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公开(公告)号：KR100670235B1
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：KR1020050008818
申请日：2005-01-31
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 제작된 폴리머 반구체와 접촉하는 임의의 기판 사이의 물성 중 점착력, 점착 에너지, 마찰력, 마찰계수를 측정할 수 있는 장치에 관한 것으로, X, Y축으로 이동되는 운동 테이블과 운동 테이블에 대하여 수직으로 세워진 컬럼을 포함하는 본체와, 상기 운동 테이블위에 구비되어 수평으로 놓여진 접촉판의 표면을 미러를 통해 반사시키는 샘플마운트와, 상기 컬럼의 전방에 구비되어 접촉판의 표면을 눌러 점착력 시험을 수행하는 폴리머 반구체를 포함하는 헤드 어셈블리와, 상기 미러의 전방에 구비되어 상기 점착력 시험시 접촉판의 표면을 촬영하는 촬영수단, 및 상기 점착 시험시 헤드 어셈블리로 인가되는 하중과 하중이 걸리는 시간을 입력받고 일정시간으로 하중이 인가된 순간에 상기 촬영수단으로부터 접촉판의 표면 촬영 데이터를 입력받아 이를 분석하는 제어장치로 구성됨을 특징으로 하는 것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100670233B1
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：KR1020050033209
申请日：2005-04-21
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 자유지지 박막 시험기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고정판에 미세기계전자시스템 및 나노기술에 사용되는 마이크로 또는 나노 스케일의 크기를 갖는 자유지지 박막 시편을 고정한 후 자유지지 박막 시편의 위치를 정렬하여 기계적 물성값을 측정하기 위한 자유지지 박막 시험기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 자유지지 박막 시험기는 내부에는 상부가 개방된 중공부가 구비된 본체와; 상기 중공부의 상부 둘레에 구비되어 외부의 조작을 통해 자유지지 박막 시편을 정렬하는 중공부가 포함된 시편 다축정렬수단과; 상기 시편 다축정렬수단의 중공부 상부에 상기 자유지지 박막 시편의 물성값을 측정할 수 있도록 자유지지 박막 시편을 고정하는 고정판과; 상기 본체를 구성하는 중공부의 일측에 구비되어 상기 자유지지 박막 시편을 눌러 주는 시험수단으로 구성됨을 특징으로 한다.
자유지지 박막 시험기, 자유지지 박막, 기계적 물성, 시험수단, 유리판-
公开(公告)号：KR1020060078681A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040116993
申请日：2004-12-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01Q40/00
Abstract: 본 발명은, 팁이 마련된 SPM 캔틸레버를 스캐너가 변위시키고, 위치 감응 검출기가 상기 SPM 캔틸레버에서 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하도록 구성된 채 나노 구조물의 측정 및 조작에 이용되는 주사 탐침 현미경에 관한 것으로서, 종래의 SPM 장비에 쉽게 호환이 가능하면서(compatible) 손쉽게 그리고 정밀하게 SPM 캔틸레버의 강성 보정을 가능케 하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명에 주사 탐침 현미경의 보정장치는, 적어도 일 방향의 강성이 미리 결정되어지되, 상기 강성이 상기 SPM 캔틸레버에 의한 하중에 의해 일 방향으로 변위될 수 있도록 정해지는 보정용 구조물과, 상기 SPM 캔틸레버에 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하는 위치 감응 검출기와, 자체의 변위량와 SPM 캔틸레버의 변위량 간의 차에 의해 상기 보정용 구조물의 변위량을 결정해주는 스캐너를 포함한다.
SPM, 캔틸레버, 팁, 보정, 강성, 위치 감응 검출기, 스캐너-
公开(公告)号：KR1020060110958A
公开(公告)日：2006-10-26
申请号：KR1020050033209
申请日：2005-04-21
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: A freestanding thin film tester is provided to measure mechanical property of a freestanding thin film sample by easily aligning a position of the freestanding thin film sample having a micro or a nano scale through a transparent glass plate. In a freestanding thin film tester, a main body(1) has a hollow part(11) opened to an upper part. A sample multi-axis alignment unit(2) contains a hollow part which aligns a freestanding thin film sample by an external operation. A fixing plate(3) holds the freestanding thin film sample to measure the mechanical property of freestanding thin film sample. And, a test unit(4) presses the freestanding thin film sample at the hollow part.
Abstract translation: 提供了一种独立的薄膜测试仪，用于通过透明玻璃板容易地对齐具有微尺度或纳米级的独立薄膜样品的位置来测量独立薄膜样品的机械性能。 在独立式薄膜测试器中，主体（1）具有向上部开口的中空部分（11）。 样品多轴对准单元（2）包含中空部分，其通过外部操作对齐独立的薄膜样品。 固定板（3）保持独立的薄膜样品，以测量独立薄膜样品的机械性能。 并且，测试单元（4）在中空部分处按压独立的薄膜样品。
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公开(公告)号：KR100667217B1
公开(公告)日：2007-01-12
申请号：KR1020040116993
申请日：2004-12-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01Q40/00
Abstract: 본 발명은, 팁이 마련된 SPM 캔틸레버를 스캐너가 변위시키고, 위치 감응 검출기가 상기 SPM 캔틸레버에서 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하도록 구성된 채 나노 구조물의 측정 및 조작에 이용되는 주사 탐침 현미경에 관한 것으로서, 종래의 SPM 장비에 쉽게 호환이 가능하면서(compatible) 손쉽게 그리고 정밀하게 SPM 캔틸레버의 강성 보정을 가능케 하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명에 주사 탐침 현미경의 보정장치는, 적어도 일 방향의 강성이 미리 결정되어지되, 상기 강성이 상기 SPM 캔틸레버에 의한 하중에 의해 일 방향으로 변위될 수 있도록 정해지는 보정용 구조물과, 상기 SPM 캔틸레버에 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하는 위치 감응 검출기와, 자체의 변위량와 SPM 캔틸레버의 변위량 간의 차에 의해 상기 보정용 구조물의 변위량을 결정해주는 스캐너를 포함한다.
SPM, 캔틸레버, 팁, 보정, 강성, 위치 감응 검출기, 스캐너-
公开(公告)号：KR1020060087931A
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020050008818
申请日：2005-01-31
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: Disclosed herein is an apparatus for measuring adhesive and frictional properties of a polymer hemisphere relative to a contact plate provided in the apparatus. The apparatus comprise a body having a movable table installed to move along an X-axis and Y-axis and a vertical column positioned at a rear side of the movable table, a sample mount provided on the movable table and having a mirror to reflect surface images of a horizontal contact plate, a head assembly located at a front side of the column and having a polymer hemisphere used to press a surface of the contact plate to implement an adhesive force test, a camera device located at a front side of the mirror to capture the surface images of the contact plate during the adhesive force test, and a control device for analyzing various data inputted thereto during the adhesive force test.
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