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公开(公告)号：WO2013162174A1
公开(公告)日：2013-10-31
申请号：PCT/KR2013/002176
申请日：2013-03-18
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: C23C14/185 , B81B2207/056 , B81C1/00031 , C03C15/00 , C03C2218/34 , C23C14/04 , H01L29/0665
Abstract: 마스크층을 식각 보호층으로 이용하는 나노 패턴의 형성방법 및 이로부터 제조된 나노 구조물이 제공된다. 일 실시예에 따르면, 기판 상에 나노 응집 입자들을 포함하는 마스크층을 형성한다. 상기 마스크층은 상기 나노 응집 입자들 사이로 상기 기판을 노출하는 개구를 갖는다. 상기 마스크층을 식각 보호층으로 이용하여 상기 개구로부터 노출된 상기 기판의 표면을 선택적으로 식각하여, 상기 기판 상에 나노 패턴을 형성한다.
Abstract translation: 提供了使用掩模层作为蚀刻保护层和由其制备的纳米结构形成纳米图案的方法。 根据一个实施方案，在基材上形成包含聚集的纳米颗粒的掩模层。 掩模层具有在聚集的纳米颗粒中暴露基底的孔。 通过使用掩模层作为蚀刻保护层选择性地蚀刻从孔暴露的基板的表面，在基板上形成纳米图案。
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公开(公告)号：WO2017034262A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：PCT/KR2016/009245
申请日：2016-08-22
IPC: H01L21/3065 , H01L31/0216 , H01L21/56
CPC classification number: H01L21/3065 , H01L21/56 , H01L31/0216
Abstract: 본 발명은 플라즈마 건식 에칭과 무기물 증착의 반복적인 제어를 통해 형성되는 반사방지 구조층을 다양한 구조로 제어함으로써 내구성 향상과 우수한 광 투과성 및 반사방지 효과를 확보할 수 있고, 이지 클린, 내오염성, 내스크래치성 등과 같은 기능성을 부여할 수 있는 반사방지 표면의 제조 방법 및 반사방지 표면이 형성된 기판에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种抗反射表面的制造方法，其通过反复等离子体干蚀刻和无机沉积的控制形成多种结构来控制抗反射结构层，从而提高耐久性并确保优异的耐候性 透光性和抗反射效果，同时赋予容易清洁，耐污染，耐刮擦等功能; 以及在其上形成有抗反射表面的基板。
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公开(公告)号：WO2013141442A1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：PCT/KR2012/003495
申请日：2012-05-03
CPC classification number: G02B1/113
Abstract: 반사 방지 기판 및 그 제조 방법이 개시된다. 본 발명에 의하면, 빛의 투과가 가능한 베이스 기판을 준비하고, 건식 에칭 방법을 이용하여 상기 베이스 기판의 표면에 복수의 돌기형 구조체를 형성하며, 무기물 입자의 증착에 의해 상기 복수의 돌기형 구조체 각각에 빛의 반사를 방지할 수 있는 반사 방지 구조체를 형성한다.
Abstract translation: 公开了一种抗反射基板及其制造方法。 根据本发明，制备能够透过光的基底基板，利用干蚀刻方法在基底基板的表面上形成多个突出结构，并且形成能够防止光的反射的抗反射结构 通过沉积无机颗粒在多个突出结构中的每一个上。
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公开(公告)号：WO2016048053A1
公开(公告)日：2016-03-31
申请号：PCT/KR2015/010066
申请日：2015-09-24
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 복수의 나노갭이 형성된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 높은 흡광 특성을 지니면서 광원의 파장범위를 광범위하게 조절할 수 있는 복수의 나노갭 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种其上形成有多个纳米点的基板及其制造方法，更具体地涉及一种具有高吸收特性并能够将光源的波长范围调整为宽的多纳米片基板 ，及其制造方法。
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公开(公告)号：WO2014007416A1
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：PCT/KR2012/005457
申请日：2012-07-10
Applicant: 한국기계연구원 , 류승윤 , 김동호 , 남기석 , 정용수 , 권정대 , 이성훈 , 윤정훈 , 이건환 , 정형환 , 박성규 , 김창수 , 강재욱 , 임굉수 , 박상일
IPC: H01L31/042 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/18 , H01L31/062 , H01L31/07 , H01L31/075 , H01L31/078 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 박막 태양전지 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 태양전지는 기판; 기판상에 형성되는 전면 전극층; 전면 전극 상에 형성되는 옥사이드층; 옥사이드층 상에 형성되는 광 흡수층(intrinsic layer); 및 광 흡수층 상에 형성되는 후면 전극층을 포함하고, 옥사이드층은 MoO 3 , WO 3 , V 2 O 5 및 CrO 3 중에서 선택되는 물질로 형성된다.
