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公开(公告)号：KR101140421B1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020100063789
申请日：2010-07-02
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 이방성 진동 가진장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게, 본 발명의 초음파 고진폭 이방성 가진장치는 압전소자가 구동원으로 사용되고 3차 모드 공진에 의해 진폭을 증폭시키는 구동부가 구비되며, 3차 모드 공진 시 발생되는 굽힘 모멘트를 상쇄시켜주고 수직 방향의 진동을 제외한 타 방향의 진동을 제한하는 정렬부가 구비됨으로써, 초음파 영역 대에서 특정 방향으로의 진동이 고진폭으로 구동 가능한 이방성 진동 가진장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020120003118A
公开(公告)日：2012-01-10
申请号：KR1020100063789
申请日：2010-07-02
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H02N2/008 , H01L41/09 , H02N2/0055 , H02N2/043 , H02N2/06
Abstract: PURPOSE: An anisotropic vibration actuator is provided to arrange anisotropic movements which only allow vibrations in a specific direction, thereby improving processing performance in a super fine processing process. CONSTITUTION: A driving part(100) is extended in a longitudinal direction. A piezoelectric device(200) is used as a driving source of the driving part in a predetermined region of the driving part. A supporting part(300) is combined in the predetermined region of one side and the other side of the driving part in a height direction. An alignment part(400) is extended to one side of the driving part in the height direction in order to determine directionality of vibrations. The piezoelectric device is fixed in a driving source insertion part(110) which is arranged in one lateral surface of the driving part in the longitudinal direction. The piezoelectric device is inserted in the driving source insertion part in order to arrange the longitudinal direction of the piezoelectric device parallel to the direction of the driving part.
Abstract translation: 目的：提供各向异性振动致动器来布置各向异性运动，这些各向异性运动只允许特定方向的振动，从而提高超细加工过程中的加工性能。 构成：驱动部（100）沿纵向延伸。 压电装置（200）用作驱动部分的预定区域中的驱动部件的驱动源。 支撑部件（300）在驱动部件的一侧和另一侧的高度方向上的预定区域中组合。 对准部件（400）在高度方向上延伸到驱动部件的一侧，以确定振动的方向性。 压电元件固定在驱动源插入部（110）中，该驱动源插入部（110）沿纵向方向布置在驱动部的一个侧面上。 为了将压电元件的纵向平行于驱动部的方向配置，驱动源插入部插入压电元件。
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