용되는내부공간을제공하는반응챔버; 및상기금속층을향해빛을조사하는광 조사부를포함하며, 상기광 조사부는상기금속층으로조사되는빛을생성하는플래시램프와, 상기금속층으로조사되는플래시램프의빛이통과하는관통구멍이형성되고상기금속층과대향하도록위치하는덮개부를구비하며, 상기관통구멍은상기관통구멍을통과하는빛 전체가상기금속층의특정영역을조사하도록형성되는것을특징으로하는플래시램프를이용한그래핀제조장치가제공된다.
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公开(公告)号：KR1020160144194A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：KR1020150080684
申请日：2015-06-08
Applicant: 한국과학기술원 , 코오롱인더스트리 주식회사
Abstract: 고상탄소공급원물질을촉매금속상에도포하는단계; 환원분위기에서상기도포된고상탄소공급원물질에빛을조사하는단계; 및상기고상탄소공급원물질로부터그래핀을상기촉매금속상에형성하는단계를포함하는것을특징으로하는그래핀제조방법이제공된다.
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