公开(公告)号：KR1020130106481A

公开(公告)日：2013-09-30

申请号：KR1020120028032

申请日：2012-03-20

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이성의 ,  김완규 ,  윤영우

IPC: H01L21/28

CPC classification number: H01L21/76871 ,  H01L21/324

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing electrode wiring on a substrate and the substrate using the same are provided to perform the thermal treatment of an upper surface of the substrate, thereby improving adhesion between a metal layer and the substrate. CONSTITUTION: Copper and chrome are deposited on a substrate (1) to form a seed layer (2). The mixing ratio of the chrome is more than that of the copper in a part that the copper and the chrome are in contact with the surface of the substrate. The mixing ratio of the copper gradually increases toward the upper part of the seed layer. The composition ratio of the copper and the chrome gradually changes along the thickness direction of the seed layer.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造基板上的电极布线的方法和使用其的基板，以进行基板的上表面的热处理，从而提高金属层与基板之间的粘附性。 构成：铜和铬沉积在基底（1）上以形成种子层（2）。 在铜和铬与衬底的表面接触的部分中，铬的混合比大于铜的混合比。 铜的混合比例逐渐向种子层的上部增加。 铜和铬的组成比沿籽晶层的厚度方向逐渐变化。

公开(公告)号：KR101524365B1

公开(公告)日：2015-06-05

申请号：KR1020130125243

申请日：2013-10-21

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이성의 ,  이한별 ,  김완규 ,  성민호 ,  윤영우 ,  유시홍

IPC: H01L51/52 ,  H05B33/04 ,  H05B33/22

Abstract: 본발명은다기능성봉지막을갖는플렉서블 OLED에관한것으로서, 박막기판과양전극, 정공층, 발광층, 전자층및 음전극을구비하는플렉서블 OLED와, 박막기판의양전극에대향하는측에서박막기판에증착되는산화물막과, 산화물막의상부에형성되는광학패턴층과, 광학패턴층의상부에형성되며광학패턴층을보호하는무기물박막층을포함하고, 산화물막은 MgO와 LaO가혼합된혼합박막또는 MgO층과 LaO층이교대로적층된다층박막이고, 혼합박막또는다층박막은전자빔증착법, 듀얼전자빔증착법, 화학기상증착법, 물리기상증착법중 어느하나에의해증착되는것을특징으로하며, OLED의박막기판에수화특성이좋은산화물막을형성함으로써수분투과에의해소자의수명이감소하는현상을방지할수 있고, 수분투과를방지함과동시에광학특성을향상시킬수 있다.

公开(公告)号：KR101348010B1

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：KR1020120028032

申请日：2012-03-20

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이성의 ,  김완규 ,  윤영우

IPC: H01L21/28

Abstract: 본 발명은 기판에 금속 전극 씨드층(seed layer)을 형성하는 방법 및 이에 의해 제조된 기판에 관한 것으로서, 구리와 크롬을 상기 기판상에 증착하여 상기 씨드층을 형성하며, 기판의 표면에 접하는 부분에는 크롬의 혼합비율이 구리의 혼합비율보다 많고, 씨드층의 상부 부분으로 갈수록 구리의 혼합비율이 점차 증가되도록 상기 씨드층의 두께 방향을 따라 구리와 크롬의 조성비율이 점차 변화되도록 증착하고, 씨드층의 두께 방향에 따른 구리와 크롬의 조성비율은 구리타겟과 크롬 타겟에 인가되는 구동전압의 세기 또는 전류량의 제어에 의해 변화되고, 상기 구리타겟에는 RF파워가 인가되고, 상기 크롬 타겟에는 DC파워가 인가되고, 시간의 경과에 따라 구리타겟에 인가되는 RF파워는 일정하게 유지하고 크롬 타겟에 인가되는 DC파워는 점차 감소하도록 제어하여, 기판상에 금속 씨드층을 형성하는데 있어서 여러 층의 멀티레이어 증착 공정을 이용하지 않음으로써, 증착된 전극의 두께가 감소하고, 타겟의 교체를 하지 않음으로써 제조 시간 및 제조 비용을 감소시킬 수 있어 공정을 단순화 시킬 수 있으며, 접착력이 우수한 금속 씨드층을 형성할 수 있ㄱ고, 증착된 기판의 상부 표면을 열처리하여 금속 박막층과 기판 간의 접착력 향상을 위한 별도의 접착층을 제거할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1020150046422A

公开(公告)日：2015-04-30

申请号：KR1020130125243

申请日：2013-10-21

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이성의 ,  이한별 ,  김완규 ,  성민호 ,  윤영우 ,  유시홍

IPC: H01L51/52 ,  H05B33/04 ,  H05B33/22

CPC classification number: H01L51/5237 ,  H01L51/0097 ,  H05B33/04 ,  H05B33/22

Abstract: 본발명은플렉시블 OLED에관한것으로서, 박막기판과양전극, 정공층, 발광층, 전자층및 음전극을구비하는플렉서블 OLED에있어서, 상기박막기판의상기양전극에대향하는측에서상기박막기판에증착되는산화물막과, 상기산화물막의상부에형성되는광학패턴층과, 상기광학패턴층의상부에형성되며상기광학패턴층을보호하는무기물박막층을포함하는다기능성봉지막을구비하며, 상기광학패턴층과상기제 2 광학패턴층에형성되는패턴은프리즘형상의패턴, 피라미드형상의패턴, 렌즈형상의패턴, 또는피라미드형상의패턴을중심으로상기피라미드형상의패턴을복수의프리즘형상의패턴이둘러싸는폐쇄형피라미드패턴인것을특징으로하며, OLED의박막기판에수화특성이좋은산화물막을형성함으로써수분투과에의해소자의수명이감소하는현상을방지할수 있고, 수분투과를방지함과동시에광학특성을향상시킬수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种柔性OLED，其包括薄膜基板，正极，空穴层，发光层，电子层和负极。 柔性OLED包括：多功能封装层，其包括沉积在薄膜基板的面对正极的一侧的薄膜基板上的氧化物层，形成在氧化物层的上侧的光学图案层 以及形成在光学图案层上并保护光学图案层的无机薄膜层。 形成在第二光学图案层和光学图案层上的图案是通过围绕金字塔图案的多个棱镜图案围绕金字塔图案的棱镜图案，金字塔图案，透镜图案或闭合金字塔图案。 通过在OLED的薄膜基板上形成具有高水合性能的氧化物层来防止由于水分渗透而导致的器件寿命的降低。 防止湿气渗透，同时改善光学特性。