公开(公告)号：KR1019990055422A

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019970075366

申请日：1997-12-27

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이진효 ,  이흥수 ,  유현규 ,  김보우 ,  남기수

IPC: H01L27/04

Abstract: 본 발명은 실리콘 기판을 이용한 인덕터에 관한 것으로서, 인덕터가 위치하고 있는 실리콘 기판상에 트랜치를 배열하고, 배열된 트랜치 내부에 불순물이 도핑(Doping)되지 않은 다결정 폴리실리콘을 채워서 인덕터의 충실도(Quality factor)를 향상시키기 위한 인덕터 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 고주파 집적회로(MMIC)를 설계하는 경우에는 디바이스 및 회로간에 임피던스 정합을 위하여 인덕터의 사용이 필수적이다. 인덕터의 특성은 인덕턴스의 값 뿐만 아니라 충실도에 의해 좌우된다. 그런데 충실도는 인덕터가 집적되는 기판의 종류 및 특성에 따라 크게 달라지게 된다. 실리콘 기판에 인덕터를 집적하는 이른바 집적형 인덕터는 능동소자인 실리콘 MMIC와 동일 칩 상에 제작되어 지는데, 표준 능동소자를 제작하기 위한 실리콘 기판은 일반적으로 저항값이 낮기 때문에 그에 따른 에너지 손실을 가져오게 되며, 기판의 저항치가 낮을수록 인덕터의 충실도는 떨어지게 되어 고주파 회로의 성능을 저하시키는 한 원인이 된다.
따라서, 본 발명은 저저항 실리콘 기판상에 특정한 형태로 배열된 골이 깊은 트랜치를 형성하고, 그 속에 불순물이 도핑되지 않은 다결정 실리콘을 채워서 기판의 저항성분을 크게 함과 동시에, 인덕터와 실리콘 기판과의 기생 캐퍼시턴스를 줄임으로서 충실도를 향상시킬 수 있는 인덕터 장치 및 그 제조 방법을 제시한다.

公开(公告)号：KR100358118B1

公开(公告)日：2002-10-25

申请号：KR1020000031315

申请日：2000-06-08

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김영호 ,  이상흥 ,  이흥수 ,  강진영

IPC: H03L7/00

Abstract: 본 발명은 위상동기루프에 관한 것으로 고속동작 및 동기시간 단축에 적합한 PFD회로와 루프대역폭을 가변적으로 조절하여 동기시간 단축을 가능케하는 위상동기루프 시스템구성 방식에 관한 발명이다. 본 발명의 PFD는 종래의 PFD회로와 비교하여 좁은 데드존영역을 가지므로 위상잡음 및 지터특성이 개선되며 구조가 단순하고 전력소모가 작다. 또한, 본 발명의 위상동기루프는 주파수 및 위상이 짧은 시간안에 동기되기 위하여 조절 저항을 사용하였으며 이로 인해 폴, 제로가 가변되어 루프대역폭이 조절된다. 이를 달성하기 위하여 본 발명은 외부로부터의 입력주파수 신호와 위상동기루프의 피드백주파수 신호의 위상과 주파수를 비교하기 위한 위상주파수검출기; 상기 위상주파수검출기의 출력신호의 위상차 및 주파수 차이를 입력받아 스위칭 동작을 통해 전류의 충방전 동작을 수행하기 위한 전하 펌프; 상기 위상주파수검출기의 출력신호를 입력받아 필터의 저항값을 조절하기 위한 필터제어부; 상기 필터제어부의 제어를 받아 상기 전하 펌프로부터 출력되는 전류신호를 전압신호로 변환하기 위한 필터; 상기 전하 펌프의 변환된 전압신호를 입력받아 주파수로 변환하여 출력하기 위한 전압제어발진기; 및 상기 전압제어발진기의 출력주파수를 입력받아 주파수를 분주하기 위한 분주기를 포함하는 위상동기루프에 있어서, 상기 필터제어부는 상기 위상주파수검출기에서 출력되는 제1 출력신호와 제2 출력신호의 논리상태값이 서로 다른 경우에만 상기 필터의 저항값이 작아지도록 제어함으로써 상기 위상주파수검출기와 상기 필터제어부가 상기 입력주파수와 상기 피드백주파수간의 주파수차가 있으면 상기 필터의 대역폭을 증가시키고, 상기 주파수차가 없으면 상기 필터의 대역폭을 감소시키는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020010111155A

公开(公告)日：2001-12-17

申请号：KR1020000031315

申请日：2000-06-08

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김영호 ,  이상흥 ,  이흥수 ,  강진영

IPC: H03L7/00

CPC classification number: H03L7/107 ,  H03D13/004 ,  H03L7/0891 ,  H03L7/095 ,  H03L7/18

Abstract: 본 발명은 반도체장치의 위상동기루프에 관한 것으로 고속주파수의 비교 검출능력이 우수하고, 저전력 및 스퓨리어스톤 제거와 위상잡음 및 지터특성을 개선하기 위하여 짧은 데드존(dead zone)영역을 갖는 위상주파수검출기(PFD)를 제공하는데 그 목적이 있다. 또한, 위상동기루프 시스템의 주파수 및 위상이 짧은 시간안에 동기되기 위하여 추가회로 사용없이 주파수가 다른 경우에는 주파수 검출 기능을 강화한 위상동기루프를 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 위하여 본 발명은 위상동기루프 시스템에 있어서, 외부로부터의 입력주파수 신호와 위상동기루프의 피드백주파수 신호의 위상과 주파수를 비교하기 위한 위상주파수검출기; 상기 위상주파수검출기의 출력신호의 위상차 및 주파수 차이를 입력받아 충전 동작을 수행하기 위한 전하 펌프; 상기 위상주파수검출기의 출력신호를 입력받아 필터의 저항값을 조절하기 위한 필터제어부; 상기 필터제어부의 제어를 받아 상기 전하 펌프로부터 출력되는 전류신호를 전압신호로 변환하기 위한 필터; 상기 전하 펌프의 변환된 전압신호를 입력받아 주파수로 변환하여 출력하기 위한 전압제어발진기; 및 상기 전압제어발진기의 출력주파수를 입력받아 주파수를 분주하기 위한 분주기를 포함하여 이루어진다.