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公开(公告)号：KR101042937B1
公开(公告)日：2011-06-20
申请号：KR1020090000079
申请日：2009-01-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 집적도를 향상시키고 정적 전력소모를 줄일 수 있도록 기계적인 스위치와 MOSFET을 결합하여 구현한 논리회로에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기계적인 스위치와 MOSFET이 결합된 논리회로는 기판, 상기 기판 내부에 서로 이격되어 형성되고 적어도 일부가 상기 기판 외부로 노출된 소오스 및 드레인, 상기 기판상에 형성된 게이트 절연막, 및 상기 게이트 절연막상에 형성된 게이트를 포함하는 MOFSET; 및 상기 소오스와 전기적으로 접속된 제1 전극, 상기 드레인과 전기적으로 접속된 제2 전극, 상기 게이트의 상부에 몸통부의 적어도 일부가 위치하고 일단이 상기 기판에 고정되며 타단이 상기 제2 전극의 상부에 위치하는 이동전극을 포함하는 기계적인 스위치를 포함한다.
기계적인 스위치는 게이트 전극에 의해 발생하는 정전기력에 따라 정전 구동(기계적인 동작)을 하고 MOS 트랜지스터는 게이트에 의해 발생하는 전기장(field)에 따라 채널을 형성(전기적인 동작)을 한다.
MEMS, 집적회로, 논리회로-
公开(公告)号：KR101258505B1
公开(公告)日：2013-04-26
申请号：KR1020110024924
申请日：2011-03-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 니켈기 초합금(Ni-base superalloy)의 표면에 미세 합금화층을 형성하여 니켈기 초합금 표면을 개질하는 방법에 관한 것으로서, 니켈기 초합금(Ni-base superalloy)의 표면을 실리콘 카바이트(SiC)로 연마하는 단계, 상기 연마된 니켈기 합금의 표면에 알루미늄을 증착하는 단계 및 상기 알루미늄이 증착된 니켈기 합금의 표면을 진공 챔버 내에 넣고, 전자빔을 조사하여 표면에 미세 합금화층을 형성하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 표면 미세 합금화된 니켈기 초합금은 전자빔을 이용해 니켈기 초합금의 표면을 미세 합금화 시킴으로써 고온 산화 환경 하에서 안정적인 보호피막을 형성하여 장기간 사용 시에도 건전성(integrity)을 유지할 수 있으며, 전자빔을 이용해 표면 근처의 조성 및 미세구조를 바꾸어 니켈기 초합금의 고온 산화 저항성을 향상시키고 및 우수한 크립 특성을 가져서 차세대 초고온 가스 냉각로의 열교환기 및 고온 가스로에 활용할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020110130931A
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020100050495
申请日：2010-05-28
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/24 , C23C14/5806
Abstract: PURPOSE: A method of manufacturing surface-reformed nickel-base alloy is provided to enhance long-term oxidation resistance and corrosion resistance since aluminum can be continuously supplied. CONSTITUTION: A method of manufacturing surface-reformed nickel-base alloy comprises next steps. Aluminum or nickel aluminide is physically deposited on the surface of nickel-base alloy(a first step). An inter-diffusion thermal treating process is performed under a temperature of 550~650°C(a second step). The thickness of an aluminum or nickel aluminide deposited layer formed by the first step is 3 ~ 6μm. An inter-metal compound coated layer of Al3Ni2 is formed on the surface of the nickel-base alloy from the second step. The thickness of the inter-metal compound coated layer is 10 ~ 20μm.
