公开(公告)号：KR100978491B1

公开(公告)日：2010-08-30

申请号：KR1020080125792

申请日：2008-12-11

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 신성철 ,  정희태 ,  고현석 ,  정진미

IPC: G11B5/84 ,  G11B5/74 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G11B5/855 ,  B82Y25/00 ,  H01F1/009 ,  H01F1/065 ,  H01F1/068 ,  H01F41/18 ,  Y10T428/24612

Abstract: 본 발명은 L1
0 규칙화 구조의 FePt 나노 도트 어레이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 CFL 공정(Capillary Force Lithography : 삼투 압력 리소그래피)을 이용하여 L1
0 규칙화 구조의 FePt 나노 도트 어레이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명에 따른 L1
0 규칙화 구조의 FePt 나노 도트 어레이의 제조방법는 기판 상에 FePt 박막을 증착하는 제 1단계와, 상기 제 1단계에서 증착된 FePt 박막 상에 스핀 코팅을 이용하여 고분자 물질을 박막으로 형성하는 제 2단계와, 상기 제 2단계에서 스핀 코팅된 FePt 박막에 몰드를 접촉하는 제 3단계와, 상기 제 3단계에서 접촉된 몰드와 폴리머 패턴을 열처리(annealing)하는 제 4단계와, 상기 제 4단계에서 열처리된 몰드와 폴리머 패턴을 냉각 및 분리시키는 제 5단계와, 반응성 이온 에칭을 통하여 폴리머 패턴의 사이즈를 조절하는 제 6단계와, 상기 폴리머 패턴에 덮히지 않은 FePt 박막을 이온 밀링하여 FePt 나노 도트 형성 후, 남아있는 폴리머 층을 제거하는 제 7단계와, FePt 나노 도트 어레이를 열처리하는 제 8단계를 포함한다.
CFL, FePt 박막, 수직 자기 기록 매체, 패턴된 나노 도트 어레이

公开(公告)号：KR1020100067303A

公开(公告)日：2010-06-21

申请号：KR1020080125792

申请日：2008-12-11

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 신성철 ,  정희태 ,  고현석 ,  정진미

IPC: G11B5/84 ,  G11B5/74 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G11B5/855 ,  B82Y25/00 ,  H01F1/009 ,  H01F1/065 ,  H01F1/068 ,  H01F41/18 ,  Y10T428/24612

Abstract: PURPOSE: A FePt nano dot array of a L10 ordering structure, a manufacturing method of the FePt nano dot array of a L10 ordering structure, and a high- density magnetic recording medium using the array are provided to enhance the recording stability by manufacturing a magnetic thin film using FePt. CONSTITUTION: A manufacturing method of the FePt nano dot array of a L10 ordering structure comprises next steps. A FePt thin film is deposited on a substrate(S10). Polymer is formed as a thin film on the deposited FePt thin film using a spin coating(S20). Mold makes a contact with the spin-coated FePt thin film(S30). The contacted mold and a polymer pattern are heat-treated(S40). The heat-treated mold and the polymer pattern are cooled and separated(S50). The size of the polymer pattern is controlled through reactive ion etching(S60). After forming FePt nano dot by ion-milling the FePt thin film which is not covered by the polymer pattern, the polymer layer remaining is eliminated(S70). The FePt nano dot array is heat-treated(S80).

Abstract translation: 目的：提供L10有序结构的FePt纳米点阵列，L10有序结构的FePt纳米点阵列的制造方法和使用该阵列的高密度磁记录介质，以通过制造磁性来提高记录稳定性 使用FePt薄膜。 构成：L10排序结构的FePt纳米点阵列的制造方法包括以下步骤。 在基板上沉积FePt薄膜（S10）。 使用旋转涂布在沉积的FePt薄膜上形成聚合物作为薄膜（S20）。 模具与旋涂FePt薄膜接触（S30）。 将接触的模具和聚合物图案进行热处理（S40）。 将经热处理的模具和聚合物图案冷却并分离（S50）。 通过反应离子蚀刻来控制聚合物图案的尺寸（S60）。 通过离子研磨未被聚合物图案覆盖的FePt薄膜形成FePt纳米点后，残留的聚合物层被消除（S70）。 对FePt纳米点阵列进行热处理（S80）。

