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公开(公告)号：WO2017126938A1
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：PCT/KR2017/000728
申请日：2017-01-20
Applicant: 한국표준과학연구원 , 연세대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 이황화몰리브덴을 이용한 촉각센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해, 실리콘 기반의 웨이퍼(60)를 준비하는 단계(제 1 단계); 웨이퍼(60)의 일면을 패시베이션 처리하여 제 1 패시베이션층(62)을 형성하는 단계(제 2 단계); 제 1 패시베이션층(62)상에 그래핀층(64)을 성막하는 단계(제 3 단계); 그래핀층(64)을 패터닝하여 그래핀패턴(65)을 형성하는 단계(제 4 단계); 그래핀패턴(65)위에 이산화황몰리브덴(70)을 인쇄하고 패터닝하는 단계(제 5 단계); 이산화황몰리브덴(70)의 일면을 패시베이션 처리하여 제 2 패시베이션층(80)을 형성하는 단계(제 6 단계); 및 웨이퍼(60)로부터 분리하여 촉각센서를 생성하는 단계(제 7 단계);를 포함하는 것을 특징으로 하는 이황화몰리브덴을 이용한 촉각센서의 제조방법이 제공된다.
Abstract translation: 使用二硫化钼的触觉传感器及其制造方法技术领域本发明涉及一种使用二硫化钼的触觉传感器及其制造方法。 为此，准备硅基晶片60的步骤（第一步骤）; 钝化处理晶片60的一个表面以形成第一钝化层62（第二步骤）; 在第一钝化层62上形成石墨烯层64（第三步骤）; 通过图案化石墨烯层64形成石墨烯图案65（第四步骤）; 在graphen图案65上打印和图案化二氧化钼70（第五步）; 通过钝化二硫化钼70的一个表面来形成第二钝化层80（步骤6）; 以及从晶片60分离晶片以生成触觉传感器的步骤（步骤7）。提供了使用二硫化钼制造触觉传感器的方法。
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2.发明申请복합 촉감 생성모듈, 복합 촉감 제시방법, 그 복합 촉감 생성모듈이 구비된 마우스 및 복합촉각제시시스템 审中-公开用于产生复杂的手术感觉的模块，用于显示复杂的手术感测的方法，用于产生复杂的手术感测的模块的小鼠和用于显示复杂的手术感测的系统
公开(公告)号：WO2014189195A1
公开(公告)日：2014-11-27
申请号：PCT/KR2014/001110
申请日：2014-02-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G06F3/03543 , G06F3/016
Abstract: 본 발명은 복합 촉감 생성모듈, 복합 촉감 제시방법, 그 복합 촉감 생성모듈이 구비된 마우스 및 복합촉각제시시스템에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 가상 물체의 촉각정보를 제공하기 위한 복합촉감생성모듈에 있어서, 피에조 액추에이터에 의해 고주파 진동판을 진동시켜 재질감에 대한 촉각을 제공하는 고주파 구동부; 및 상기 고주파 진동판 일면에서 전자기력에 의해 돌출 및 출몰하는 다수의 미세돌기에 의해 촉각을 제공하는 저주파 구동부;를 포함하여, 사용자에게 가상표면에 대한 미세형상, 재질감, 온열감 및 강성정도를 복합적으로 제공하여 가상물체에 대한 촉감을 생생하게 느낄 수 있도록 하는 복합촉감생성모듈에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于产生复杂触觉的模块，显示复杂的触感的方法，提供有用于产生复杂触感的模块的鼠标和用于显示复杂的触觉的系统。 更具体地，本发明涉及用于产生用于提供假想物体的触觉信息的复杂触感的模块，包括：高频驱动单元，用于通过使用高频振动板振动来提供触摸材料的感觉 压电致动器; 以及低频驱动单元，用于通过使用在高频振动板的一侧上通过电磁力突出并出现的多个细小突起来提供触感，从而为用户提供精细的形状，质地， 假想表面的热感和刚度度，使得用户可以生动地感觉到假想物体的触感。
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公开(公告)号：WO2013168875A1
