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公开(公告)号：WO2020159003A1
公开(公告)日：2020-08-06
申请号：PCT/KR2019/004500
申请日：2019-04-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/00 , H01J37/32 , H01L21/683
Abstract: 본 발명은 평면형 플라즈마 진단 장치에 관한 것으로서, 주파수가 가변되는 마이크로웨이브를 플라즈마에 인가하는 송신 안테나; 상기 플라즈마로부터 상기 마이크로웨이브를 수신하는 수신 안테나; 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나가 서로 절연되도록 감싸는 몸체부;를 포함하고, 상기 송신 안테나의 마이크로웨이브를 인가하는 상부면과 상기 수신 안테나의 마이크로웨이브를 수신하는 상부면이 평면형이고, 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 측면이 서로 대향하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2022114473A1
公开(公告)日：2022-06-02
申请号：PCT/KR2021/012384
申请日：2021-09-11
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 반도체 양자점의 생성 방법에 관한 것으로서, 기판 상부에 비정질 반도체 박막을 증착하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막 상부에 플라즈마를 형성하고 이로부터 상기 비정질 반도체 박막에 이온 에너지를 전달하여 결정질 나노입자를 생성하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막과 상기 결정질 나노입자에 이온 에너지를 더 전달하여 상기 결정질 나노입자를 성장시키는 단계; 상기 결정질 나노입자가 성장하여 양자점이 생성되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2018128339A1
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：PCT/KR2018/000008
申请日：2018-01-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 플라즈마 발생부를 포함한다. 상기 플라즈마 발생부는, 구형 또는 타원체형의 케비티를 구비한다. 상기 플라즈마 발생부는 상기 케비티에 RF 전력을 공급받아 전자가 되튐공진하여 플라즈마를 생성한다. 상기 케비티는 외부 공간과 서로 연통되도록 플라즈마 추출 홀을 포함한다.
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公开(公告)号：WO2016024718A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/KR2015/007108
申请日：2015-07-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 기체 투과도 측정 장치 및 기체 투과도 측정 방법을 제공한다. 이 기체 투과도 측정 장치는 중간에 오리피스를 가지는 측정 챔버; 상기 측정 챔버에 연결되고 판형의 측정하고자 하는 금속 시료를 금속 가스켓 양면 접속 피팅으로 결합한 시료 챔버; 상기 금속 시료의 주위를 감싸도록 배치되고 유전체로 형성된 보조 챔버; 및 상기 보조 챔버를 감싸도록 배치된 유도 가열 코일을 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种透气性测定装置和透气性测定方法。 气体渗透性测量装置包括：测量室，其中部具有孔口; 连接到测量室并且被测量的板状金属样品通过金属垫片双面连接配件联接到的样品室; 辅助室，其设置成围绕金属样品的周边并由电介质材料形成; 以及设置成围绕所述辅助室的感应加热线圈。
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公开(公告)号：WO2014168352A1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：PCT/KR2014/002260
申请日：2014-03-18
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/26 , C23C14/228 , C23C14/243
Abstract: 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
Abstract translation: 提供了根据本发明的蒸发沉积设备及其操作方法。 蒸发沉积装置包括：用于接收蒸发材料的第一腔; 用于通过所述第一空腔接收蒸汽的第二腔和连接通道; 形成在所述第二腔中的蒸发器，包括用于径向排出具有点源的蒸汽并由导电材料形成的出口; 由导电材料形成的反射喷嘴，连接到出口，并且包括具有逐渐增大的直径的通孔; 用于覆盖反射喷嘴和蒸发器的感应线圈; 以及用于向感应线圈施加交流电力的交流电源。 感应线圈感应加热蒸发器和反射喷嘴以蒸发蒸发材料，蒸汽通过反射喷嘴排出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2014027778A1
公开(公告)日：2014-02-20
申请号：PCT/KR2013/007020
申请日：2013-08-05
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 증기를 제공받는 입구, 입구의 주위에 배치되어 증기의 방향을 전환하는 배플, 증기를 반사시키는 구형 또는 타원형의 케비티, 및 케비티에서 복수 회 반사 또는 산란된 증기를 점원에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 적분구, 내부에 증발물질이 담기고 제1 개구부를 통하여 증발된 증기를 적분구의 입구에 제공하는 도가니, 및 적분구 및 도가니를 감싸도록 배치되어 도가니 및 적분구를 가열하는 가열부를 포함하고, 적분구는 도전성 물질로 형성되고, 케비티의 내부 표면은 거칠어 증발 물질이 산란된다.
Abstract translation: 蒸镀装置技术领域本发明涉及蒸镀装置。 该装置包括：供给蒸汽的入口; 布置在入口附近以改变蒸汽方向的挡板; 反射蒸汽的球形或椭圆形腔; 具有出口的积分球，通过该出口，在空腔中反射或扩散多次的蒸汽通过点源径向排出; 其中引入蒸发材料的坩埚，坩埚将通过第一开口蒸发的蒸汽供应到积分球的入口; 以及加热单元，其布置成围绕积分球和坩埚以加热坩埚和积分球。 积分球由导电材料形成，并且使空腔的内表面粗糙以使蒸发材料扩散。
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公开(公告)号：KR101909891B1
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：KR1020160135509
申请日：2016-10-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B01J19/08 , C01B33/029 , C01B31/06
Abstract: 본발명은나노입자제조장치및 나노입자제조방법을제공한다. 본발명의일 실시예에따른나노입자제조장치는진공용기; 상기진공용기의상부면에배치된유전체상판; 상기유전체상판상에배치되고상기진공용기내부에유도결합플라즈마를생성하는유도코일; 상기유도코일에 RF 전력을공급하는 RF 전원; 상기진공용기에배치되어나노입자를합성하는기판; 및상기기판과상기유전체상판사이에배치되고도전성메쉬를포함하는그리드구조물을포함한다.
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公开(公告)号：KR101465615B1
公开(公告)日：2014-11-27
申请号：KR1020130039747
申请日：2013-04-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: C23C14/26 , C23C14/228 , C23C14/243
Abstract: 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
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