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1.发明授权패턴 형성방법 및 이를 적용한 투명전극, 터치스크린, 태양전지, 마이크로 히터, 투명 박막 트랜지스터, 플렉서블 디스플레이 패널, 플렉서블 태양전지, 전자책, 박막 트랜지스터, 전자파 차폐시트, 플렉서블 인쇄회로기판 有权用于形成图案，透明电极，触摸屏，太阳能电池，微型加热器，透明薄膜晶体管，柔性显示面板，柔性太阳能电池，电子书，薄膜晶体管，电磁屏蔽片，柔性印刷电路板
公开(公告)号：KR101317216B1
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：KR1020110113586
申请日：2011-11-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01B13/00 , H01B5/14 , G06F3/041 , H01L29/786
Abstract: 본 발명의 패턴 형성방법은, 탄소나노튜브 용액과 금속잉크와의 혼합물을 만드는 단계; 혼합물을 기판에 코팅하는 단계; 기판을 가열하여 혼합물의 점도를 레이저 조사가 용이하도록 조절하는 단계; 기판에 레이저를 조사하여, 금속잉크의 금속입자가 녹아 탄소나노튜브 용액의 탄소나노튜브를 연결하여, 소정 형상의 패턴을 선택적으로 형성하는 단계; 및 기판을 세척하는 단계;를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130106677A
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：KR1020120028402
申请日：2012-03-20
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a photomask is provided to manufacture a photomask by using an organic metal compound ink which self-generates microparticles by heating, thereby manufacturing a photomask in a standby state without using high cost vacuum apparatus. CONSTITUTION: A manufacturing method of a photomask comprises a step of forming a solution layer (20) by coating a base substrate (10) with an organic metal compound ink; a step of self-generating microparticles (25) on the solution layer by heat-treating the base substrate with the solution layer formed; a step of forming a metal pattern by irradiating the solution layer with laser; a step of cleansing the solution layer with the metal pattern formed; and a step of covering the metal pattern with a protection part.
Abstract translation: 目的：提供光掩模的制造方法，通过使用通过加热自发生成微粒的有机金属化合物油墨来制造光掩模，从而在没有使用高成本的真空装置的情况下在待机状态下制造光掩模。 构成：光掩模的制造方法包括通过用有机金属化合物油墨涂覆基底基材（10）形成溶液层（20）的步骤; 通过利用形成的溶液层对基底基板进行热处理，在溶液层上自发微粒（25）的步骤; 通过用激光照射溶液层形成金属图案的步骤; 用形成的金属图案清洁溶液层的步骤; 以及用保护部件覆盖金属图案的步骤。
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公开(公告)号：KR1020130106676A
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：KR1020120028401
申请日：2012-03-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/20 , G03F7/0047 , G03F7/38 , H01L21/0275
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a fine metal electrode is provided to reduce contaminants by forming the fine metal electrode with organic metal compound ink. CONSTITUTION: A solution layer (20) is formed on a first base substrate (10). A fine particle is generated on the solution layer. The first base substrate and a photomask (40) are arranged. The upper surface of the photomask is irradiated by a laser. The photomask is separated from the first base substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造精细金属电极的方法，以通过用有机金属化合物油墨形成细金属电极来减少污染物。 构成：在第一基底（10）上形成溶液层（20）。 在溶液层上产生细颗粒。 布置第一基底和光掩模（40）。 光掩模的上表面被激光照射。 光掩模与第一基底基板分离。
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公开(公告)号：KR101394968B1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：KR1020120113607
申请日：2012-10-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/36 , H01L21/027
Abstract: 금속패턴 형성방법에서, 기판 상에 금속 잉크층을 형성한다. 상기 금속 잉크층이 형성된 상기 기판을 가열하고, 상기 금속 잉크층 상에 보호층을 형성하고, 상기 기판의 상부에서 조사된 레이저가 상기 보호층을 통과하여 상기 금속 잉크층을 패터닝하며, 상기 보호층 및 상기 금속 잉크층을 제거하여 금속 패턴을 잔류시킨다. 이와 같이, 상기 금속 잉크층 상에 보호층을 형성한 후, 레이저 패터닝 공정을 수행하므로, 상기 금속 잉크층이 공기 중의 산소, 수분 또는 외부의 광과 직접 접촉하는 것이 방지되어, 상기 레이저 패터닝을 통한 금속 패턴의 형성시 균일성이 향상될 수 있다.
