公开(公告)号：WO2013176336A1

公开(公告)日：2013-11-28

申请号：PCT/KR2012/006053

申请日：2012-07-30

Applicant: 한국기계연구원 ,  강재욱 ,  김도근 ,  김종국 ,  정성훈 ,  이승훈

Inventor： 강재욱 ,  김도근 ,  김종국 ,  정성훈 ,  이승훈

IPC: H05K1/02 ,  H05K3/20 ,  H05K3/46

CPC classification number: H05K3/0041 ,  H05K1/0283 ,  H05K1/03 ,  H05K1/0393 ,  H05K3/101 ,  H05K3/20 ,  H05K3/207 ,  H05K2201/0326 ,  H05K2201/0376 ,  H05K2201/10037 ,  H05K2201/10098 ,  H05K2201/10128 ,  H05K2203/0139 ,  H05K2203/016 ,  H05K2203/0264 ,  H05K2203/095

Abstract: 본 발명은 플라즈마를 이용한 금속 배선이 함몰된 유연 기판의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 유연 기판에 관한 것으로, 상세하게는 기판 표면에 플라즈마를 조사하여 기판을 전처리하는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 전처리된 기판상에 금속 배선을 형성시키는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 금속 배선이 형성된 기판 상부에 경화성 고분자를 코팅하고 경화시켜 금속 배선이 함몰된 고분자 층을 제조하는 단계(단계 3); 및 상기 단계 3에서 제조된 고분자 층을 단계 1의 기판과 분리시키는 단계(단계 4);를 포함하는 플라즈마를 이용한 금속 배선이 함몰된 유연 기판 의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 플라즈마를 이용한 금속 배선이 함몰된 유연 기판의 제조방법은 금속 배선을 유연기판 내부에 삽입된 형태로 형성시킬 수 있으며, 금속 배선의 높이에 제한되지 않고 낮은 저항의 배선을 형성시킬 수 있다. 또한, 기판 표면을 플라즈마 처리함에 따라 상기 기판으로부터 금속배선이 함몰된 유연기판을 깨끗하게 박리시킬 수 있다. 나아가, 상기 플라즈마 처리를 통해 기판 표면의 불순물을 제거할 수 있으며, 별도의 공정없이 물리적인 힘을 가하여 상기 기판으로부터 금속배선이 함몰된 유연기판을 쉽게 제거할 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及通过使用等离子体制造具有金属布线的柔性基板的方法和使用该方法制造的柔性基板，特别涉及通过使用等离子体制造具有金属布线的柔性基板的方法， 包括：通过将等离子体照射到衬底的表面来预处理衬底（步骤1）; 在步骤1（步骤2）中预处理的基板上形成金属布线。 在步骤2中涂覆和固化在其上形成金属布线的基板上的聚合物，以制造其中埋设金属布线的聚合物层（步骤3）; 并将步骤3中制造的聚合物层与步骤1的基材（步骤4）分离。 根据本发明的通过使用等离子体制造具有金属布线的柔性基板的方法可以将金属布线插入到柔性基板中并形成低电阻布线，而不限制金属布线的高度。 此外，通过在基板的表面上进行等离子体处理，可以容易地将基板上的金属布线埋入其中的柔性基板分离。 此外，可以通过等离子体处理从基板的表面去除杂质，并且可以通过施加物理力而不使用单独的工艺从基板容易地将其中埋设有金属布线的柔性基板移除。

公开(公告)号：WO2013022306A2

公开(公告)日：2013-02-14

申请号：PCT/KR2012/006384

申请日：2012-08-10

Applicant: 한국기계연구원 ,  남기석 ,  권정대 ,  정용수 ,  이건환 ,  윤정흠 ,  이성훈 ,  김동호 ,  강재욱 ,  박성규 ,  김창수

Inventor： 남기석 ,  권정대 ,  정용수 ,  이건환 ,  윤정흠 ,  이성훈 ,  김동호 ,  강재욱 ,  박성규 ,  김창수

IPC: H05H1/34 ,  C23C16/50 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01J37/32541 ,  C23C16/503 ,  C23C16/509 ,  H01J9/022 ,  H01J37/32559 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32825 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2431 ,  H05H2001/485 ,  H05H2001/486

Abstract: 본 발명의 일 실시예로서, 플라즈마가 아크로 전이되는 현상을 억제하여 대기압 근처에서도 안정적이면서도 고밀도 플라즈마를 발생시키기 위해, 기판을 안착시키기 위한 판상형 하부전극; 및 상기 판상형 하부전극 상의 원통형 회전 전극을 포함하고, 상기 원통형 회전 전극은, 전원부에 연결되고, 그 외주면 상에 복수의 캐필러리부들을 포함하는 도전성 몸체; 및 상기 복수의 캐필러리부들의 저면부를 노출하도록 그 외의 부분은 절연체 또는 유전체로 차폐하는 것을 포함하는, 플라즈마 발생장치를 제공한다.

Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，提供了一种用于等离子体产生的装置，包括：板状下电极，用于安装基板以通过抑制等离子体转移到的现象来产生大气压附近的稳定和高密度等离子体 一个弧 导电体，其包括在所述板状下电极上的圆筒形旋转电极，其中所述圆筒状旋转电极与电源单元连接，并且在其外周面上连接有多个毛细管单元; 以及用绝缘体或电介质覆盖以暴露多个毛细管单元的底部的其它部分。

公开(公告)号：WO2011078537A2

公开(公告)日：2011-06-30

申请号：PCT/KR2010/009118

申请日：2010-12-20

Applicant: 한국기계연구원 ,  임동찬 ,  이규환 ,  정용수 ,  강재욱 ,  박선영 ,  박미영 ,  김영태 ,  심원현 ,  최강호

Inventor： 임동찬 ,  이규환 ,  정용수 ,  강재욱 ,  박선영 ,  박미영 ,  김영태 ,  심원현 ,  최강호

IPC: H01L51/44 ,  H01L31/042

CPC classification number: H01L51/444 ,  H01L51/42 ,  H01L51/4233 ,  H01L51/4273 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 유기태양전지의 P형 전도막으로 사용되는 금속산화물-탄소나노튜브 복합막, 이의 제조방법 및 이를 이용한 광전변환효율이 향상된 유기태양전지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 단일벽 탄소나노튜브를 유기용매에 분산시킨 후 금속산화물을 첨가하여 분산시켜 복합용액을 제조한 후 기판에 증착시켜 제조되는, 유기태양전지의 P형 전도막으로 사용되는 금속산화물-탄소나노튜브 복합막, 단일벽 탄소나노튜브를 유기용매에 분산시키는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 제조된 혼합용액에 금속산화물을 첨가하고 분산시켜 복합용액을 제조하는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2에서 제조된 복합용액을 기판에 증착시키는 단계(단계 3)를 포함하는 유기태양전지의 P형 전도막으로 사용되는 금속산화물-탄소나노튜브 복합막의 제조방법 및 기판/전극/광활성층/P형 전도막/전극의 순서로 적층되는 유기태양전지에 있어서, 상기 P형 전도막은 단일벽 탄소나노튜브를 유기용매에 분산시킨 후 금속산화물을 첨가하여 분산시켜 복합용액을 제조한 후 기판에 증착시켜 제조되는 금속산화물-탄소나노튜브 복합막인 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지에 관한 것이다.

Abstract translation:

本发明是用作有机太阳能电池的P型导电层的金属氧化物涉及碳纳米管复合膜，其制备方法以及使用相同的有机太阳能电池的光电转换效率提高的方法，更 具体地，作为单壁碳纳米管的金属氧化物通过加入分散在有机溶剂中的金属氧化物的分散，有机太阳能电池是通过在基板上沉积制备化合物溶液，P型导电膜 - 碳之后制造 将纳米管复合膜和单壁碳纳米管分散在有机溶剂中（步骤1）; 向步骤1中制备的混合溶液中加入金属氧化物并分散混合物以制备混合溶液（步骤2）; 和在步骤2中制备步骤（步骤3）的P型有机太阳能电池，其包括一个导电膜，以在衬底上沉积复合溶液使用的金属氧化物，碳纳米管复合膜和基板/电极/光活性层的制造方法 在有机太阳能电池被堆叠在电极/ P型导电膜/顺序，制备化合物溶液的单壁碳纳米管膜之后在P型基片通过分散进行通过添加金属氧化物的混合物分散在有机溶剂 通过沉积要制造的金属氧化物 - 光子 - 电子转换效率，其特征在于，碳纳米管的复合膜涉及改进的有机太阳能电池。

公开(公告)号：WO2014007416A1

公开(公告)日：2014-01-09

申请号：PCT/KR2012/005457

申请日：2012-07-10

Applicant: 한국기계연구원 ,  류승윤 ,  김동호 ,  남기석 ,  정용수 ,  권정대 ,  이성훈 ,  윤정훈 ,  이건환 ,  정형환 ,  박성규 ,  김창수 ,  강재욱 ,  임굉수 ,  박상일

