-
1.发明授权2차원 전사층 및 블록공중합체를 이용한 나노구조체 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조체 및 그 응용소자 有权使用二维转印层制造纳米结构的方法，由其制造的纳米结构以及包含该纳米结构的涂布装置
公开(公告)号：KR101356010B1
公开(公告)日：2014-01-28
申请号：KR1020120061923
申请日：2012-06-11
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 2차원 전사층을 이용한 나노구조체 제조방법으로, 기판상에 2차원 전사층을 적층하는 단계; 상기 적층된 2차원 전사층상에 주형 필름을 적층한 후, 이를 패터닝하여 나노주형을 제조하는 단계; 및 상기 형성된 나노주형에 나노물질을 적층하여, 나노구조체를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노구조체 제조방법이 제공된다.
-
Patent Agency Ranking2.发明公开원자힘 현미경용 캔틸레버 세트, 이를 포함하는 기판 표면 검사 장치, 이를 이용한 반도체 기판의 표면 분석 방법 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법 审中-实审使用相同的原子力表面分析方法，以及使用相同的一组悬臂的半导体基板的精细图案，在基板表面检查装置，包括用于所述方法相同的用于形成微观
公开(公告)号：KR1020170089271A
公开(公告)日：2017-08-03
申请号：KR1020160009481
申请日：2016-01-26
CPC classification number: G01Q60/28 , G01Q60/42 , H01L21/67288 , H01L27/10876 , H01L27/10885 , H01L27/10888 , H01L28/00
Abstract: 본발명은원자힘현미경용캔틸레버세트, 이를포함하는기판표면검사장치, 이를이용한반도체기판의표면분석방법및 이를이용한미세패턴형성방법에관한것이다. 본발명의일 태양은반도체기판으로형성된핸들링부; 상기핸들링부의일면에제공된캔틸레버부; 및상기캔틸레버부의일단에제공된프로브팁을포함하고, 상기프로브팁은폴리머로개질된표면을적어도부분적으로갖는원자힘현미경용캔틸레버세트를제공한다. 상기캔틸레버세트를이용하면기판의표면을직접적으로더욱정밀하게분석및 검사할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用在同一基板表面检查装置，其包括相同的原子力显微镜悬臂套在半导体基板的表面分析的方法，以及使用该精细图案形成方法。 本发明的一个方面提供了一种半导体器件，包括：由半导体衬底形成的处理部分; 提供在处理部件的一个表面上的悬臂; 以及设置在悬臂部分一端的探针尖端，其中探针尖端至少部分具有聚合物改性表面。 通过使用悬臂装置，可以更精确地直接分析和检查衬底表面。
-
公开(公告)号：KR1020070033544A
公开(公告)日：2007-03-27
申请号：KR1020050087833
申请日：2005-09-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J37/00
Abstract: A uniform charging device of nanometer particles using condensation and evaporation is provided to grow uniformly the particles and charge the grown particles by performing a condensation process using a cooling method. A saturation receptacle(100) stores a condensed fluid in order to mix nanometer particles of saturated vapor of the condensed fluid with the condensed fluid. A cooling unit(200) grows the particle by cooling the particles. A connective tube(600) is connected with the saturation receptacle and the cooling unit in order to move the particles to the cooling unit. An electric charge unit is installed at the connective tube in order to generate ions within a moving path of the particles. An evaporator(500) is connected with the connective tube in order to evaporate the particles including the ions.
