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公开(公告)号：WO2020159003A1
公开(公告)日：2020-08-06
申请号：PCT/KR2019/004500
申请日：2019-04-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/00 , H01J37/32 , H01L21/683
Abstract: 본 발명은 평면형 플라즈마 진단 장치에 관한 것으로서, 주파수가 가변되는 마이크로웨이브를 플라즈마에 인가하는 송신 안테나; 상기 플라즈마로부터 상기 마이크로웨이브를 수신하는 수신 안테나; 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나가 서로 절연되도록 감싸는 몸체부;를 포함하고, 상기 송신 안테나의 마이크로웨이브를 인가하는 상부면과 상기 수신 안테나의 마이크로웨이브를 수신하는 상부면이 평면형이고, 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 측면이 서로 대향하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2022114473A1
公开(公告)日：2022-06-02
申请号：PCT/KR2021/012384
申请日：2021-09-11
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 반도체 양자점의 생성 방법에 관한 것으로서, 기판 상부에 비정질 반도체 박막을 증착하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막 상부에 플라즈마를 형성하고 이로부터 상기 비정질 반도체 박막에 이온 에너지를 전달하여 결정질 나노입자를 생성하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막과 상기 결정질 나노입자에 이온 에너지를 더 전달하여 상기 결정질 나노입자를 성장시키는 단계; 상기 결정질 나노입자가 성장하여 양자점이 생성되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2016024718A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/KR2015/007108
申请日：2015-07-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 기체 투과도 측정 장치 및 기체 투과도 측정 방법을 제공한다. 이 기체 투과도 측정 장치는 중간에 오리피스를 가지는 측정 챔버; 상기 측정 챔버에 연결되고 판형의 측정하고자 하는 금속 시료를 금속 가스켓 양면 접속 피팅으로 결합한 시료 챔버; 상기 금속 시료의 주위를 감싸도록 배치되고 유전체로 형성된 보조 챔버; 및 상기 보조 챔버를 감싸도록 배치된 유도 가열 코일을 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种透气性测定装置和透气性测定方法。 气体渗透性测量装置包括：测量室，其中部具有孔口; 连接到测量室并且被测量的板状金属样品通过金属垫片双面连接配件联接到的样品室; 辅助室，其设置成围绕金属样品的周边并由电介质材料形成; 以及设置成围绕所述辅助室的感应加热线圈。
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公开(公告)号：WO2015083957A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/KR2014/011111
申请日：2014-11-19
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N15/08 , G01N15/0826
Abstract: 본 발명은 기체투과도 측정장치 및 기체투과도 측정 방법을 제공한다. 이 기체투과도 측정 장치는 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버; 제1 챔버와 직렬 연결된 제2 챔버; 상기 제2 챔버와 직렬 연결된 제3 챔버; 관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판; 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부; 상기 제3 챔버에 연결되어 상기 제3 챔버를 배기시키는 진공 펌프;및 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 차압을 측정하는 차압계를 포함한다. 시료는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 연결 부위에 배치되고, 상기 측정 가스는 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달되고, 상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 순차적으로 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种透气性测定装置和透气性测定方法。 气体渗透性测量装置包括：填充有测量气体并保持在恒定压力的第一室; 与第一室串联连接的第二室; 与第二室串联连接的第三室; 分离板，其具有通孔并将所述第二室和所述第三室彼此分离; 电导控制部，设置在所述第二室和所述第三室之间的连接部，并且控制通过所述分离板的通孔的电导; 连接到第三室并将空气排出第三室的真空泵; 以及测量第二室和第三室之间的压差的差压表。 样品设置在第一室和第二室之间的连接部分处，并且测量气体穿透样品以被输送到第二室。 此外，电导控制部分依次提供至少两个不同的电导。
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公开(公告)号：WO2018128339A1
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：PCT/KR2018/000008
申请日：2018-01-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 플라즈마 발생부를 포함한다. 상기 플라즈마 발생부는, 구형 또는 타원체형의 케비티를 구비한다. 상기 플라즈마 발생부는 상기 케비티에 RF 전력을 공급받아 전자가 되튐공진하여 플라즈마를 생성한다. 상기 케비티는 외부 공간과 서로 연통되도록 플라즈마 추출 홀을 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101916702B1
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：KR1020170140397
申请日：2017-10-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/32
Abstract: 본발명의외부정자기장측정장치및 측정방법을제공한다. 이외부정자기장측정방법은, 외부정자기장하에서플라즈마내부에서상기외부정자기장과나란히연장되는한 쌍의제1 방사안테나와제1 수신안테나를구비하는제1 컷오프프로브를삽입하는단계; 상기제1 컷오프프로브를회전시키어플라즈마공명주파수가최대가되는제1 각도를결정하는단계; 외부정자기장하에서플라즈마내부에서상기외부정자기장에수직하게연장되는한 쌍의제2 방사안테나와제2 수신안테나를구비한제2 컷오프프로브를삽입하는단계; 상기제2 컷오프프로브를회전시키어플라즈마공명주파수가최소가되는제2 각도를결정하는단계; 및상기제1 각도에서측정된제1 플라즈마공명주파수와상기제2 각도에서측정된제2 플라즈마공명주파수를이용하여상기외부정자기장의세기를산출하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101756325B1
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020160007397
申请日：2016-01-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은플라즈마진단장치를제공한다. 이평면형플라즈마진단장치는주파수가가변되는초고주파를플라즈마에방사하는방사안테나; 및상기방사안테나와인접하게배치되고상기플라즈마로부터상기초고주파를수신하는수신안테나를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种等离子体诊断设备。 不规则表面型等离子体诊断设备包括：辐射天线，用于向等离子体辐射具有可变频率的微波; 并且接收天线被设置成与辐射天线接触并从等离子体接收微波。
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公开(公告)号：KR101473371B1
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020130051027
申请日：2013-05-07
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/46
Abstract: 본발명은유도결합플라즈마발생용안테나구조체를제공한다. 이안테나구조체는접지전극판, 접지전극판의측면에연결되고접지전극판의주위에배치된유도결합안테나, 및유도결합안테나에전력을분배하는전력분배부를포함한다. 유도결합안테나는접지전극판에각각연결되고접지전극판의중심을기준으로제1 사분면내지제4 사분면에각각배치된제1 내지제4 보조안테나들을포함한다. 제2 보조안테나는제1 보조안테나가시계방향으로 90도회전한형상으로배치된다. 보조안테나는홀수개의안테나브랜치들및 안테나브랜치들을서로연결하는안테나연결부들을포함한다. 이웃한안테나브랜치들의전류는서로반대방향으로흐른다.
