公开(公告)号：KR102161383B1

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：KR1020190096111

申请日：2019-08-07

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최양규 ,  박준영 ,  윤대환

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/768 ,  H01L21/8234 ,  H01L29/66 ,  H01L29/423

公开(公告)号：KR102035941B1

公开(公告)日：2019-10-24

申请号：KR1020180117000

申请日：2018-10-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 최양규 ,  윤대환 ,  김명수

IPC: H01L29/788 ,  H01L21/324 ,  H01L27/11551 ,  H01L27/11524