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公开(公告)号：KR1020110121790A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：KR1020100041241
申请日：2010-05-03
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/3211 , H01F27/427 , H01J37/32183 , H01J37/32577 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2001/4682
Abstract: PURPOSE: A plasma generating apparatus and a transformer are provided to generate the symmetric plasma of high density by serially and/or parallely combining CCP(Capacitively Coupled Plasma) with ICP(Inductively Coupled Plasma) in various types. CONSTITUTION: A plasma generating apparatus comprises an internal antenna(122) which is inserted in a plasma chamber(101) and a transformer(110) which supplies power to the internal antenna. The transformer includes a center conducting wire(114) and a plurality of coaxial cables which includes the cladding conducting wires(112) surrounding the center conducting wire. One end of the center conducting wire is connected to RF power(132). The other end of the center conducting wire is grounded. The cladding conducting wires are serially connected each other. The internal antenna is connected to one end of the center conducting wire and the cladding conducting wires. The plasma chamber includes a lid(102) and a cylindrical chamber(104).
Abstract translation: 目的：提供等离子体发生装置和变压器，通过串联和/或并联组合CCP（电容耦合等离子体）与各种类型的ICP（感应耦合等离子体）来产生高密度的对称等离子体。 构成：等离子体产生装置包括插入在等离子体室（101）中的内部天线（122）和向内部天线供电的变压器（110）。 变压器包括中心导线（114）和多个同轴电缆，其包括围绕中心导线的包层导线（112）。 中心导线的一端连接到RF电源（132）。 中心导线的另一端接地。 包层导线彼此串联连接。 内部天线连接到中心导线和包层导线的一端。 等离子体室包括盖（102）和圆柱形室（104）。
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公开(公告)号：KR101129675B1
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：KR1020100041241
申请日：2010-05-03
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 변압기 및 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 플라즈마 챔버의 내부에 삽입되는 내부 안테나, 및 내부 안테나에 전력을 공급하는 변압기를 포함한다. 변압기는 중심도선 및 중심도선을 싸고 있는 피복 도선을 포함하는 복수의 동축 케이블을 포함하되, 중심 도선들의 일단은 서로 병렬 연결되어 전원에 연결되고, 중심도선들의 타단은 접지되고, 내부 안테나의 일단은 중심도선의 일단에 연결되고, 내부 안테나의 타단은 피복 도선의 일단에 연결되고, 피복 도선들은 플로팅되고 서로 병결연결된다.
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