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公开(公告)号：WO2014168352A1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：PCT/KR2014/002260
申请日：2014-03-18
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/26 , C23C14/228 , C23C14/243
Abstract: 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
Abstract translation: 提供了根据本发明的蒸发沉积设备及其操作方法。 蒸发沉积装置包括：用于接收蒸发材料的第一腔; 用于通过所述第一空腔接收蒸汽的第二腔和连接通道; 形成在所述第二腔中的蒸发器，包括用于径向排出具有点源的蒸汽并由导电材料形成的出口; 由导电材料形成的反射喷嘴，连接到出口，并且包括具有逐渐增大的直径的通孔; 用于覆盖反射喷嘴和蒸发器的感应线圈; 以及用于向感应线圈施加交流电力的交流电源。 感应线圈感应加热蒸发器和反射喷嘴以蒸发蒸发材料，蒸汽通过反射喷嘴排出。
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公开(公告)号：WO2014027778A1
公开(公告)日：2014-02-20
申请号：PCT/KR2013/007020
申请日：2013-08-05
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 증기를 제공받는 입구, 입구의 주위에 배치되어 증기의 방향을 전환하는 배플, 증기를 반사시키는 구형 또는 타원형의 케비티, 및 케비티에서 복수 회 반사 또는 산란된 증기를 점원에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 적분구, 내부에 증발물질이 담기고 제1 개구부를 통하여 증발된 증기를 적분구의 입구에 제공하는 도가니, 및 적분구 및 도가니를 감싸도록 배치되어 도가니 및 적분구를 가열하는 가열부를 포함하고, 적분구는 도전성 물질로 형성되고, 케비티의 내부 표면은 거칠어 증발 물질이 산란된다.
Abstract translation: 蒸镀装置技术领域本发明涉及蒸镀装置。 该装置包括：供给蒸汽的入口; 布置在入口附近以改变蒸汽方向的挡板; 反射蒸汽的球形或椭圆形腔; 具有出口的积分球，通过该出口，在空腔中反射或扩散多次的蒸汽通过点源径向排出; 其中引入蒸发材料的坩埚，坩埚将通过第一开口蒸发的蒸汽供应到积分球的入口; 以及加热单元，其布置成围绕积分球和坩埚以加热坩埚和积分球。 积分球由导电材料形成，并且使空腔的内表面粗糙以使蒸发材料扩散。
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公开(公告)号：KR101473345B1
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020120088125
申请日：2012-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 본발명은증발증착장치를제공한다. 이장치는증기를제공받는입구, 입구의주위에배치되어증기의방향을전환하는배플, 증기를반사시키는구형또는타원형의케비티, 및케비티에서복수회 반사또는산란된증기를점원에의한방사형으로토출하는출구를포함하는적분구, 내부에증발물질이담기고제1 개구부를통하여증발된증기를적분구의입구에제공하는도가니, 및적분구및 도가니를감싸도록배치되어도가니및 적분구를가열하는가열부를포함하고, 적분구는도전성물질로형성되고, 케비티의내부표면은거칠어증발물질이산란된다.
Abstract translation: 本发明提供的蒸发装置。 通过滤饼蒂径向排出时，多次反射或散射的蒸气在mitke蒂圆形或椭圆形，其布置成围绕所述接收所述值滑移蒸汽入口，入口反射挡板，蒸汽在店员切换的蒸汽的方向 积分球，它包括一个插座，以提供通过goje第一开口添加蒸发材料积分球入口坩埚内的闪蒸蒸汽，并且被布置成围绕所述积分球和坩埚被加热以加热所述坩埚和所述积分球部分 包括，并且形成为导电材料的积分球，蛋糕的Bt的内表面是粗糙的蒸发材料被散射。
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公开(公告)号：KR1020140122838A
公开(公告)日：2014-10-21
申请号：KR1020130039747
申请日：2013-04-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/26 , C23C14/228 , C23C14/243
Abstract: 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
Abstract translation: 本发明提供蒸发沉积装置及其操作方法。 蒸发沉积装置包括：蒸发器，其包括构造成接收蒸发材料的第一空腔，被构造成通过第一空腔接收蒸汽的第二腔和连接通道，以及形成在第二空腔中并被配置成径向排出蒸汽的蒸汽 具有点源，其中所述蒸发器由导电材料形成; 由导电材料形成的反射喷嘴，其连接到出口，并且包括具有逐渐增加的直径的通孔; 构造成覆盖反射喷嘴和蒸发器的感应线圈; 以及被配置为向所述感应线圈施加AC电力的交流（AC）电源。 感应线圈感应加热蒸发器和反射喷嘴以蒸发蒸发材料，蒸汽通过反射喷嘴排出。
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公开(公告)号：KR101370326B1
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：KR1020120086404
申请日：2012-08-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 기판을 포함하는 진공 챔버, 진공 챔버의 외부에 배치되고 증발 물질을 수납하는 도가니, 도가니를 유도 가열하는 제1 유도 코일, 제1 유도 코일에 AC 전력을 인가하는 제1 AC 전원, 도가니에 형성된 제1 개구부와 진공 챔버에 형성된 제2 개구부를 연결하는 도전성 가이드 파이프, 가이드 파이프를 감싸고 가이드 파이프를 유도 가열하는 제2 유도 코일, 및 제2 유도 코일에 AC 전력을 인가하는 제2 AC 전원을 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种蒸发沉积设备。 根据权利要求1的交流电源的用于施加第一感应线圈的设备，交流电源用于加热所述第一感应线圈被设置在真空室的外部，将含有基体和诱导的坩埚，用于容纳蒸发材料的坩埚的真空室中，在坩埚 所述第一开口和所述第二感应线圈与导电的导引管连接形成在真空腔室中的第二开口，围绕该引导管感应加热引导管，并且所述第二的第二交流电源施加交流电源至在所形成的感应线圈供给 它包括。
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公开(公告)号：KR101355817B1
