-
公开(公告)号：KR100670234B1
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：KR1020050004330
申请日：2005-01-17
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01N3/08
CPC classification number: G01N3/08 , G01N2203/0051 , G01N2203/0286
Abstract: 본 발명은 미세기계전자시스템에 사용되는 극소 크기 재료의 기계적 물성값을 측정하기 위한 초소형 재료 시험기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 극소크기 재료의 기계적 물성값을 측정하기 위한 초소형 재료 시험기는 중간에 가로 방향으로 형성되고 중간의 측정부를 포함하는 시험편과 이 시험편의 양측에 구비되어 있는 제1 판 및 제2 판으로 구성된 인장 시험편과, 상,하면이 평탄면으로 형성되어 있고 상면에는 상기 인장 시험편이 제 1판의 부착을 통해 가로 방향으로 고정되어 있는 판 부재로 구성됨을 특징으로 한다.
또한 양측에 구비된 제1,2 고정부가 포함되는 본체와; 상기 제1,2 고정부의 사이에 구비되어 있고, 상부에는 중간에 가로 방향으로 형성되고 중간의 측정부를 포함하는 시험편과 이 시험편의 양측에 구비되어 있는 제1 판 및 제2 판으로 구성된 인장 시험편과 상,하면이 평탄면으로 형성되어 있고 상면에는 상기 인장 시험편이 제1 판의 부착을 통해 가로 방향으로 고정되어 있는 판 부재로 구성된 시험편 부재가 고정되는 부재 고정장치와; 상기 판 부재에 고정된 인장 시험편의 미 부착되는 제2 판의 상부와 상기 제2 고정부 사이에 구비되어 인장 시험편을 인장하는 인장수단과; 상기 부재 고정장치와 제1 고정부의 사이에 구비되어 상기 인장수단을 통해 상기 인장 시험편이 인장될 경우에 인장하중을 측정하는 인장하중 측정수단; 및 상기 부재 고정장치의 상부에 구비되어 측정되는 인장 시험편의 측정부를 계측하는 측정부 계측수단으로 구성됨을 특징으로 한다.
시험편 부재, 초소형 재료 시험기, 인장수단, 인장하중 측정수단,-
公开(公告)号：KR1020060084064A
公开(公告)日：2006-07-21
申请号：KR1020050004330
申请日：2005-01-17
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01N3/08
CPC classification number: G01N3/08 , G01N2203/0051 , G01N2203/0286
Abstract: 본 발명은 미세기계전자시스템에 사용되는 극소 크기 재료의 기계적 물성값을 측정하기 위한 초소형 재료 시험기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 극소크기 재료의 기계적 물성값을 측정하기 위한 초소형 재료 시험기는 중간에 가로 방향으로 형성되고 중간의 측정부를 포함하는 시험편과 이 시험편의 양측에 구비되어 있는 제1 판 및 제2 판으로 구성된 인장 시험편과, 상,하면이 평탄면으로 형성되어 있고 상면에는 상기 인장 시험편이 제 1판의 부착을 통해 가로 방향으로 고정되어 있는 판 부재로 구성됨을 특징으로 한다.
또한 양측에 구비된 제1,2 고정부가 포함되는 본체와; 상기 제1,2 고정부의 사이에 구비되어 있고, 상부에는 중간에 가로 방향으로 형성되고 중간의 측정부를 포함하는 시험편과 이 시험편의 양측에 구비되어 있는 제1 판 및 제2 판으로 구성된 인장 시험편과 상,하면이 평탄면으로 형성되어 있고 상면에는 상기 인장 시험편이 제1 판의 부착을 통해 가로 방향으로 고정되어 있는 판 부재로 구성된 시험편 부재가 고정되는 부재 고정장치와; 상기 판 부재에 고정된 인장 시험편의 미 부착되는 제2 판의 상부와 상기 제2 고정부 사이에 구비되어 인장 시험편을 인장하는 인장수단과; 상기 부재 고정장치와 제1 고정부의 사이에 구비되어 상기 인장수단을 통해 상기 인장 시험편이 인장될 경우에 인장하중을 측정하는 인장하중 측정수단; 및 상기 부재 고정장치의 상부에 구비되어 측정되는 인장 시험편의 측정부를 계측하는 측정부 계측수단으로 구성됨을 특징으로 한다.
시험편 부재, 초소형 재료 시험기, 인장수단, 인장하중 측정수단,-
公开(公告)号：KR1020060078681A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040116993
申请日：2004-12-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01Q40/00
Abstract: 본 발명은, 팁이 마련된 SPM 캔틸레버를 스캐너가 변위시키고, 위치 감응 검출기가 상기 SPM 캔틸레버에서 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하도록 구성된 채 나노 구조물의 측정 및 조작에 이용되는 주사 탐침 현미경에 관한 것으로서, 종래의 SPM 장비에 쉽게 호환이 가능하면서(compatible) 손쉽게 그리고 정밀하게 SPM 캔틸레버의 강성 보정을 가능케 하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명에 주사 탐침 현미경의 보정장치는, 적어도 일 방향의 강성이 미리 결정되어지되, 상기 강성이 상기 SPM 캔틸레버에 의한 하중에 의해 일 방향으로 변위될 수 있도록 정해지는 보정용 구조물과, 상기 SPM 캔틸레버에 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하는 위치 감응 검출기와, 자체의 변위량와 SPM 캔틸레버의 변위량 간의 차에 의해 상기 보정용 구조물의 변위량을 결정해주는 스캐너를 포함한다.
SPM, 캔틸레버, 팁, 보정, 강성, 위치 감응 검출기, 스캐너-
公开(公告)号：KR100667217B1
公开(公告)日：2007-01-12
申请号：KR1020040116993
申请日：2004-12-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01Q40/00
Abstract: 본 발명은, 팁이 마련된 SPM 캔틸레버를 스캐너가 변위시키고, 위치 감응 검출기가 상기 SPM 캔틸레버에서 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하도록 구성된 채 나노 구조물의 측정 및 조작에 이용되는 주사 탐침 현미경에 관한 것으로서, 종래의 SPM 장비에 쉽게 호환이 가능하면서(compatible) 손쉽게 그리고 정밀하게 SPM 캔틸레버의 강성 보정을 가능케 하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명에 주사 탐침 현미경의 보정장치는, 적어도 일 방향의 강성이 미리 결정되어지되, 상기 강성이 상기 SPM 캔틸레버에 의한 하중에 의해 일 방향으로 변위될 수 있도록 정해지는 보정용 구조물과, 상기 SPM 캔틸레버에 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하는 위치 감응 검출기와, 자체의 변위량와 SPM 캔틸레버의 변위량 간의 차에 의해 상기 보정용 구조물의 변위량을 결정해주는 스캐너를 포함한다.
SPM, 캔틸레버, 팁, 보정, 강성, 위치 감응 검출기, 스캐너
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.018 seconds)