公开(公告)号：KR1020050033312A

公开(公告)日：2005-04-12

申请号：KR1020030069302

申请日：2003-10-06

Applicant: 한국과학기술원 ,  한국생명공학연구원

Inventor： 정희태 ,  정봉현 ,  권기영 ,  정진미

IPC: G01N33/544 ,  G01N33/554 ,  G01N33/553

Abstract: A method for fabricating a nano-biochip by using nano-pattern of block copolymers is provided, thereby immobilizing real-life samples on the surface of the nanometer-sized biochip with high density without loss of tertiary structure of a protein in the real-life samples. The method for fabricating a nano-biochip by using nano-pattern of block copolymers comprises the steps of: (a) forming a metal thin layer with affinity to a bio-receptor on a substrate; (b) coating the metal thin layer with the block copolymers; (c) heating the block copolymers to induce self-assembly of the copolymers and form a regular structure; (d) etching the copolymers to form a porous nano-pattern; and (e) attaching the bio-receptor to the metal exposed by the porous nano-pattern, wherein the bio-receptor is an enzyme substrate, a ligand, an amino acid, a peptide, a protein, a nucleic acid, a lipid, a cofactor or a carbohydrate; the metal with affinity to the bio-receptor is Au, Ag, Pt, Nb, Ta, Zr or alloy of Co and Cr; and the block copolymer is polystyrene-polymethylmethacrylate(PS-PMMA), polystyrene-polybutadiene(PS-PB) or polystyrene-polyisoprene(PS-PI).

Abstract translation: 提供了一种通过使用嵌段共聚物纳米图案制造纳米生物芯片的方法，从而将现实生活中的样品以高密度固定在纳米尺寸的生物芯片的表面上，而不会损失现实生活中蛋白质的三级结构 样本。 通过使用嵌段共聚物的纳米图案制造纳米生物芯片的方法包括以下步骤：（a）形成与基底上的生物受体具有亲和力的金属薄层; （b）用嵌段共聚物涂覆金属薄层; （c）加热嵌段共聚物以引起共聚物的自组装并形成规则结构; （d）蚀刻共聚物以形成多孔纳米图案; 和（e）将生物受体附着到由多孔纳米图案暴露的金属上，其中生物受体是酶底物，配体，氨基酸，肽，蛋白质，核酸，脂质， 辅助因子或碳水化合物; 对生物受体具有亲和力的金属是Au，Ag，Pt，Nb，Ta，Zr或Co和Cr的合金; 嵌段共聚物是聚苯乙烯 - 聚甲基丙烯酸甲酯（PS-PMMA），聚苯乙烯 - 聚丁二烯（PS-PB）或聚苯乙烯 - 聚异戊二烯（PS-PI）。

公开(公告)号：KR101068972B1

公开(公告)日：2011-09-30

申请号：KR1020080135537

申请日：2008-12-29

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정희태 ,  정진미

IPC: G01N33/533 ,  G01N33/53 ,  G01N33/68

Abstract: 본 발명은 형광 신호가 향상된 생체분자 어레이 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 가시광선 영역의 플라즈몬 공명 파장을 발생시키는 균일한 금속 나노패턴을 형성하여, 상기 균일한 금속 나노패턴상에 유기 및/또는 무기 나노구조 박막을 형성한 후, 생체분자를 어레이시키고, 상기 생체분자에 상기 플라즈몬 공명 파장과 근접 또는 중첩되는 영역에서 여기·발산 파장을 나타내는 형광 분자를 표지시키는 것을 특징으로 하는, 형광 신호가 향상된 생체분자 어레이의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 균일한 금속패턴에서 발생하는 가시광선 영역의 플라즈몬 공명 파장 및 형광의 여기·발산 파장의 상호작용에 의하여 형광 신호가 향상된 생체분자 어레이를 제조할 수 있고, 금속 나노패턴의 균일성에 의해 향상된 형광 신호가 반복적으로 일정하게 나타내는 생체분자 어레이를 수득할 수 있다.
생체분자 어레이, 형광신호, 고분자전해질, 적층 조립방법, LBL

