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公开(公告)号：KR101735696B1
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：KR1020150101358
申请日：2015-07-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하며, 상기시료를미세하게수평이동할수 있는시료스캐너; 및상기시료스캐너하부에구비되며상기시료및 시료스캐너를함께수평이동할수 있는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170010229A
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：KR1020150101358
申请日：2015-07-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하며, 상기시료를미세하게수평이동할수 있는시료스캐너; 및상기시료스캐너하부에구비되며상기시료및 시료스캐너를함께수평이동할수 있는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
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