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公开(公告)号：KR101384537B1
公开(公告)日：2014-04-17
申请号：KR1020130015153
申请日：2013-02-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: The present invention provides a vacuum measuring apparatus and a vacuum measuring method. A vacuum measuring apparatus comprises: a vacuum chamber connected to an outside vacuum apparatus to be measured; a rotation body placed in the vacuum chamber, having symmetrically arranged wings, rotating on the central shaft, and made of non-magnetic conductive materials; a levitation coil placed in the vacuum chamber, arranged to wrap around the rotation body thereby electromagnetic-levitating the rotation body; alternating current power for supplying alternating current to the levitation coil; a light source for rotation incident to wings and providing a rotational force; a speed measuring unit for measuring rotation speed of the rotation body; a pressure calculation unit which uses rotation speed according to time of the rotation body and calculates pressure inside the vacuum chamber.
Abstract translation: 本发明提供一种真空测量装置和真空测量方法。 真空测量装置包括：与要测量的外部真空装置连接的真空室; 旋转体设置在真空室中，具有对称布置的翼，在中心轴上旋转，并由非磁性导电材料制成; 放置在真空室中的悬浮线圈布置成围绕旋转体包裹，从而电磁浮动旋转体; 用于向悬浮线圈提供交流电的交流电力; 用于旋转的光源入射到翼并提供旋转力; 用于测量旋转体的旋转速度的速度测量单元; 压力计算单元，其根据旋转体的时间使用旋转速度，并计算真空室内的压力。
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公开(公告)号：KR101310753B1
公开(公告)日：2013-09-24
申请号：KR1020120043578
申请日：2012-04-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/46 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/3211 , H01Q1/02 , H01Q1/366 , H01Q7/00 , H05H1/46 , H05H2001/4667
Abstract: PURPOSE: An inductive antenna is provided to improve power transfer efficiency about plasma by generating inductively coupled plasma. CONSTITUTION: A conductive antenna (130) comprises a first power supply line (131), a second power supply line (132), a core antenna (133), ground outer skins (134), insulation jackets (135) and conductive bridges (136). The first power supply line includes a first core conductive line, a first dielectric body inner skin covering the first core conductive line and a first conductive outer skin covering the first dielectric body inner skin and has a coaxial cable structure. The second power supply line includes a second conductive line, a second dielectric body inner skin covering the second core conductive line and a second conductive outer skin covering the second dielectric body inner skin and has a coaxial cable structure. The core antenna is connected to the first center core conductive line and the second core conductive line and forms a loop. The multiple ground outer skins cover a part of the core antenna and are arranged to be separated from each other. The insulation jackets are arranged between the core antenna and the ground outer skins and cover the core antenna. The conductive bridges connect the ground outer skins which are adjacent to each other.
Abstract translation: 目的：提供感应天线，以通过产生电感耦合等离子体来提高关于等离子体的功率传递效率。 导电天线（130）包括第一电源线（131），第二电源线（132），核心天线（133），接地外皮（134），绝缘护套（135）和导电桥 136）。 第一电源线包括第一芯导电线，覆盖第一芯导电线的第一绝缘体内表皮和覆盖第一绝缘体内皮的第一导电外皮，并具有同轴电缆结构。 第二电源线包括第二导电线，覆盖第二芯导电线的第二介电体内表皮和覆盖第二介电体内表皮的第二导电外皮，并具有同轴电缆结构。 核心天线连接到第一中心芯导电线和第二芯导电线并形成环。 多个地面外皮覆盖核心天线的一部分并且被布置成彼此分离。 绝缘护套布置在核心天线和地面外皮之间，并覆盖核心天线。 导电桥连接彼此相邻的地面外皮。
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