Inventor： 류승윤 ,  김동호 ,  남기석 ,  정용수 ,  권정대 ,  이성훈 ,  윤정훈 ,  이건환 ,  정형환 ,  박성규 ,  김창수 ,  강재욱 ,  임굉수 ,  박상일

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/18 ,  H01L31/062 ,  H01L31/07 ,  H01L31/075 ,  H01L31/078 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 박막 태양전지 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 태양전지는 기판; 기판상에 형성되는 전면 전극층; 전면 전극 상에 형성되는 옥사이드층; 옥사이드층 상에 형성되는 광 흡수층(intrinsic layer); 및 광 흡수층 상에 형성되는 후면 전극층을 포함하고, 옥사이드층은 MoO 3 , WO 3 , V 2 O 5 및 CrO 3 중에서 선택되는 물질로 형성된다.

Abstract translation: 公开了一种薄膜太阳能电池及其制造方法。 根据本发明的一个实施例的薄膜太阳能电池包括：基板; 形成在所述基板上的前表面电极层; 形成在前表面电极上的氧化物层; 形成在氧化物层上的本征层; 以及形成在本征层上的背面电极层，其中氧化物层由选自MoO 3，WO 3，V 2 O 5和CrO 3的材料形成。

公开(公告)号：WO2012144827A2

公开(公告)日：2012-10-26

申请号：PCT/KR2012/003012

申请日：2012-04-19

Applicant: 한국기계연구원 ,  강재욱 ,  김도근 ,  김종국 ,  정성훈 ,  송명관 ,  유대성 ,  김창수 ,  남기석

Inventor： 강재욱 ,  김도근 ,  김종국 ,  정성훈 ,  송명관 ,  유대성 ,  김창수 ,  남기석

IPC: H01B13/00

CPC classification number: H01L23/4985 ,  H01L21/4846 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/0393 ,  H05K3/007 ,  H05K3/20 ,  H05K2201/0376 ,  H01L2924/00

Abstract: 본 발명은 금속 배선이 함몰된 유연 기판의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 유연 기판에 관한 것으로, 상세하게는 기판상에 물 또는 유기용매에 가용성인 고분 자, 또는 광분해성 고분자로 이루어지는 희생층을 코팅하는 단계(단계 1); 상기 단 계 1의 희생층 상부에 금속 배선을 형성시키는 단계(단계 2); 상기 단계 2의 금속 배선이 형성된 희생층 상부에 경화성 고분자를 코팅하고 경화시켜 금속 배선이 함 몰된 고분자 층을 제조하는 단계(단계 3); 및 상기 단계 1의 기판과 단계 3의 고분 자 층 사이에 존재하는 희생층만을 물 또는 유기 용매에 용해시키거나, 광분해시켜 제거하여, 상기 단계 1의 기판과 단계 3의 고분자 층을 분리시키는 단계(단계 4)를 포함하는 금속 배선이 함몰된 유연(flexible) 기판의 제조방법을 제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造具有嵌入其中的金属布线的柔性基板和通过该方法制造的柔性基板的方法。 更具体地说，本发明涉及一种制造具有嵌入其中的金属布线的柔性基板的方法，其中该方法包括：用可溶于水的聚合物制成的牺牲层涂覆基材的步骤（步骤1） 有机溶剂或可光降解聚合物; 在步骤1中形成的牺牲层上形成金属布线的步骤（步骤2）; 在步骤2中涂覆在其上形成金属布线的牺牲层与固化聚合物的步骤（步骤3），并硬化所得到的结构，以获得嵌入其中的金属布线的聚合物层; 以及步骤（步骤4），通过将牺牲层溶解在水或有机溶剂中，或者将该牺牲层光分解，从而仅去除步骤1的基板和步骤3的聚合物层之间存在的牺牲层，从而分离基板 的步骤1和步骤3的聚合物层彼此。

公开(公告)号：KR101404132B1

公开(公告)日：2014-06-13

申请号：KR1020120036961

申请日：2012-04-09

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 남기석 ,  강재욱 ,  권정대 ,  김동호 ,  김창수 ,  류승윤 ,  박성규 ,  윤정흠 ,  이건환 ,  이성훈 ,  정용수

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/46 ,  C23C16/50 ,  H01L21/205

