Abstract:
본 발명은, 기판 상에 금속 나노입자들이 수 나노미터 간격으로 이격되도록 제조함으로써 표면 증강 라만 신호를 현저히 증가시킬 수 있으며, 장기간 보관하는 경우에도 현저하게 라만 신호를 증강시킬 수 있는 표면 증강 라만 분광용 기판; 및 간단한 장비와 낮은 생산비로 대면적으로 상기 표면 증강 라만 분광용 기판을 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 상에 수 나노미터 간격으로 이격된 금속 나노입자를 포함하는 표면 증강 라만 분광용 기판은 간단한 장비와 낮은 생산비로 대면적으로 제조할 수 있다. 또한, 상기 금속 나노입자 사이의 간격을 수 나노미터로 재현성 있게 제조할 수 있어 현저히 향상된 라만 신호 증강 효과를 나타낼 수 있으며, 장기간 보관하는 경우에도 높은 수준으로 라만 신호 증강 효과를 유지할 수 있다는 이점이 있다.
Abstract:
본 발명은 금속 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 배향성을 가지는 기판; 및 상기 기판 상에 형성되는 금속박막;을 포함하되, 상기 금속 박막은 초기 성장 시에 상기 기판의 배향성에 상응하는 배향성을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 금속 박막 기판에 관한 것으로, 본 발명에 의한 금속 박막 기판은 성장초기부터 2차원 연속 박막으로 성장되며 광투과율 및 전도성이 우수한 금속 박막을 제공하는 효과가 있다.
Abstract:
본 발명은 구리 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 기판; 및 상기 기판 상에 형성되며 구리(Cu) 또는 구리합금으로 구성되는 구리 박막;을 포함하되, 상기 구리 박막의 (111)면의 전체 결정면에 대한 비율은 상기 구리 박막의 두께가 증가함에 따라 감소하며 상기 구리 박막의 I(111)/I(200)이 17을 초과하는 구리 박막 기판에 관한 것으로, 본 발명에 의한 구리 박막 기판은 성장초기부터 2차원 연속 박막으로 성장되며 광투과율 및 전도성이 우수한 구리 박막을 제공하는 효과가 있다.
Abstract:
반사 방지 기판 및 그 제조 방법이 개시된다. 본 발명에 의하면, 빛의 투과가 가능한 베이스 기판을 준비하고, 건식 에칭 방법을 이용하여 상기 베이스 기판의 표면에 복수의 돌기형 구조체를 형성하며, 무기물 입자의 증착에 의해 상기 복수의 돌기형 구조체 각각에 빛의 반사를 방지할 수 있는 반사 방지 구조체를 형성한다.
Abstract:
본 발명은 플라즈모닉 광흡수체, 이를 포함하는 플라즈모닉 광촉매 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판; 상기 기판에 형성된 불규칙한 방향으로 기울어진 나노로드; 및 상기 나노로드 및 상기 기판의 표면상에 형성된 금속 함유 박막;을 포함하되, 상기 금속 함유 박막이 형성된 상기 나노로드는 인접한 나노로드와 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 다양한 크기의 나노갭을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 광흡수체, 이를 포함하는 플라즈모닉 광촉매 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 대면적으로 제작되면서 넓은 파장 영역의 광을 높은 효율로 흡수할 수 있는 플라즈모닉 광흡수체 및 이를 포함하는 플라즈모닉 광촉매 기판을 제공하는 효과가 있다.
Abstract:
투명전도성 기판 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명에 의하면, 빛의 투과가 가능한 베이스 기판; 투명전도성 물질의 증착에 의해 형성되는, 투명전도층; 및 반사방지층을 포함하되, 상기 반사방지층은, 건식 에칭 방법을 이용하여 형성되는, 복수의 돌기형 구조체 및 무기물 입자의 증착에 의해 형성되는 반사방지 구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전도성 기판 및 그 제조 방법이 제공된다.
Abstract:
본 발명의 일 실시예로서, 플라즈마가 아크로 전이되는 현상을 억제하여 대기압 근처에서도 안정적이면서도 고밀도 플라즈마를 발생시키기 위해, 기판을 안착시키기 위한 판상형 하부전극; 및 상기 판상형 하부전극 상의 원통형 회전 전극을 포함하고, 상기 원통형 회전 전극은, 전원부에 연결되고, 그 외주면 상에 복수의 캐필러리부들을 포함하는 도전성 몸체; 및 상기 복수의 캐필러리부들의 저면부를 노출하도록 그 외의 부분은 절연체 또는 유전체로 차폐하는 것을 포함하는, 플라즈마 발생장치를 제공한다.