Abstract translation: 目的：提供一种表面改性镍基合金的制造方法，以提高长期的抗氧化性和耐腐蚀性，因为可以连续供应铝。 构成：表面改性镍基合金的制造方法包括下面的步骤。 铝或镍铝化物物理沉积在镍基合金的表面上（第一步）。 在550〜650℃（第二步骤）的温度下进行扩散扩散热处理。 由第一步形成的铝或镍铝化物沉积层的厚度为3〜6μm。 从第二步骤在镍基合金的表面上形成Al 3 Ni 2的金属间化合物涂层。 金属间化合物涂层的厚度为10〜20μm。
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公开(公告)号：KR1020110130930A
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020100050494
申请日：2010-05-28
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A diffusion bonding method of nickel-base alloy is provided to enable stable manufacturing of a heat exchanger at a temperature of over 900°C, which is an operation condition of an ultra-high gas cooling furnace. CONSTITUTION: A diffusion bonding method of nickel-base alloy comprises next steps. Aluminum or nickel aluminide is physically deposited on the surface of the nickel-base alloy(a first step). An inter-diffusion thermal treating process is performed under a temperature of 550 ~ 650°C to form an inter-metal compound layer(a second step). A diffusion bonding process is performed between two kinds of nickel-base alloy with the inter-metal compound layer manufactured from the second step, using the inter-metal compound layer as a bonding unit(a third step). The diffusion-bonded nickel-base alloy manufactured from the diffusion bonding method of the nickel-base alloy is provided.
Abstract translation: 目的：提供镍基合金的扩散接合方法，以便能够在超过900℃的温度下稳定地制造超高温气体冷却炉的运行状态。 构成：镍基合金的扩散接合方法包括以下步骤。 铝或镍铝化物物理沉积在镍基合金的表面上（第一步）。 在550〜650℃的温度下进行互扩散热处理，形成金属间化合物层（第二工序）。 在使用金属间化合物层作为接合单元的第二步骤制造的两种镍基合金与金属间化合物层之间进行扩散接合工艺（第三步骤）。 提供了由镍基合金的扩散接合方法制造的扩散接合的镍基合金。
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公开(公告)号：KR1020100080679A
公开(公告)日：2010-07-12
申请号：KR1020090000079
申请日：2009-01-02
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H03K19/215 , H01L21/8238 , H01L27/092
Abstract: PURPOSE: A logic circuit in which a mechanical switch and a metal-oxide-semiconductor field-effect-transistor(MOS FET) are combined is provided to reduce the area of a semiconductor device by saving a space for separating a p-MOS device and an n-MOS device. CONSTITUTION: A source(102) and a drain(103) are spaced apart from each other in a substrate(101). A gate insulating film(104) is formed on the substrate. A gate(105) is formed on the gate insulating film. A first electrode(201) is electrically connected with the source. A second electrode(202) is electrically connected with the drain. A mechanical switch comprises a movable electrode(204).
Abstract translation: 目的：提供组合机械开关和金属氧化物半导体场效应晶体管（MOS FET）的逻辑电路，通过节省用于分离p-MOS器件的空间来减小半导体器件的面积， 一个n-MOS器件。 构成：源（102）和漏极（103）在衬底（101）中彼此间隔开。 在基板上形成栅绝缘膜（104）。 栅极（105）形成在栅极绝缘膜上。 第一电极（201）与源电连接。 第二电极（202）与漏极电连接。 机械开关包括可动电极（204）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100029296A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：KR1020080088025
申请日：2008-09-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L29/00
Abstract: PURPOSE: The first electrode and the second electrode of a mechanical switch of the present invention are formed into the longitudinal direction of the third electrode cantilever beam. It is based on thickly form the first electrode than the second electrode. The arc discharge due to the physical contact of a first electrode and a third electrode can be prevented and the operating voltage can be low made. CONSTITUTION: A mechanical switch comprises a substrate(210), a first electrode(230), a second electrode(220), an attach unit(241), and a movable electrode(240). The substrate comprises an insulating material including a silicon oxidant or a silicon nitride etc. The first electrode is formed in the top of the substrate. It is separated in both sides of the first electrode the second electrode the top of the substrate predetermined and it is formed. The attach unit the top of the substrate. It is separated about moreover, the surface of substrate to the vertical direction with the first electrode and the second electrode and it is formed. The movable electrode comprises the movable part(242) it is formed from the attach unit about the first electrode and the second electrode to the horizontal direction.