公开(公告)号：KR100532812B1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：KR1020030069302

申请日：2003-10-06

Applicant: 한국과학기술원 ,  한국생명공학연구원

Inventor： 정희태 ,  정봉현 ,  권기영 ,  정진미

IPC: G01N33/544 ,  G01N33/554 ,  G01N33/553

Abstract: 본 발명은 블록공중합체(block copolymer)의 자기조립(self-assembly)을 이용하여 블록공중합체의 나노패턴을 형성하고, 이를 이용하여 형성된 바이오 리셉터와 친화력이 있는 금속의 나노패턴에 표적 바이오물질과 결합하는 바이오 리셉터가 선택적으로 부착되어 있는 나노-바이오칩 및 그 제조방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 나노-바이오칩을 이용하는 것을 특징으로 하는 바이오 리셉터와 결합하거나 반응하는 다양한 표적 바이오물질을 검출하는 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020100077567A

公开(公告)日：2010-07-08

申请号：KR1020080135537

申请日：2008-12-29

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정희태 ,  정진미

IPC: G01N33/533 ,  G01N33/53 ,  G01N33/68

Abstract: PURPOSE: A biomolecule array with improved fluorescence signal and a method for manufacturing the same are provided to obtain biomolecule array with repeat and uniform fluorescence signal. CONSTITUTION: A method for manufacturing a biomolecule array with improved fluorescence signal comprises: a step of forming an uniform metal nanopattern on a substrate; a step of forming organic and/or inorganic nanostructure thin film on the uniform metal nanopattern; and a step of arraying fluorescence-labeled biomolecules on the organic and/or inorganic nanostructure thin film or labeling fluorescence molecule.

Abstract translation: 目的：提供具有改善的荧光信号的生物分子阵列及其制造方法，以获得具有重复和均匀荧光信号的生物分子阵列。 构成：用于制造具有改进的荧光信号的生物分子阵列的方法包括：在基底上形成均匀的金属纳米图案的步骤; 在均匀金属纳米图案上形成有机和/或无机纳米结构薄膜的步骤; 以及在有机和/或无机纳米结构薄膜或标记荧光分子上排列荧光标记的生物分子的步骤。

公开(公告)号：KR100879790B1

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：KR1020070073233

申请日：2007-07-23

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정희태 ,  정진미

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C33/3842 ,  B41D7/00 ,  B81C1/0046 ,  B82Y40/00

Abstract: A method for forming various fine patterns in only one polymer mold is provided to form diversified patterns by changing design of silicone mold, thickness of polymer thin film, and etching time. A mixture of monomer, catalyst, and initiator forming hardness PDMS(PolyDiMethylSiloxane) is spin-coated on a silicone mold having a positive pattern. The mixture of monomer and initiator forming softness PDMS is injected and is hardened on the silicone mold. The softness PDMS and the hardness PDMS composite mold is formed. A polymer thin film is formed on a substrate. The softness PDMS and the hardness PDMS composite mold is contacted on the polymer thin film. A thermal process is performed. A fine pattern of the polymer thin film is formed by separating the softness PDMS and the hardness PDMS composite mold. A polymer fine pattern of various form and size is formed by etching the fine pattern of the polymer thin film.

Abstract translation: 提供了仅在一个聚合物模具中形成各种精细图案的方法，通过改变硅树脂模具的设计，聚合物薄膜的厚度和蚀刻时间来形成多样化的图案。 将单体，催化剂和引发剂形成硬度PDMS（聚二甲基硅氧烷）的混合物旋涂在具有正图案的硅树脂模具上。 单体和引发剂形成柔软度PDMS的混合物被注入并在硅树脂模具上硬化。 形成柔软度PDMS和硬度PDMS复合模具。 在基板上形成聚合物薄膜。 柔软度PDMS和硬度PDMS复合模具在聚合物薄膜上接触。 进行热处理。 通过分离柔软度PDMS和硬度PDMS复合模具形成聚合物薄膜的精细图案。 通过蚀刻聚合物薄膜的精细图案形成各种形式和尺寸的聚合物精细图案。