Abstract: 본 발명은 플라즈마의 선택적인 분포를 정밀하게 확보하고 대상물 상에 다중(multi) 증착을 동시에 진행할 수 있는 대기압 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치 및 이를 이용한 대상물 가공방법을 위하여, 서로 이격되어 배치된 복수의 도전체 패턴들을 포함하는 제1전극과 상기 복수의 도전체 패턴들 중의 적어도 일부와 직접 접촉하면서 상기 제1전극 상에 배치되는 대상물과 상기 대상물과 이격되며 상기 제1전극과 대향하는 위치에 서로 이격되어 배치되고 상기 대상물과의 사이에서 대기압 플라즈마가 각각 발생될 수 있는 복수의 제2전극들을 구비하는 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치가 제공된다.

公开(公告)号：KR1020140049302A

公开(公告)日：2014-04-25

申请号：KR1020120115405

申请日：2012-10-17

Applicant: 한국기계연구원 ,  주식회사 포스코

Inventor： 김도근 ,  김종국 ,  이승훈 ,  강재욱 ,  김태엽 ,  남경훈

IPC: H01J27/02

Abstract: Disclosed is a linear ion beam generator capable of controlling the direction of an ion beam. The linear ion beam generator includes a first cathode; a second anode which surrounds the first cathode and forms an ion beam extraction part between the first cathode; and an anode which is separated and partly overlapped with at least one part of the first and the second cathode on the lower part of the ion beam extraction part. A surface which faces the first and the second cathode forms an asymmetric structure and comprises the extraction path of the ion beam which is slantly extracted from the center of the first cathode to the inner side or the outer side. [Reference numerals] (AA) Electron

Abstract translation: 公开了能够控制离子束的方向的线性离子束发生器。 线性离子束发生器包括第一阴极; 第二阳极，其围绕所述第一阴极并在所述第一阴极之间形成离子束提取部; 以及与离子束提取部的下部的第一阴极和第二阴极的至少一部分分离并部分重叠的阳极。 面对第一和第二阴极的表面形成不对称结构，并且包括从第一阴极的中心向内侧或外侧倾斜地提取的离子束的提取路径。 （标号）（AA）电子

公开(公告)号：KR101386076B1

公开(公告)日：2014-04-24

申请号：KR1020120066336

申请日：2012-06-20

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 김창수 ,  서지훈 ,  김동호 ,  강재욱 ,  정용수 ,  남기석 ,  류승윤 ,  권정대

IPC: H01L31/042 ,  H01L51/42 ,  H01L31/18 ,  H01L51/48

CPC classification number: Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 유·무기 복합 탠덤 태양전지 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로 기판; 상기 기판상에 형성된 투명전극층; 상기 투명전극층상에 적층된 무기계 광활성층; 상기 무기계 광활성층상에 적층된 산화인듐주석 전자수송층; 상기 전자수송층상에 적층된 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜):폴리(스티렌설포네이트)(PEDOT:PSS) 정공수송층; 상기 정공수송층상에 적층된 유기계 광활성층; 및 상기 유기계 광활성층상에 적층된 후면전극층을 포함하는 유·무기 복합 탠덤 태양전지 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유·무기 복합 탠덤 태양전지의 무기계 광활성층 및 유기계 광활성층 사이에 삽입된 산화인듐주석 전자수송층/폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜):폴리(스티렌설포네이트)(PEDOT:PSS) 정공수송층으로 이루어진 절연층은 무기태양전지와 유기태양전지 간의 저항접촉을 향상시킬 수 있고, 무기태양전지 및 유기태양전지에서 여기된 전자와 정공이 효과적으로 재결합할 수 있는 공간을 제공하여 유·무기 복합 탠덤 태양전지의 광전변환효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020140008607A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：KR1020120074684

申请日：2012-07-09

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 남기석 ,  강재욱 ,  김도근 ,  이승훈 ,  정성훈 ,  김종국

IPC: H05K3/20 ,  H05K3/46 ,  H05K1/02

Abstract: The present invention relates to a flexible substrate and a manufacturing method thereof and, more specifically, to a flexible substrate manufacturing method with a buried metal wiring and a flexible substrate with a buried metal wiring manufactured by the same capable of efficiently burying the metal wiring in a polymer substrate by using a sacrificial substrate which is flexible and removable easily and perfectly. The flexible substrate manufacturing method with the buried metal wiring by using the sacrificial substrate according to the present invention includes the following steps of: preparing the sacrificial substrate which is comprised of a soluble material with an alkali metal hydroxide; forming the metal wiring in the upper part of the sacrificial substrate; coating and hardening a hardening polymer on the upper part of the sacrificial substrate by including the metal wiring; and melting the sacrificial substrate by reacting to the alkali metal hydroxide.