Abstract translation: 目的：本发明的机械开关的第一电极和第二电极形成在第三电极悬臂梁的纵向方向上。 它基于第一电极厚度比第二电极厚。 可以防止由于第一电极和第三电极的物理接触引起的电弧放电，并且可以降低工作电压。 构成：机械开关包括基板（210），第一电极（230），第二电极（220），连接单元（241）和可动电极（240）。 衬底包括包括硅氧化剂或氮化硅等的绝缘材料。第一电极形成在衬底的顶部。 在第一电极的两侧分离第二电极，衬底的顶部预定并形成。 连接单元是基板的顶部。 此外，在第一电极和第二电极形成衬底的表面至垂直方向上分离。 所述可动电极包括由连接单元围绕第一电极和第二电极向水平方向形成的可动部分（242）。
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公开(公告)号：KR100938994B1
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：KR1020070103410
申请日：2007-10-15
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 본 발명은 마이크로 미러 및 이를 이용한 마이크로 미러 어레이에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 미러는 절연기판, 절연기판 상에 형성된 어드레스(Address) 전극, 어드레스 전극 상에 형성된 절연층, 절연층 상에 형성되어, 어드레스 전극과 전기적으로 절연된 전하충전부, 및 지지부를 통하여 절연기판 상에 연결되고, 전하충전부와 대향되도록 이격되어 회전 가능하게 설치되며, 입사되는 입사광을 반사하는 반사체를 포함한다.-
公开(公告)号：KR101595772B1
公开(公告)日：2016-02-22
申请号：KR1020140112594
申请日：2014-08-27
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 자기장집속장치및 방법을개시한다. 본실시예의일 측면에의하면, 복수의송신코일을포함하는자기장집속장치에있어서, 상기자기장집속장치는특정집속점에자기장을집속시키는자기장발생부; 및상기자기장발생부에전압을공급하는전압공급부를포함하되, 상기자기장발생부는복수의송신코일모듈을포함하고, 상기전압공급부는상기복수의송신코일모듈각각에독립적으로전압을공급하는것을특징으로하는자기장집속장치를제공한다.
Abstract translation: 公开了一种磁场聚焦装置及其方法。 根据实施例的一个方面，磁场聚焦装置包括多个发射线圈。 磁场聚焦装置包括：磁场产生单元，其将磁场聚焦在特定聚焦点上; 以及向磁场产生单元提供电压的电压供给单元。 磁场产生单元包括多个发射线圈模块。 电压供应单元独立地向多个发送线圈模块中的每一个提供电压。 因此，器件可以通过使用高度集成的发射线圈阵列，高精度地聚焦在随机3D位置上的磁场。
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公开(公告)号：KR101495136B1
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：KR1020080113839
申请日：2008-11-17
IPC: G06T15/00
CPC classification number: G06T11/006 , G06T2211/424 , G06T2211/436
Abstract: 2차원 영상으로부터 3차원 영상을 재구성하는 방법 및 장치가 제공된다. 제한된 각도에서 엑스선(x-ray) 발생 튜브로부터 재구성되는 3차원 데이터를, 각 화소별로 반복적으로 갱신하고, 복원하기 위해서 투영된 데이터의 각 화소들 중에서 중앙값(median)을 선택하며, 재투영된 영상 및 나머지 영상을 이용한 탐색 방향 가중치를 이용하여 역투영하여, 복원 데이터의 희소성(sparsity) 구속 조건과 L1 놈 충실성(fidelity)이 있는 데이터 조건을 만족하는 3차원 영상을 재구성할 수 있다.
엑스선(x-ray), 영상 재구성(tomosynthesis), L1 놈 충실성(fidelity) 데이터, 데이터의 희소성(sparsity)-
公开(公告)号：KR1020110130929A
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020100050493
申请日：2010-05-28
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: C23C14/16 , C21D1/09 , C23C14/24 , C23C14/5813
Abstract: PURPOSE: A method for preparing a nickel-based alloy having a modified surface is provided to improve the oxidation-resistance and corrosion-resistance of a nickel-based alloy by consecutively supplying a large amount of aluminum to a cracked oxide film. CONSTITUTION: A method for preparing a nickel-based alloy having a modified surface is as follows. Aluminum or nickel aluminide is physically plated on the surface of a nickel based alloy. A laser beam is irradiated to the nickel based alloy plated with the aluminum or nickel aluminide.
Abstract translation: 目的：提供一种制备具有改性表面的镍基合金的方法，以通过连续向裂纹氧化膜供应大量的铝来提高镍基合金的抗氧化性和耐腐蚀性。 构成：制备具有改性表面的镍基合金的方法如下。 铝或镍铝化物被物理地镀在镍基合金的表面上。 将激光束照射到镀铝或镍铝化合物的镍基合金上。
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