公开(公告)日：2013-11-14
申请号：PCT/KR2012/011118
申请日：2012-12-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/82
CPC classification number: H01L27/1218 , H01L27/1266 , H01L29/78603
Abstract: 본 발명은 유연한 집적회로의 제조방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 유연한 집적회로의 제조방법에 있어서, 기판의 상부와 하부면에 증착시켜 LSN박막층을 형성하는 단계; 기판의 상부에 증착된 LSN박막층 상부로 다결정실리콘 박막층을 적어도 하나 증착시켜 단계; 다결정실리콘 박막층을 패터닝 및 식각하여 소자부를 형성하는 단계; 소자부의 경계에 다결정실리콘 박막층 및 기판의 상부에 증착된 LSN박막층을 식각하여 비아 홀을 형성하는 단계; 기판의 하부에 증착된 LSN박막층을 식각하는 단계; 상부로 보호층을 형성하는 단계; 기판 식각용액으로부터 소자부를 보호하기 위해 상부로 감광막을 코팅하는 단계; 기판을 기판식각용액에 담가 기판의 상부에 증착된 LSN박막층의 하부면이 드러날 때까지 기판을 식각하는 단계; 및 감광막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연한 집적회로 제조방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及柔性集成电路的制造方法，更具体地说，涉及一种制造柔性集成电路的方法，包括以下步骤：通过在上下表面上沉积LSN薄膜层来形成LSN薄膜层 基材; 在沉积在基板的上部的LSN薄膜层的上部沉积至少一个多晶薄膜层; 通过图案化和蚀刻多晶薄膜层来形成元件部分; 通过在元件部分的边界处蚀刻沉积在基板的上部的多晶薄膜层和LSN薄膜层来形成通孔; 蚀刻沉积在基底的下部的LSN薄膜层; 在上部形成保护层; 在上部涂覆感光膜，以保护元件部分免受基底蚀刻溶液的影响; 将基板浸渍在基板蚀刻溶液中，并且蚀刻该基板，直到沉积在基板的上部的LSN薄膜层的下表面露出为止; 并除去感光膜。
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公开(公告)号：WO2012096416A1
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：PCT/KR2011/000145
申请日：2011-01-10
CPC classification number: G01N3/08 , B82Y25/00 , G01L1/044 , G01L1/16 , G01N3/066 , G01N2203/0623 , G01R33/093 , G01R33/095
Abstract: 본 발명은 나노소재의 역학적인 물성 측정에만 치중되어왔던 기존의 힘센서에 비해서, 역학적-전기적 복합물성을 동시에 측정할 수 있는 나노소재용 역학-전기 복합센서에 관한 것이다. 본 발명은 압전막(ZnO)이 내장된 감지부의 끝단에 제1감지막(Au층)이 형성되고, 지지부에 전기적 물성을 측정하기 위해 끝단에 제2감지막(Au층)이 형성된 제5전극이 포함되고, 상기 제1감지막과 제2감지막이 탄소나노튜브 섬유를 통해 전기적으로 연결되며, 상기 제1감지막이 나노소재에 접촉하여 굽힘하중을 가하거나 나노소재를 그리핑하여 인장하중을 가할 때 압전막의 압전현상을 이용하여 나노소재에 가해진 하중을 측정하고, 동시에 변화되는 전기적 물성을 측정함으로써, 역학적 물성과 전기적 물성 간의 상관관계를 측정 및 평가하여 나노소재의 신뢰성에 대한 평가를 향상시킬 수 있는 나노소재용 역학-전기 복합센서를 제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于纳米材料的电动复合传感器，其与现有的主要仅测量纳米材料的动态特性的力传感器相比，可以同时测量电动力学复合物性质。 电动复合传感器包括第五电极，在其上形成有包括内置压电层（ZnO）的检测部分的端部上的第一检测层（Au层），并且第二检测层（Au层）形成在第五电极上 支撑部分的端部以测量电气性能。 第一检测层和第二检测层通过碳纳米管纤维彼此电连接。 可以使用当第一检测层与纳米材料接触以施加弯矩时发生的压电层的压电现象来测量施加到纳米材料的负载，或者纳米材料被夹持以施加拉伸载荷，并且同时改变的电特性可以 被测量。 因此，可以测量和估计动力学特性和电性能之间的关系，以改善关于纳米材料的可靠性的估计。