Abstract translation: 公开了一种薄膜太阳能电池及其制造方法。 根据本发明的一个实施例的薄膜太阳能电池包括：基板; 形成在所述基板上的前表面电极层; 形成在前表面电极上的氧化物层; 形成在氧化物层上的本征层; 以及形成在本征层上的背面电极层，其中氧化物层由选自MoO 3，WO 3，V 2 O 5和CrO 3的材料形成。
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Patent Agency Ranking6.发明申请플라즈마 발생장치, 플라즈마 발생장치용 회전 전극의 제조방법, 기판의 플라즈마 처리방법, 및 플라즈마를 이용한 혼합 구조의 박막 형성방법 审中-公开用于等离子体生成的装置，用于制造用于等离子体生成装置的旋转电极的方法，用于等离子体处理基板的方法，以及使用等离子体形成混合结构的薄膜的方法
公开(公告)号：WO2013022306A2
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：PCT/KR2012/006384
申请日：2012-08-10
IPC: H05H1/34 , C23C16/50 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/32541 , C23C16/503 , C23C16/509 , H01J9/022 , H01J37/32559 , H01J37/32568 , H01J37/32825 , H01J2237/327 , H05H1/2406 , H05H2001/2431 , H05H2001/485 , H05H2001/486
Abstract: 본 발명의 일 실시예로서, 플라즈마가 아크로 전이되는 현상을 억제하여 대기압 근처에서도 안정적이면서도 고밀도 플라즈마를 발생시키기 위해, 기판을 안착시키기 위한 판상형 하부전극; 및 상기 판상형 하부전극 상의 원통형 회전 전극을 포함하고, 상기 원통형 회전 전극은, 전원부에 연결되고, 그 외주면 상에 복수의 캐필러리부들을 포함하는 도전성 몸체; 및 상기 복수의 캐필러리부들의 저면부를 노출하도록 그 외의 부분은 절연체 또는 유전체로 차폐하는 것을 포함하는, 플라즈마 발생장치를 제공한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，提供了一种用于等离子体产生的装置，包括：板状下电极，用于安装基板以通过抑制等离子体转移到的现象来产生大气压附近的稳定和高密度等离子体 一个弧 导电体，其包括在所述板状下电极上的圆筒形旋转电极，其中所述圆筒状旋转电极与电源单元连接，并且在其外周面上连接有多个毛细管单元; 以及用绝缘体或电介质覆盖以暴露多个毛细管单元的底部的其它部分。
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7.发明申请화합물 분말 제조장치, 이를 이용한 철-붕소 화합물 분말의 제조방법, 붕소합금 혼합분말과 그의 제조방법, 분말결합체와 그의 제조방법, 및 강관과 그 제조방법 审中-公开化合物制造装置，使用其的铁硼钴粉混合物的制造方法，硼氢合金粉末混合物及其制备方法，粉末共混物及其制造方法以及钢管及其制备方法
公开(公告)号：WO2012169847A2
公开(公告)日：2012-12-13
申请号：PCT/KR2012/004575
申请日：2012-06-08
CPC classification number: C22C1/00 , B01J6/00 , B22F1/0085 , B22F9/20 , B22F9/22 , C01B35/04 , C22C1/0433 , C22C1/045 , C22C1/1084 , C22C32/0047 , C22C32/0073 , C22C33/0207 , C22C33/0228 , C22C33/0292 , C22C38/002 , C22C38/02 , C22C38/18 , C22C38/32 , C22C38/34 , C22C38/36 , F16L9/02 , F16L9/14 , F16L57/06 , F16L58/08 , F27B7/06 , F27B7/34
Abstract: 본 발명은 화합물 분말 제조장치, 이를 이용한 철-붕소 화합물 분말의 제조방법, 붕소합금 혼합분말과 그의 제조방법, 분말결합체와 그의 제조방법, 및 강관과 그 제조방법을 제공한다. 본 발명의 일 관점에 따르면, 붕소합금철분말 및 대상분말이 혼합된 분말을 준비하는 단계; 소정의 열처리를 통해 상기 대상분말의 적어도 일부를 침붕처리하면서 상기 붕소합금철분말의 적어도 일부를 탈붕처리하여 상기 붕소합금철분말의 융점을 감소시키는 탈붕처리단계;를 포함하는, 붕소합금 혼합분말의 제조방법이 제공된다.