Abstract translation: 提供使用冷凝和蒸发的纳米颗粒的均匀充电装置，以使颗粒均匀地生长并通过使用冷却方法进行冷凝处理对生长的颗粒进行充电。 饱和容器（100）存储冷凝流体，以将凝结流体的饱和蒸气的纳米颗粒与冷凝流体混合。 冷却单元（200）通过冷却颗粒来生长颗粒。 连接管（600）与饱和容器和冷却单元连接，以将颗粒移动到冷却单元。 在连接管上安装电荷单元，以在颗粒的移动路径内产生离子。 蒸发器（500）与连接管连接以便蒸发包括离子的颗粒。
-
公开(公告)号：KR1020130138877A
公开(公告)日：2013-12-20
申请号：KR1020120061922
申请日：2012-06-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0274 , B29C59/02 , B29C59/022 , C08J5/18
Abstract: A method for manufacturing patterns by using transfer layers is disclosed. The method for manufacturing the patterns according to the present invention comprises the steps of forming transfer layers on a first substrate and forming pattern layers on the formed transfer layers. According to the present invention, a two-dimensional transfer layer is formed on a substrate in which a first pattern is manufactured, the transfer layer is separated from the substrate in which the patterns are manufactured, and the same is transferred to the other substrate. Thus, patterns can be formed on a flexible substrate, an uneven substrate, or a macromolecular substrate. Furthermore, the present invention inserts the transfer layer between the substrate and a two-dimensional sheet (film) to solve the limit of the substrate when nanostructure based on an existing block copolymer self-assembly is manufactured. A nanopattern structure can be manufactured on the uneven substrate or the flexible substrate by using a block copolymer and a nanotemplate capable of being applied with a minute size such as PDMS by using the nanopattern can be manufactured according to the present invention. [Reference numerals] (AA) Forming a transfer layer on a first substrate;(BB) Forming a pattern layer on the formed transfer layer;(CC) Separating the transfer layer from the first substrate;(DD) Transferring the separated transfer layer to a second substrate
Abstract translation: 公开了一种通过使用转印层制造图案的方法。 根据本发明的图案的制造方法包括在第一基板上形成转移层并在所形成的转印层上形成图案层的步骤。 根据本发明，在制造第一图案的基板上形成二维转印层，转印层与制造图案的基板分离，并将其转印到另一基板。 因此，可以在柔性基板，不平坦基板或大分子基板上形成图案。 此外，本发明在基板和二维薄片（薄膜）之间插入转印层，以解决基于现有的嵌段共聚物自组装的纳米结构时的基板的极限。 可以通过使用嵌段共聚物在不均匀基材或柔性基材上制造纳米图案结构，并且可以根据本发明制造能够通过使用纳米图案使用微小尺寸的纳米模板（如PDMS）。 （AA）在第一基板上形成转印层;（BB）在形成的转印层上形成图案层;（CC）将转印层与第一基板分离;（DD）将分离的转印层转印到 第二基板
-
5.发明公开
公开(公告)号：KR1020130138398A
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：KR1020120061923
申请日：2012-06-11
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B82B3/0038 , B82Y40/00
Abstract: Provided is a method for manufacturing a nanostructure using a two-dimensional transfer layer. The method includes a step of laminating a two-dimensional transfer layer on a substrate, a step of laminating a molded film on the laminated two-dimensional transfer layer and manufacturing a nanomold by patterning the film, and a step of forming a nanostructure by laminating nanomaterials on the nanomold. [Reference numerals] (AA) Laminating two-dimensional sacrificing layer on a substrate;(BB) Laminating a molded film, and manufacturing a nanomold by patterning;(CC) Forming a nanostructure by laminating nanomaterials on the nanomold
Abstract translation: 提供了使用二维转印层制造纳米结构的方法。 该方法包括在基板上层叠二维转印层的步骤，在层叠的二维转印层上层叠模塑膜并通过图案化膜来制造纳米金的步骤，以及通过层压形成纳米结构的步骤 纳米材料上的纳米材料。 （AA）在基板上层压二维牺牲层;（BB）层压成型膜，通过图案化制造纳米金;（CC）通过将纳米材料层叠在纳米金属上形成纳米结构
-
公开(公告)号：KR100745155B1
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：KR1020050087833
申请日：2005-09-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J37/00
Abstract: 본 발명은 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치에 관한 것으로, 응축유체가 포화 증기화되어 일측으로 유입되는 나노미터 크기의 입자와 혼재되도록 하부에 응축유체가 담긴 포화용기; 상기 입자가 냉각에 따른 응축으로 성장될 수 있도록 구비되는 냉각부; 상기 입자가 상기 냉각부로 이동될 수 있도록 일단은 상기 포화용기에 연결되고, 상기 입자의 이동 경로상으로 타측의 외주연에는 상기 냉각부가 밀착/설치되는 연결관; 상기 입자의 이동경로 내에 이온을 발생시켜 상기 입자가 하전될 수 있도록 상기 연결관의 타측에 관통/설치되는 하전부; 및 상기 이온과 혼재된 상기 입자가 증발되어 초기 크기화 될 수 있도록 상기 연결관의 타단에 연결되는 증발기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
응축, 냉각, 성장, 입자, 나노미터, 증발, 균일하전, 하전성능
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.02 seconds)