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公开(公告)号：KR101394967B1
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：KR1020120087791
申请日：2012-08-10
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01B13/00 , H01B5/14 , G02F1/1343
Abstract: 투명전극 제조방법 및 투명전극을 포함하는 전자소자 제조방법에서, 상기 투명전극의 제조방법은, 베이스 기판 상에 유전체를 도포하여 하유전체층을 형성하는 단계, 상기 하유전체층 상에 금속유기잉크를 도포하여 금속층을 형성하는 단계, 상기 금속층을 패터닝하여 금속 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 금속 패턴이 형성된 하유전체층 상에 유전체를 도포하여 상유전체층을 형성하는 단계를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101323701B1
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：KR1020110081065
申请日：2011-08-16
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 금속층 제조방법은, 기판 상에 유기금속화합물 잉크를 코팅하는 코팅단계; 상기 유기금속화합물 잉크의 유기물이 증발하기 시작하는 온도 이상이고, 상기 기판 상에 금속 코팅면이 형성되는 온도 미만인 소정온도로 상기 기판을 가열하는 가열단계; 및 상기 유기물이 모두 증발한 후 동일한 온도로 가열하여 상기 기판 상에 남은 금속입자들이 결합하여 소결되는 것에 의하여 금속층이 형성되는 금속층형성단계; 를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130108710A
公开(公告)日：2013-10-07
申请号：KR1020120030338
申请日：2012-03-26
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B22F9/06 , B22F1/0018
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a metal micro-particle using organo-metallic compound ink is provided to reduce time and costs for generating the metal micro-particle, and to distribute the metal micro-particle in a uniform gap and in a uniform size. CONSTITUTION: A method for manufacturing a metal micro-particle comprises the following steps: a solvent layer (20) is formed by coating organo-metallic compound ink on a base substrate (10); a minute particle is self-generated in the solvent layer by heat-treating the base substrate in which the solvent layer is formed; the minute particles are bound by increasing a size of the minute particles which are self-generated in the solvent layer by heat-treating the base substrate in which the solvent layer is formed additionally; and a method of coating the organo-metallic compound ink is one among a slot die coating, a roll coating, a blade coating, a spin coating, a spray coating, and an inkjet coating.
Abstract translation: 目的：提供使用有机金属化合物油墨制造金属微粒子的方法，以减少产生金属微粒的时间和成本，并以均匀的间隙和均匀的尺寸分布金属微粒子。 构成：金属微粒的制造方法包括以下步骤：通过在基底（10）上涂布有机金属化合物油墨而形成溶剂层（20）。 通过对其中形成有溶剂层的基底进行热处理，在溶剂层中自发生微小颗粒; 通过对其中形成溶剂层的基底进行热处理，通过增加在溶剂层中自发产生的微小颗粒的尺寸来结合微小颗粒; 并且涂布有机金属化合物油墨的方法是槽模涂布，辊涂，刮刀涂布，旋涂，喷涂和喷墨涂布之一。
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公开(公告)号：KR101259352B1
公开(公告)日：2013-04-30
申请号：KR1020110061625
申请日：2011-06-24
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/359 , H05K1/09 , H05K3/00 , B05D7/00
Abstract: 본 발명의 레이저를 이용한 선택적 금속패턴 형성방법은, 소스기판에 금속나노입자 유기잉크를 코팅하는 단계; 핫 플레이트에서 상기 소스기판을 가열하여, 상기 금속나노입자 유기잉크의 유기물을 제거하여 금속나노입자만 존재하도록 하는 단계; 상기 금속나노입자가 존재하는 상기 소스기판의 면을 억셉터 기판에 접촉시키는 단계; 상기 소스기판의, 상기 금속나노입자가 존재하는 면의 반대쪽의 면에 레이저를 조사하여, 상기 레이저가 조사된 부위의 금속나노입자를 소결시켜 금속패턴을 선택적으로 형성하는 단계; 및 상기 소스기판과 상기 억셉터 기판을 이격시켜 상기 억셉터 기판에 상기 금속패턴의 형상이 존재하도록 하는 단계;를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130006837A
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020110061625
申请日：2011-06-24
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/359 , H05K1/09 , H05K3/00 , B05D7/00
Abstract: PURPOSE: A method for selectively forming metal patterns using a laser is provided to have simple process and to form metal patterns on a flexible substrate because an additional sintering process is not necessary after forming the metal patterns. CONSTITUTION: A method for selectively forming metal patterns using a laser is composed as follows; a step for coating a metal nanoparticle organic ink on a source substrate(S100); a step for heating the source substrate on a hot plate and removing organic matters from the metal nanoparticle organic ink to leave metal nanoparticles only(S200); a step for making the face of the source