公开(公告)号：KR102230458B1

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020190088718A

申请日：2019-07-23

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 남옥현 ,  유근호 ,  최의호 ,  신희진

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/02376 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/324

Abstract: 본 발명은 다이아몬드 기판 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 다이아몬드 기판 제조 방법은, 사파이어(Al
2 O
3 ) 등의 기판 상에 포토레지스트 패턴 및 에어갭 형성막 물질을 열처리 등을 이용하여 하부기판과의 결정적 상관성을 갖는 에어갭 구조를 형성한 후 다이아몬드를 성장시키는 방법이다. 이 방법을 통해 대면적/대구경 단결정 다이아몬드를 이종성장 시 공정을 간단하게 하고 비용을 낮추며, 이종기판과 다이아몬드 사이의 격자상수 및 열팽창계수 차이로 인한 응력을 완화시키고 온도 하강 시에도 결함이나 크랙 발생을 감소시켜 고품질의 단결정 다이아몬드 기판을 제작하고, 이종기판으로부터 다이아몬드 기판의 자가 분리가 용이하게 이루어질 수 있다.

公开(公告)号：KR102230458B1

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020190088718

申请日：2019-07-23

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 남옥현 ,  유근호 ,  최의호 ,  신희진

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/324

Abstract: 본발명은다이아몬드기판제조방법에관한것으로서, 본발명의다이아몬드기판제조방법은, 사파이어(Al2O3) 등의기판상에포토레지스트패턴및 에어갭형성막물질을열처리등을이용하여하부기판과의결정적상관성을갖는에어갭구조를형성한후 다이아몬드를성장시키는방법이다. 이방법을통해대면적/대구경단결정다이아몬드를이종성장시 공정을간단하게하고비용을낮추며, 이종기판과다이아몬드사이의격자상수및 열팽창계수차이로인한응력을완화시키고온도하강시에도결함이나크랙발생을감소시켜고품질의단결정다이아몬드기판을제작하고, 이종기판으로부터다이아몬드기판의자가분리가용이하게이루어질수 있다.

公开(公告)号：KR102110481B1

公开(公告)日：2020-05-13

申请号：KR1020190062673

申请日：2019-05-28

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 남옥현 ,  최의호 ,  유근호 ,  신희진

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027