Abstract translation: 柔性基板及其制造方法技术领域本发明涉及柔性基板及其制造方法，更具体地说，涉及一种具有埋地金属布线的柔性基板制造方法和具有能够有效地将金属布线埋入的埋入金属布线的柔性基板 通过使用易于且完美地灵活且可移动的牺牲基板的聚合物基板。 通过使用根据本发明的牺牲衬底的埋入金属布线的柔性衬底制造方法包括以下步骤：由可溶性材料与碱金属氢氧化物制备牺牲衬底; 在牺牲基板的上部形成金属布线; 通过包括金属布线在牺牲基板的上部涂覆和硬化硬化聚合物; 并通过与碱金属氢氧化物反应来熔融牺牲底物。

公开(公告)号：KR1020130142802A

公开(公告)日：2013-12-30

申请号：KR1020120066336

申请日：2012-06-20

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 김창수 ,  서지훈 ,  김동호 ,  강재욱 ,  정용수 ,  남기석 ,  류승윤 ,  권정대

IPC: H01L31/042 ,  H01L51/42 ,  H01L31/18 ,  H01L51/48

CPC classification number: Y02E10/549 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18 ,  H01L51/42

Abstract: The present invention relates to an organic/inorganic combination tandem solar cell and a manufacturing method thereof. More specifically, an organic/inorganic combination tandem solar cell and a manufacturing method thereof, given in the present invention, include a substrate; a transparent electrode layer which is formed on the substrate; an inorganic photoactive layer which is stacked on the transparent electrode layer; an indium tin oxide electron transport layer which is stacked on the inorganic photoactive layer; a polyethylene dioxythiophene (3,4-ethylene dioxythiophene): polystyrene sulfonate (PEDOT:PSS) hole transport layer which is stacked on the electron transport layer; an organic photoactive layer which is stacked on the hole transport layer; and a rear electrode layer which is stacked on the organic photoactive layer. In the present invention, an insulation layer, which is composed of the indium tin oxide electron transport layer and the polyethylene dioxythiophene (3,4-ethylene dioxythiophene): polystyrene sulfonate (PEDOT:PSS) hole transport layer, is inserted between the inorganic photoactive layer and the organic photoactive layer of the organic/inorganic combination tandem solar cell, thereby enhancing resistance contact between an inorganic solar cell and an organic solar cell. Furthermore, by providing a space for electrons and holes excited from the inorganic solar cell and the organic solar cell to be re-combined effectively, the photoelectric transformation efficiency of the organic/inorganic combination tandem solar cell can be improved. [Reference numerals] (AA) Protection layer for FIB;(BB) Aluminum (Al);(CC) Indium tin oxide (ITO);(DD) Amorphous silicon (p-type/l-type/n-type);(EE) Zinc oxide with Al doping (AZO);(FF) Glass

Abstract translation: 本发明涉及有机/无机组合串联太阳能电池及其制造方法。 更具体地，本发明中给出的有机/无机组合串联太阳能电池及其制造方法包括：基板; 形成在基板上的透明电极层; 堆叠在透明电极层上的无机光敏层; 层叠在无机光活性层上的氧化铟锡电子传输层; 叠层在电子传输层上的聚乙烯二氧噻吩（3,4-乙烯二氧噻吩）：聚苯乙烯磺酸盐（PEDOT：PSS）空穴传输层; 层叠在空穴传输层上的有机光活性层; 以及层叠在有机光活性层上的后电极层。 在本发明中，将由铟锡氧化物电子传输层和聚乙烯二氧噻吩（3,4-亚乙基二氧噻吩）：聚苯乙烯磺酸酯（PEDOT：PSS）空穴传输层构成的绝缘层插入无机光活性 层和有机/无机组合串联太阳能电池的有机光活性层，从而增强无机太阳能电池和有机太阳能电池之间的电阻接触。 此外，通过提供从无机太阳能电池和有机太阳能电池激发的电子和空穴被有效地重新组合的空间，可以提高有机/无机组合串联太阳能电池的光电转换效率。 （AA）FIB保护层（BB）铝（Al）;（CC）氧化铟锡（ITO）;（DD）非晶硅（p型/ l-型/ n型）;（ EE）具有Al掺杂的氧化锌（AZO）;（FF）玻璃