公开(公告)号：CN107435138A

公开(公告)日：2017-12-05

申请号：CN201710197279.0

申请日：2017-03-29

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 伊藤丰 ,  竹中幸子

IPC: C23C16/40 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  H01J37/244 ,  H01J37/285

CPC classification number: H01L51/5253 ,  B05D1/005 ,  B05D3/067 ,  C23C16/401 ,  C23C16/402 ,  C23C16/509 ,  H01J37/244 ,  H01J37/285 ,  H01L51/0097 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/303 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供能够以更高水准防止水蒸气透过的层叠膜。该层叠膜是在树脂基材上至少层叠有气体阻隔层和无机聚合物层的层叠膜，无机聚合物层的利用截面的透射式电子显微镜图像按照以下的(a)～(d)的步骤算出的Y值为0.220以下。(a)算出无机聚合物层的电子束未照射部的对比度的标准偏差(σ)。(b)将无机聚合物层的电子束照射部沿膜厚方向以成为均等膜厚的方式分割成20份，算出各分割部的对比度的标准偏差(σn:第n分割份的标准偏差，n＝1～20)。(c)通过式(1)算出各分割部的Xn(n＝1～20)。Xn＝σn/σ(n＝1～20)···(1)(d)将X3～X18的标准偏差设为Y。

公开(公告)号：CN105830193B

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201480046186.2

申请日：2014-03-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大八木敏行 ,  四辻贵文

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/006

Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其利用需要施加电压的检测器，而得到放置在气体气氛中的样本的显微镜像。具备：气体导入装置，其用于向样本释放气体；气体控制装置，其在该气体导入装置的气体释放过程中，控制上述气体导入装置的气体释放量使得设置有检测器(49～51、55)的空间内的真空度持续保持为不满设定值。

公开(公告)号：CN102645423A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201210056858.0

申请日：2012-01-29

Applicant: FEI公司

Inventor： N·W·帕克 ,  M·W·乌特劳特

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6428 ,  G01N21/6458 ,  G01N21/6486 ,  G01N23/225 ,  H01J37/228 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2857

Abstract: 公开了一种用于对生物样品内的荧光标记物例如荧光蛋白或者量子点进行成像和定位的方法和系统。利用重组遗传技术使“报告”基因插入很多物种中是被广泛认可的。特别是绿色荧光蛋白(GFPs)和范围从蓝色至黄色的其经遗传修饰的变体易于剪接到很多基因组中的目标基因(GoIs)位点处，其中GFPs被表达，对于由GoIs编码的目标蛋白质(PoIs)的功能没有明显影响。生物学家的一个目标是细胞内PoIs的更精确定位。本发明是利用带电粒子束诱导的对GFPs的破坏使PoI定位更加快速和精确的方法和系统。提出了系统的多个实施方案以实施本方法，以及相对不受高统计噪声水平影响的图像处理方法。

公开(公告)号：CN1310025C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN02141674.5

申请日：2002-09-10

Applicant: 株式会社荏原制作所 ,  株式会社东芝

Inventor： 畠山雅规 ,  村上武司 ,  佐竹徹 ,  野路伸治 ,  长滨一郎太 ,  山崎裕一郎

IPC: G01N23/18

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N21/9501 ,  G03F1/84 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2446

Abstract: 一种检测设备，用于检测样本表面上精细几何图形，其中辐射波束照射到不同于大气的差异环境中放置的样本，并利用传感器检测从该样本上射出的二次电子，其中传感器放置在差异环境之内，处理来自传感器检测信号的处理装置放置在差异环境之外，而传输装置发射来自传感器的检测信号到处理装置。

公开(公告)号：CN107636791A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680030066.2

申请日：2016-08-11

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 赵福来 ,  安商丁 ,  薛仁皓

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/16 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B21/361 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2855

Abstract: 本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。

公开(公告)号：CN107342205A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201610285009.0

申请日：2016-05-03

Applicant: 睿励科学仪器(上海)有限公司

Inventor： 罗浒 ,  张旭

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2813

Abstract: 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。

公开(公告)号：CN104704601B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201280076337.X

申请日：2012-10-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 市村崇 ,  新田久雄 ,  薗部信之 ,  赵福来 ,  村越久弥

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/16 ,  H01J1/30 ,  H01J37/06

CPC classification number: H01J37/065 ,  C25F3/26 ,  H01J1/16 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J9/042 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341

Abstract: 在以往的基片加工方法中，无法指定前端形状的尺寸来进行制作，无法得到具有所期望的任意径的基片。此外，基片中可能附着杂质。利用基片前端直径与正在加工基片前端时的施加电压或所围住的时间的相互关系，控制得到所期望前端直径的施加电压，来加工基片。由此，能够在钨单晶细丝尖锐化后的前端直径为0.1μm以上2.0μm以下的范围，制造具有所期望的任意径的基片。

公开(公告)号：CN105103263B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201480018726.6

申请日：2014-03-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长冲功 ,  大八木敏行 ,  松本弘昭 ,  仲野靖孝 ,  佐藤岳志 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/06 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2802

Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。

公开(公告)号：CN102066898A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980122376.7

申请日：2009-06-24

Applicant: 新日本制铁株式会社

Inventor： 高桥淳 ,  川上和人 ,  大森治男

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: G01N23/2255 ,  H01J37/20 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/2001

Abstract: 充气容器、原子探针装置及材料中氢位置分析方法。该充气容器具有：试料保持器，保持针状材料；重氢气供给机构，将重氢气向该试料保持器所保持的上述针状材料进行充气；以及加热机构，对上述试料保持器所保持的上述针状材料进行加热，在通过上述加热机构对上述针状材料进行了加热之后，通过遮断基于该加热机构的加热，由此对上述针状材料进行冷却。

公开(公告)号：CN101088137B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200580044221.8

申请日：2005-12-20

Applicant: 埃美格科学仪器公司

Inventor： 约瑟夫·H·本托恩 ,  托马斯·F·凯利 ,  丹尼尔·R·愣次 ,  斯科特·A·维纳

IPC: H01J37/285 ,  H01S3/10

CPC classification number: H01J49/164 ,  B82Y35/00 ,  H01J37/285 ,  H01J49/0004 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/2813

Abstract: 原子探针包括可以保持待分析试样的试样底座。检测器与试样底座间隔开。位于试样底座和检测器之间的是具有孔的局部电极。激光器取向为以相对于孔平面的非零度角向试样底座发射激光束，所述孔平面取向为与在试样底座和检测器之间通过孔而限定的离子传播路径垂直。