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120074726
申请日：2012-07-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 전자기 부양 금속 박막 증착 장치 및 전자기 부양 금속 박막 증착 방법을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 생기지 않도록 배기되는 챔버, 챔버에 형성된 관통홀 주위에 장착된 유전체 튜브, 유전체 튜브를 감싸는 전자기 부양 코일, 전자기 부양 코일에 RF 전력을 제공하는 RF 전원, 유전체 튜브가 배치되는 평면보다 낮은 위치에서 챔버의 내부에 배치된 기판 홀더, 및 기판 홀더 상에 배치되는 기판을 포함한다. 전자기 부양 코일은 서로 연속적으로 연결된 상부 전자기 부양 코일과 하부 전자기 부양 코일을 포함하고, 상부 전자기 부양 코일에 흐르는 전류의 방향과 하부 전자기 부양 코일에 흐르는 전류의 방향은 서로 반대이다. 전자기 부양 코일은 유전체 튜브 내부에 배치된 금속 시료를 전자기력을 이용하여 부양하면서 가열하고, 금속 시료는 증발하여 중력 방향으로 이동하여 기판에 금속 박막을 형성한다.
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公开(公告)号：KR101353348B1
公开(公告)日：2014-01-24
申请号：KR1020120041339
申请日：2012-04-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B82B3/00 , B01J19/08 , C23C16/515
Abstract: 본 발명은 나노 입자 합성 장치 및 나노 입자 합성 방법을 제공한다. 이 나노 입자 합성 장치는 유전체 튜브, 유전체 튜브의 주위에 감긴 전자기 부양 코일, 전자기 부양 코일에 의하여 부양되고 가열되어 증발하고 전자기 부양 코일의 중심 영역에 배치된 도전성 원료 물질, 전자기 부양 코일에 전력을 공급하는 부양 전원, 유전체 튜브의 일단에 배치되고 유전체 튜브 내부에 제1 가스를 공급하는 제1 가스 공급부, 유전체 튜브의 타단에 연결된 공정 챔버, 공정 챔버의 내부에 배치된 RF 전극, 및 RF 전극에 RF 전력을 공급하여 플라즈마를 형성하는 공정 RF 전원을 포함한다. 부양 코일에 의하여 가열된 도전성 원료 물질이 증발하여 생성된 제1 나노입자는 공정 챔버로 이동하여 플라즈마에 의하여 처리된다.
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公开(公告)号：KR101352496B1
公开(公告)日：2014-01-24
申请号：KR1020120043580
申请日：2012-04-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/24 , H05H1/46 , H01L21/205
Abstract: 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법을 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 전기적으로 접지된 통 형상의 방전 챔버, 방전 챔버 내에 배치된 적어도 하나의 전자방출 수단, 및 방전 챔버의 중심 영역에 배치되고 양의 제1 전압이 인가된 중심 전극을 포함한다.
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9.发明授权수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 내부압력 및 진공도 측정방법 有权方法和用于测量内部压力的装置，密封组件的真空包括多孔或弹性材料
公开(公告)号：KR101256051B1
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：KR1020110096964
申请日：2011-09-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재 내부의 압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 압력 및 진공도 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법에 있어서, 밀폐된 용기 내부공간에 수축성 다공성물질과 상기 수축성 다공성물질을 수축된 상태로 유지시키는 유연한 재질의 포장재를 갖는 제1밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제1초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제1밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제1압력 변화량을 측정하는 단계; 상기 용기에서 상기 제1밀봉재 샘플을 제거하고, 상기 용기의 내부공간에 상기 제1밀봉재 샘플과 동일한 내체적와 내부압력을 갖는 제2밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제2초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제2밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제2압력 변화량을 측정하는 단계; 및 분석수단이 상기 제1압력 변화량 및 상기 제2압력변화량으로부터 상기 제1밀봉재 샘플과 상기 제2밀봉재 샘플의 내부압력 및 내체적을 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법 및 장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101235796B1
公开(公告)日：2013-02-21
申请号：KR1020100093538
申请日：2010-09-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 투시창 세정 장치, 투시창 세정 방법, 및 공정 모니터링 방법을 제공한다. 이 투시창 세정 장치는 투시창을 포함하는 진공 용기, 진공 용기의 내부 또는 외부에 배치되어 진공 용기의 내부에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 수단, 투시창의 외부에 배치된 전극, 및 전극에 전력을 인가하는 전원을 포함한다. 플라즈마는 투시창을 충격하여 투시창의 내부 측면에 부착된 부산물을 제거한다.
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