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公开(公告)号:KR100734093B1
公开(公告)日:2007-07-02
申请号:KR1020060046765
申请日:2006-05-24
Applicant: 한국에너지기술연구원
Inventor: 윤재호 , 윤경훈 , 안세진 , 이정철 , 김기환 , 안병태 , 송진수 , 김석기 , 정원호
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445