Abstract:
본 발명은 기체 투과도 측정 장치 및 기체 투과도 측정 방법을 제공한다. 이 기체 투과도 측정 장치는 중간에 오리피스를 가지는 측정 챔버; 상기 측정 챔버에 연결되고 판형의 측정하고자 하는 금속 시료를 금속 가스켓 양면 접속 피팅으로 결합한 시료 챔버; 상기 금속 시료의 주위를 감싸도록 배치되고 유전체로 형성된 보조 챔버; 및 상기 보조 챔버를 감싸도록 배치된 유도 가열 코일을 포함한다.
Abstract:
본 발명은 기체투과도 측정장치 및 기체투과도 측정 방법을 제공한다. 이 기체투과도 측정 장치는 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버; 제1 챔버와 직렬 연결된 제2 챔버; 상기 제2 챔버와 직렬 연결된 제3 챔버; 관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판; 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부; 상기 제3 챔버에 연결되어 상기 제3 챔버를 배기시키는 진공 펌프;및 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 차압을 측정하는 차압계를 포함한다. 시료는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 연결 부위에 배치되고, 상기 측정 가스는 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달되고, 상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 순차적으로 제공한다.
Abstract:
A volume measurement device and a measurement method thereof are provided to measure volume of complicated sample precisely. A volume measurement method comprises a step(S100) which measures volume and pressure of a piston; a step(S200) which loads a sample in a chamber and measures an initial pressure inside the chamber; a step(S300) which inflows a constant flow rate to the chamber; and a step(S400) which measures pressure of the chamber and extracts the volume of sample. The volume of the sample is extracted by using a boyle-charles' law. The flow rate is flowed into the chamber through the piston or a mass flow controller. The step which measures the initial pressure by loading the sample into the chamber comprises a step which exhausts the chamber under a reference pressure and a step which stops the exhaustion and measures the initial pressure.
Abstract:
본 발명은 부피가 서로 다른 진공체임버에 기체를 순차적으로 확장시켜 진공체임버의 압력을 계산하는 정적법 표준기에서 절대교정된 기준진공게이지를 이용하여 진공게이지의 이동이 없이 in-situ 상태에서 오리피스 기체흐름 제어 방법에 따라 진공게이지의 비교교정이 가능한 장치의 개발에 관한 사항이다. 관련 세부기술로는 정적법에 의한 기준진공게이지 절대교정과 오리피스 기체흐름 제어 방법에 의한 진공게이지 비교교정 결합기술, 저진공에서 고진공 영역까지의 기준압력 발생기술 및 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법에 의한 진공게이지 비교교정에 관한 기법을 포함한다. 본 발명은 진공게이지의 절대 교정과 비교교정이 각각 다른 장치에서만 가능했던 것을 두 교정 장치를 결합한 새로운 장치의 개발로 교정시간 단축과 이동교정 등 교정효율 향상에 관한 것이다. 정적법, 기준진공게이지, 절대교정, 비교교정, 결합기술, 기준압력, 발생기술, 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법, 진공게이지, 이동교정, 교정효율
Abstract:
PURPOSE: A differential pressure gauge correction device and a pressure gauge correction device are provided to improve accuracy, enable rapid correction and diagnosis, and measure the pressure difference. CONSTITUTION: A differential pressure gauge correction device comprises a first container(110), a second container(120), a volume modulator(140), and a differential pressure gauge(138). The second container is separated from the first container. The volume modulator is placed on one side of the first container. The differential pressure gauge is connected to the first container and the second container. The volume modulator varies the volume of the first container. The volume modulator corrects the measurement signal of the differential pressure gauge.
Abstract:
수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재 내부의 압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 압력 및 진공도 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법에 있어서, 밀폐된 용기 내부공간에 수축성 다공성물질과 상기 수축성 다공성물질을 수축된 상태로 유지시키는 유연한 재질의 포장재를 갖는 제1밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제1초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제1밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제1압력 변화량을 측정하는 단계; 상기 용기에서 상기 제1밀봉재 샘플을 제거하고, 상기 용기의 내부공간에 상기 제1밀봉재 샘플과 동일한 내체적와 내부압력을 갖는 제2밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제2초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제2밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제2압력 변화량을 측정하는 단계; 및 분석수단이 상기 제1압력 변화량 및 상기 제2압력변화량으로부터 상기 제1밀봉재 샘플과 상기 제2밀봉재 샘플의 내부압력 및 내체적을 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법 및 장치에 관한 것이다.
Abstract:
PURPOSE: An out-gassing measuring device and an out-gassing measuring method are provided to measure the amount of out-gassing by measuring the pressure of both sides of an orifice. CONSTITUTION: An out-gassing measuring device comprises a transparent tube(120), an infrared heating unit(110), a main chamber(130), a secondary chamber(140), an orifice(150), a discharge unit(145) and a secondary vacuum system(142). The transparent tube is formed from a material transmitting infrared rays. The infrared heating unit heats samples(170) in the transparent tube using infrared rays. The main chamber is connected to one end of the transparent tube. The secondary chamber is connected to the main chamber. The orifice is arranged between the main and secondary chambers and controls flow-rate conductance. The discharge unit is connected to the secondary chamber to discharge air from the main and secondary chambers.
Abstract:
An integral calibration apparatus for a low vacuum gauge and a high vacuum gauge is provided to calibrate the gauges very precisely and stably by preventing a degassing phenomenon when calibrating the low vacuum gauge and preventing a pressure fluctuation phenomenon when calibrating the high vacuum gauge. An integral calibration apparatus for a low vacuum gauge and a high vacuum gauge includes a pressure vessel(100), a low vacuum reference gauge(110), a high vacuum reference gauge(120), a calibrated gauge(160), an ion gauge(170), a thermometer(130), a gate valve(140), a pump device, a heating device, and a gas injection device. The pressure vessel are partitioned into a calibration vessel(340) and a discharge vessel(350) by a separation plate(320) and has an orifice(330) on the separation plate. The low vacuum reference gauge, the high vacuum reference gauge, and the calibrated gauge are attached to the calibration vessel to measure a vacuum pressure inside. The ion gauge and the thermometer are attached to the discharge vessel to measure a pressure and a temperature inside. The gate valve is placed on a side of the discharge vessel to control discharge of a gas inside. The pump device is connected to the discharge side of the gate valve. The heating device is attached to the pressure vessel and heats the pressure vessel to a predetermined temperature. The gas injection device is installed in the calibration vessel and injects a gas inside the calibration vessel.