substrate, on which the metal nanoparticles exist, contact with an acceptor substrate(S300); a step for irradiating the face of the source substrate opposite to the face where the metal nanoparticles exist with a laser and sintering the metal nanoparticles on the part irradiated with the laser to selectively form metal patterns(S400); and a step for separating the source substrate and the acceptor substrate to form the metal patterns on the acceptor substrate(S500). [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S100) Step of coating metal nanoparticle organic ink on a source substrate; (S200) Step of heating the source substrate on a hot plate and removing organic matters from the metal nanoparticle organic ink to leave metal nanoparticles only; (S300) Step of making the face of the source substrate, on which the metal nanoparticles exist, contact with an acceptor substrate; (S400) Step of irradiating the face of the source substrate opposite to the face where the metal nanoparticles exist with a laser and sintering the metal nanoparticles on the part irradiated with the laser to selectively form metal patterns; (S500) Step of separating the source and acceptor substrates from each other to leave the metal patterns on the acceptor substrate
Abstract translation: 目的：提供一种使用激光选择性地形成金属图案的方法以具有简单的工艺并且在柔性基板上形成金属图案，因为在形成金属图案之后不需要附加的烧结工艺。 构成：使用激光选择性地形成金属图案的方法如下： 用于在源极衬底上涂覆金属纳米颗粒有机油墨的步骤（S100）; 用于在热板上加热源基板并从金属纳米颗粒有机墨水中除去有机物质以留下金属纳米颗粒的步骤（S200）; 使其上存在金属纳米粒子的源极基板的表面与受主基板接触的步骤（S300）。 通过激光照射与所述金属纳米粒子的面相反的面的面的步骤，在所述激光照射部上烧结所述金属纳米粒子，选择性地形成金属图案（S400）。 以及用于分离源极基板和受主基板以在受主基板上形成金属图案的步骤（S500）。 （附图标记）（AA）开始; （BB）结束; （S100）在源极基板上涂布金属纳米粒子有机墨水的工序; （S200）将源基板加热到热板上并从金属纳米颗粒有机墨水中除去有机物质以仅留下金属纳米粒子的步骤; （S300）使其上存在金属纳米颗粒的源极基板的表面与受主基板接触的步骤; （S400）用激光照射与所述金属纳米粒子存在的面相反的所述源极基板的表面的步骤，并且在所述激光照射部分上烧结所述金属纳米粒子以选择性地形成金属图案; （S500）将源极和受体基板彼此分离以在受主衬底上留下金属图案的步骤
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公开(公告)号：KR1020140047763A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：KR1020120113607
申请日：2012-10-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/36 , H01L21/027
CPC classification number: B23K26/361 , H01L21/0273
Abstract: A method of forming a metal pattern comprises forming a metal ink layer on a substrate; heating the substrate on which the metal ink layer is formed; forming a protective layer on the metal ink layer; patterning the metal ink layer by allowing a laser irradiated at the upper portion of the substrate to pass through the protective layer; and leaving a metal pattern by removing the protective and metal ink layers. The method of forming a metal pattern layer is provided to prevent a metal ink layer from coming in direct contact with oxygen in the air, moisture and external light by performing a laser patterning process after forming the protective layer on the metal ink layer, thereby improving uniformity when a metal pattern is formed through laser patterning. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S10) Step of forming a metal ink layer on a substrate; (S20) Step of heating the substrate on which the metal ink layer is formed; (S30) Step of forming a protective layer on the metal ink layer; (S40) Step of patterning the metal ink layer by irradiating the substrate with a laser; (S50) Step of leaving a metal pattern by removing the protective and metal ink layers; (S60) Step of drying the metal pattern
Abstract translation: 形成金属图案的方法包括在基底上形成金属油墨层; 加热其上形成有金属油墨层的基板; 在金属油墨层上形成保护层; 通过允许在基板的上部照射的激光通过保护层来图案化金属油墨层; 并通过去除保护金属和金属油墨层而留下金属图案。 提供形成金属图案层的方法，以防止金属油墨层在金属油墨层上形成保护层之后通过进行激光图案化工艺与空气，水分和外部光中的氧直接接触，由此改善 当通过激光图案形成金属图案时的均匀性。 （附图标记）（AA）开始; （BB）结束; （S10）在基板上形成金属油墨层的工序; （S20）对形成有金属油墨层的基板进行加热的工序; （S30）在金属油墨层上形成保护层的工序; （S40）通过用激光照射基板来图案化金属油墨层的步骤; （S50）通过去除保护金属和金属油墨层而离开金属图案的步骤; （S60）干燥金属图案的步骤
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