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公开(公告)号：KR1020170078401A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：KR1020150188879
申请日：2015-12-29
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은볼 수용부를구비하는지지체와, 상기수용부에볼 조인트형태로수용되는에어베어링볼과, 상기에어베어링볼에연결되며상기에어베어링볼을회전구동시키는구동유닛과, 상기에어베어링볼에설치되며레이저광원과연결되어타겟에레이저를조사하는레이저간섭계와, 상기레이저간섭계에설치되며상기타겟의이동에따라상기타겟에서반사된레이저빔의변위를감지하는위치감지디텍터와, 상기위치감지디텍터의감지결과를근거로상기레이저간섭계가상기타겟을트래킹하도록상기구동유닛을제어하는제어부를포함하는레이저트래커를개시한다.
Abstract translation: 本发明被认为是容纳部包括支承，驱动单元，以及用于连接所述空气轴承滚珠和空气轴承滚珠在保持部看到的关节形式接收空气轴承球被旋转驱动空气轴承滚珠 位置检测器，其耦合到所述激光干涉仪并且被配置为响应于所述目标的移动来检测从所述目标反射的所述激光束的位移; 以及控制单元，用于控制驱动单元，使得激光干涉仪基于激光跟踪器的检测结果跟踪目标。
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公开(公告)号：KR101890314B1
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：KR1020150188879
申请日：2015-12-29
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은볼 수용부를구비하는지지체와, 상기수용부에볼 조인트형태로수용되는에어베어링볼과, 상기에어베어링볼에연결되며상기에어베어링볼을회전구동시키는구동유닛과, 상기에어베어링볼에설치되며레이저광원과연결되어타겟에레이저를조사하는레이저간섭계와, 상기레이저간섭계에설치되며상기타겟의이동에따라상기타겟에서반사된레이저빔의변위를감지하는위치감지디텍터와, 상기위치감지디텍터의감지결과를근거로상기레이저간섭계가상기타겟을트래킹하도록상기구동유닛을제어하는제어부를포함하는레이저트래커를개시한다.
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