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公开(公告)号：WO2017051973A1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：PCT/KR2015/011401
申请日：2015-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 맥놀이 전기장을 이용한 촉감제시모듈, 촉감제시장치, 진동마우스패드 및 촉감제시방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 촉감제시모듈에 있어서, 기판; 상기 기판의 일면에 부착되며, 제1주파수를 갖는 제1전압을 인가받는 제1전극과, 상기 제1주파수와 다른 제2주파수를 갖는 제2전압을 인가받는 제2전극을 갖고, 상기 제1전극과 상기 제2전극이 서로 특정간격 이격 배치되어 맥놀이 전기장을 발생시키는 전극부; 및 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 연결되며, 상기 전극부에서 발생된 맥놀이 전기장에 의해 진동되는 유전층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 맥놀이 전기장을 이용한 촉감제시모듈에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及使用节拍电场的触觉呈现模块，触觉呈现装置，振动鼠标垫以及用于呈现触感的方法。 更具体地，本发明涉及一种使用节拍电场的触觉呈现模块，所述触觉呈现模块包括：基板; 电极单元，具有施加了具有第一频率的第一电压的第一电极和施加具有与第一频率不同的第二频率的第二电压的第二电极，第一电极和第二电极间隔开 通过特定的间隙彼此相邻，从而产生拍击电场，所述电极单元附接到所述基板的表面; 以及电介质层，其连接在第一电极和第二电极之间，并且通过在电极单元中产生的节拍电场而振动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2016060372A1
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：PCT/KR2015/008804
申请日：2015-08-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 촉각을 감지하는 생체모방 피부센서에 관한 것이다. 본 발명의 일예와 관련된 생체모방 다중감각 피부센서는 상면에 가해지는 외부의 자극을 수용하는 제 1 층; 상기 제 1 층의 하면에 부착되는 제 2 층; 상기 제 2 층의 하면에 부착되는 제 3 층; 상기 제 3 층의 하면에 부착되는 제 4 층; 및 상기 자극에 대한 촉각정보를 생성하는 제어부;를 포함하여 촉각정보를 생성할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及感觉触觉的仿生皮肤传感器。 与本发明的实施例相关的仿生多感觉皮肤传感器包括用于接收施加到顶表面的外部刺激的第一层; 第二层，附着到第一层的底表面; 第三层，其附接到第二层的底表面; 附着在第三层的底表面上的第四层; 以及控制单元，其产生相对于所述刺激的触觉信息; 并可以产生触觉信息。
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7.发明申请햅틱피드백 제공모듈, 그 제공모듈을 이용한 햅틱 감성 피드백 제공장치, 그 제공장치가 부착된 휴대용 단말기, 그 제공장치가 부착된 방향제시장치 및 그 제공장치를 이용한 햅틱 감성 피드백 제공방법 审中-公开用于提供消音反馈的装置，用于提供使用其的便携式感应反馈的装置，具有它们的便携式终端，用于指示方向的装置以及用于提供具有相同功能的消息性反馈的方法
公开(公告)号：WO2013137547A1
公开(公告)日：2013-09-19
申请号：PCT/KR2012/011282
申请日：2012-12-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G06F3/016 , H01L41/0986
