公开(公告)号：KR101285717B1

公开(公告)日：2013-07-12

申请号：KR1020110044837

申请日：2011-05-12

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 조성학 ,  박정규 ,  김재구 ,  허원하 ,  코지수기오카 ,  홍종욱

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/064 ,  H01S3/10

Abstract: 본 발명의 목적은 매우 높은 수준의 순간 피크 강도를 얻을 수 있는 극초단 펄스 레이저인 펨토초 레이저를 이용하여 플라즈마를 발생시키고 이로써 형상 가공이 이루어지도록 함으로써 높은 정밀도로 고종횡비를 갖는 미세 형상을 가공할 수 있도록 하는, 극초단 펄스 레이저를 응용한 고종횡비 미세 형상 가공 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 극초단 펄스 레이저를 응용한 고종횡비 미세 형상 가공 장치는, 극초단 펄스 레이저를 발생시키는 레이저 광원(1); 상기 레이저 광원(1)에서 발생된 빔을 집광하는 집광 렌즈(2); 를 포함하여 이루어지는 미세 형상 가공 장치(10)로서, 상기 집광 렌즈(2)를 통과한 빔이 플라즈마 채널링을 발생시키며, 플라즈마 채널링이 발생된 영역에 가공 대상물(50)이 배치되도록 하여 형상 가공을 수행하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020120126789A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：KR1020110044837

申请日：2011-05-12

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 조성학 ,  박정규 ,  김재구 ,  허원하 ,  코지수기오카 ,  홍종욱

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/064 ,  H01S3/10

Abstract: PURPOSE: A fine application apparatus for a high aspect ratio shape using an ultra-short pulse laser is provided to precisely process a fine shape with a high aspect ratio by using plasma created by ultra-short pulse laser. CONSTITUTION: A fine application apparatus for a high aspect ratio shape comprises a laser source(1) which generates ultra-short pulse laser beams and a condensing lens(2) which condenses the laser beams generated by the laser source so that the laser beams passing through the condensing lens generate plasma channeling. A work piece(50) is arranged in the area of plasma channeling, thereby implementing shape processing.

Abstract translation: 目的：提供使用超短脉冲激光器的高纵横比形状的精细施加装置，通过使用由超短脉冲激光产生的等离子体来精确地处理具有高纵横比的精细形状。 构成：用于高纵横比形状的精细施加装置包括产生超短脉冲激光束的激光源（1）和聚光透镜（2），其聚合由激光源产生的激光束，使得激光束通过 通过聚光透镜产生等离子体通道。 工件（50）布置在等离子体通道的区域中，从而实现形状处理。