Abstract translation: 本发明提供一种化合物粉末的制造装置，使用其的铁硼粉末混合物的制备方法，硼合金粉末混合物及其制备方法，粉末共轭物及其制造方法， 以及钢管及其制造方法。 根据本发明的一个方面，制备硼合金粉末混合物的方法包括：制备其中混合有铁硼粉和目标粉末的混合物粉末的步骤; 以及去硼化步骤，通过规定的热处理使至少一部分目标粉末硼化，从而降低铁硼粉末的熔点，同时将至少一部分铁硼粉末脱硼。
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公开(公告)号：KR1020150095972A
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：KR1020140016196
申请日：2014-02-12
Applicant: 한국기계연구원
IPC: C23C16/44 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/4401
Abstract: 본 발명은 클리닝 가스를 챔버 내부에 골고루 공급할 수 있는 클리닝 가스 순환 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비에 관한 것으로서, 증착 장비의 챔버의 일부분에 형성된 클리닝 가스 투입구에 설치되고, 클리닝 가스를 챔버 내부로 공급하는 클리닝 가스 공급관; 상기 챔버의 타부분에 형성된 클리닝 가스 배출구에 설치되고, 챔버 내부의 클리닝 가스를 배출하는 클리닝 가스 배출관; 상기 클리닝 가스 공급관과 상기 클리닝 가스 배출관을 연결시키는 클리닝 가스 순환관; 및 상기 클리닝 가스 순환관에 설치되고, 상기 클리닝 가스를 정제하는 클리닝 가스 정제 필터;를 포함하고, 상기 챔버 내부에서 클리닝 가스의 이동 경로가 길어지도록 상기 클리닝 가스 투입구는 상기 챔버의 상부의 제 1 모서리부, 제 2 모서리부, 제 3 모서리부 및 제 4 모서리부 중에서 어느 일 모서리부 근방에 설치되고, 상기 클리닝 가스 배출구는 상기 챔버의 하부의 제 5 모서리부, 제 6 모서리부, 제 7 모서리부 및 제 8 모서리부 중에서 상기 일 모서리부와 3차원 대각선 방향으로 반대편에 위치하는 다른 모서리부에 설치되는 것일 수 있다.
Abstract translation: 清洗气体循环装置，沉积装置和大气压化学气相沉积装置技术领域本发明涉及清洗气体循环装置，沉积装置和大气压化学气相沉积装置 该装置包括：清洁气体供给管，其安装在形成在沉积装置的室的一部分中的清洗气体入口处，并将清洁气体供应到室中; 清洁气体排出管，其安装在形成在所述室的另一部分中的清洗气体出口处，并且将所述清洁气体从所述室排出; 清洁气体循环管，其将清洁气体供给管与清洁气体排出管连接; 以及安装在清洗气体循环管上的净化气体净化过滤器，净化清洗气体。 清洁气体入口安装在室的上部的第一，第二，第三和第四角之间的一个周围，以便延长腔室中的清洁气体的运动路径，并且清洁气体出口安装在拐角 ，放置在3D对角线方向的相对侧，在腔室的下部的第五，第六，第七和第八角中。
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公开(公告)号：KR1020140007082A
公开(公告)日：2014-01-17
申请号：KR1020120069144
申请日：2012-06-27
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L31/0725 , H01L31/042 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/0725 , H01L31/042 , H01L31/18
Abstract: The present invention relates to an organic-inorganic hybrid tandem solar cell and a manufacturing method thereof. In particular, the organic-inorganic hybrid tandem solar cell according to the present invention is provided by comprising: a substrate; a transparent electrode layer which is formed on the substrate; an inorganic optical active layer which is laminated on the transparent electrode layer; an indium tin oxide electron transport layer which is laminated on the inorganic optical active layer; a hole transport layer laminated on the electron transport layer, comprising poly(3,4-ethylenedioxythiphene):poly(4-styrenesulfonate) (PEDOT:PSS) or polyaniline and having noble metal nanoparticles distributed on one side or on both sides; and a backside electrode layer laminated on the organic optical active layer. The organic-inorganic hybrid tandem solar cell according to the present invention can further improve the optoelectronic conversion efficiency by distributing noble metal nanoparticles on at least one side of an electron transport layer. [Reference numerals] (AA) Noble metal nanoparticle distribution layer; (BB) PEDOT:PSS or PANI; (CC) Backside electrode layer; (DD) Organic optical active layer; (EE) Hole transport layer; (FF) ITO electron transport layer; (GG) Inorganic optical active layer; (HH) Transparent electrode layer; (II) Substrate
Abstract translation: 本发明涉及一种有机 - 无机混合串联太阳能电池及其制造方法。 特别地，根据本发明的有机 - 无机混合串联太阳能电池是通过包括：基板; 形成在基板上的透明电极层; 层叠在透明电极层上的无机光学有源层; 层叠在无机光学有源层上的氧化铟锡电子传输层; 层叠在电子传输层上的空穴传输层，其包含聚（3,4-亚乙基二氧基硫）：聚（4-苯乙烯磺酸盐）（PEDOT：PSS）或聚苯胺，并且具有分布在一侧或两侧的贵金属纳米颗粒; 以及层叠在有机光学有源层上的背面电极层。 根据本发明的有机 - 无机混合串联太阳能电池可以通过在电子传输层的至少一侧上分配贵金属纳米颗粒来进一步提高光电转换效率。 （标号）（AA）贵金属纳米粒子分布层; （BB）PEDOT：PSS或PANI; （CC）背面电极层; （DD）有机光学有源层; （EE）空穴传输层; （FF）ITO电子传输层; （GG）无机光有源层; （HH）透明电极层; （二）基材
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