Abstract: 본 발명은 햅틱피드백 제공모듈, 그 제공모듈을 이용한 햅틱피드백 제공장치, 그 제공장치가 부착된 휴대용 단말기 및 그 제공장치를 이용한 햅틱피드백 제공방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 햅틱피드백 제공모듈에 있어서, 하우징; 하우징의 내부에 구비되는 진동플레이트; 하우징과 진동플레이트를 사이에 구비되어 진동플레이트를 왕복 이동시키는 액추에이팅부; 및 진동플레이트와 하우징 사이에 구비되며 각자가 서로 다른 공진주파수를 갖는 복수의 진동부;를 포함하여, 액추에이팅부의 진동주파수를 변화시켜, 진동주파수와 일치되는 공진주파수를 갖는 진동부가 공진진동하게 되는 것을 특징으로 하는 햅틱피드백 제공모듈.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于提供触觉反馈的模块，用于通过用于提供触觉反馈的模块提供触觉反馈的装置，具有用于提供触觉反馈的装置的便携式终端，以及一种借助于该触觉反馈提供触觉反馈的方法 提供触觉反馈的模块。 更具体地，用于提供触觉反馈的模块包括：壳体; 设置在所述壳体的内部的振动板; 驱动单元，设置在所述壳体和所述振动板之间，用于来回振动板; 以及设置在振动板和壳体之间的各自具有不同谐振频率的多个振动单元。 因此，通过改变驱动单元的振荡频率，引起具有与振荡频率一致的谐振频率的振动单元以其谐振频率振动。
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公开(公告)号：KR102241746B1
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：KR1020190125544
申请日：2019-10-10
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은단결정실리콘나노멤브레인기반촉각센서, 및그 촉각센서를이용한 RMIS용포셉센서디바이스및 그제조방법에관한것으로, 보다상세하게는단결정실리콘층을폴리이미드(PI) 필름상에전사시키는단계; 상기실리콘층을에칭하여복수의센서부를생성하고, 금속화공정을통해전극배선을제작하는단계; 상기센서부와상기전극배선이형성된상기 PI필름에 PDMS를코팅하여촉각센서를제작하는단계; 범프몰드에 PDMS를코팅하고경화시켜범프를제작하는단계; 상기범프와상기촉각센서를접착시키는단계; RMIS 로봇의한 쌍의엔드이펙터의내면일측각각에변형층을부착시키는단계; 및상기변형층각각에범프가결합된촉각센서를접착시키는단계;를포함하는것을특징으로하는촉각센서를이용한 RMIS용포셉센서디바이스의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170034993A
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：KR1020150133292
申请日：2015-09-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은맥놀이전기장을이용한진동마우스패드및 그진동마우스패드를이용한촉감제시방법에대한것이다. 보다상세하게는, 진동마우스에있어서, 기판; 상기기판의일면에부착되며, 제1주파수를갖는제1전압을인가받는제1전극과, 상기제1주파수와다른제2주파수를갖는제2전압을인가받는제2전극을갖고, 상기제1전극과상기제2전극이서로특정간격이격배치되어맥놀이전기장을발생시키는전극부; 및상기제1전극과상기제2전극사이에연결되며, 상기전극부에서발생된맥놀이전기장에의해진동되는유전층;을포함하여상기유전층상에놓여진마우스로진동을전달하는것을특징으로하는맥놀이전기장을이용한진동마우스패드에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及使用拍电场的振动鼠标垫和使用该振动鼠标垫的触觉呈现方法。 更具体地说，本发明涉及一种振动鼠标，包括：衬底; 第一电极，附着到基板的一个表面并接收具有第一频率的第一电压，以及第二电极，接收具有不同于第一频率的第二频率的第二电压; 电极单元，设置在第一电极和第二电极之间以产生打浆电场; 以及介电层，其连接在第一电极和第二电极之间，并且通过在电极部分中产生的拍电场而振动，并且通过放置在介电层上的鼠标传递振动。 本发明涉及一种使用的振动鼠标垫。
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