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公开(公告)号：WO2017034190A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：PCT/KR2016/008817
申请日：2016-08-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
Abstract: 본 발명은 전자, 이온, 중성입자 등 입자 광축을 따라 집속되는 입자 빔이 입사하는 틈(aperture)을 일면에 구비하고, 그 대향 면에 광이 투과하는 탈착형 시료 홀더를 구비하여, 입자 빔과 광으로 시료를 관측 또는 분석할 수 있는 입자 및 광학 장치용 진공 시료실에 관한 것으로, 전자현미경 또는 집속이온빔 관찰장비의 시료실에 시료가 출입할 경우에도 시료실 내부 진공을 유지하여 관찰시간을 단축하고, 광원이나 광학 경통을 시료실 내부에 삽입하지 않고 외부에서 광학 영상을 획득할 수 있는 시료실 및 그 시료실을 구비한 광-전자 융합현미경을 구현한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于颗粒和光学装置的真空样品室，该真空样品室包括：在其一个表面上具有孔，沿着诸如电子，离子和中性的颗粒的光轴聚焦的粒子束 颗粒是事件; 并且在其相对表面上具有透光性的可拆卸的样品保持器，从而能够通过粒子束和光来观察和分析样品。 本发明实现了一种样品室，即使在将样品放入或从电子显微镜或聚焦离子束观察设备的样品室中取出，也能够获得光学图像的同时通过保持真空来减少观察时间 在其外部没有将光源或光学筒插入样品室中; 以及包含样品室的光电子融合显微镜。
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公开(公告)号：KR101725137B1
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：KR1020150117737
申请日：2015-08-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
Abstract: 본발명은전자, 이온, 중성입자등 입자광축을따라집속되는입자빔이입사하는틈(aperture)을일면에구비하고, 그대향면에광이투과하는탈착형시료홀더를구비하여, 입자빔과광으로시료를관측또는분석할수 있는입자및 광학장치용진공시료실에관한것으로, 전자현미경또는집속이온빔관찰장비의시료실에시료가출입할경우에도시료실내부진공을유지하여관찰시간을단축하고, 광원이나광학경통을시료실내부에삽입하지않고외부에서광학영상을획득할수 있는시료실및 그시료실을구비한광-전자융합현미경을구현한다.
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公开(公告)号：KR1020170022584A
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：KR1020150117737
申请日：2015-08-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
Abstract: 본발명은전자, 이온, 중성입자등 입자광축을따라집속되는입자빔이입사하는틈(aperture)을일면에구비하고, 그대향면에광이투과하는탈착형시료홀더를구비하여, 입자빔과광으로시료를관측또는분석할수 있는입자및 광학장치용진공시료실에관한것으로, 전자현미경또는집속이온빔관찰장비의시료실에시료가출입할경우에도시료실내부진공을유지하여관찰시간을단축하고, 광원이나광학경통을시료실내부에삽입하지않고외부에서광학영상을획득할수 있는시료실및 그시료실을구비한광-전자융합현미경을구현한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于颗粒和光学装置的真空样品室，该真空样品室包括：在其一个表面上具有孔，沿着诸如电子，离子和中性的颗粒的光轴聚焦的粒子束 颗粒是事件; 并且在其相对表面上具有透光性的可拆卸的样品保持器，从而能够通过粒子束和光来观察和分析样品。 本发明实现了一种样品室，即使在将样品放入或从电子显微镜或聚焦离子束观察设备的样品室中取出，也能够获得光学图像的同时通过保持真空来减少观察时间 在其外部没有将光源或光学筒插入样品室中; 以及包含样品室的光电子融合显微镜。
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