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公开(公告)号：WO2016068507A1
公开(公告)日：2016-05-06
申请号：PCT/KR2015/010578
申请日：2015-10-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 입자빔 질량분석기 및 이를 이용한 입자 측정 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가스 흐름(gas flow)에 의한 입자 빔을 집속하는 입자 집속유닛; 열전자를 가속하여 상기 입자 집속 유닛에 의해 집속된 입자 빔을 이온화시켜 하전 입자 빔을 형성하는 전자총; 상기 하전 입자빔을 운동 에너지 대 전하 비(kinetic energy to charge ratio)에 따라 굴절시키는 디플렉터; 및 굴절된 상기 하전 입자 빔에 의한 전류를 측정하는 감지부;를 포함하고, 상기 디플렉터는 굴절되기 전의 하전입자 빔의 진행 중심축을 기준으로 양측에 각각 적어도 하나이상 형성된 입자 빔 분리 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子束质谱仪和粒子测量方法，更具体地涉及一种粒子束质谱仪，其特征在于包括：粒子聚焦单元，用于聚焦由气流引起的粒子束; 电子枪，用于通过加速热电子以使由粒子聚焦单元聚焦的粒子束离子化而形成带电粒子束; 用于根据动能与电荷比弯曲带电粒子束的偏转器; 以及用于测量由于带电粒子束弯曲的电流引起的电流的感测单元，其中偏转器在弯曲之前相对于带电粒子束的前进轴线在其每一侧上包括一个或多个粒子束分离极。
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公开(公告)号：WO2011065762A2
公开(公告)日：2011-06-03
申请号：PCT/KR2010/008388
申请日：2010-11-25
Abstract: 본 발명은 큐엠에스를 이용한 가스 성분별 절대량 측정시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 핀홀을 통해 유입되는 미량 가스만으로도 정확한 정성 분석 뿐만 아니라, 정량 분석까지 가능한 큐엠에스를 이용한 가스 성분별 절대량 측정시스템에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 제품의 생산성을 향상시키고 생산관리를 효율적으로 할 수 있도록 하여 산업경쟁력을 높이는 효과를 제공하게 된다.
Abstract translation:
本发明涉及一种气体组分特异性绝对量测量系统使用队列LMS，并且更具体地说，涉及一种可用队列LMS，以及精确的定性分析，定量分析与流过销孔气体的仅微量 并为每种气体成分提供绝对量测量系统。 根据本发明，可以提高产品的生产率，并可以有效地进行生产管理，从而提高产业竞争力。
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公开(公告)号：KR101634231B1
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020140148024
申请日：2014-10-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은입자빔질량분석기및 이를이용한입자측정방법에관한것으로서, 보다상세하게는가스흐름(gas flow)에의한입자빔을집속하는입자집속유닛; 열전자를가속하여상기입자집속유닛에의해집속된입자빔을이온화시켜하전입자빔을형성하는전자총; 상기하전입자빔을운동에너지대 전하비(kinetic energy to charge ratio)에따라굴절시키는디플렉터; 및굴절된상기하전입자빔에의한전류를측정하는감지부;를포함하고, 상기디플렉터는굴절되기전의하전입자빔의진행중심축을기준으로양측에각각적어도하나이상형성된입자빔 분리전극을포함하는것을특징으로하는입자빔 질량분석기에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020160052863A
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140148024
申请日：2014-10-29
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N27/62 , H01J49/26 , H01J49/4225
Abstract: 본발명은입자빔질량분석기및 이를이용한입자측정방법에관한것으로서, 보다상세하게는가스흐름(gas flow)에의한입자빔을집속하는입자집속유닛; 열전자를가속하여상기입자집속유닛에의해집속된입자빔을이온화시켜하전입자빔을형성하는전자총; 상기하전입자빔을운동에너지대 전하비(kinetic energy to charge ratio)에따라굴절시키는디플렉터; 및굴절된상기하전입자빔에의한전류를측정하는감지부;를포함하고, 상기디플렉터는굴절되기전의하전입자빔의진행중심축을기준으로양측에각각적어도하나이상형성된입자빔 분리전극을포함하는것을특징으로하는입자빔 질량분석기에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子束质谱仪和使用其的粒子测量方法。 更具体地，粒子束质谱仪包括：通过气流浓缩粒子束的粒子浓度单元; 电子枪，其离子化由粒子浓度单元浓缩的粒子束，并形成带电粒子束; 根据动能与电荷比折射带电粒子束的偏转器; 以及感测单元，其通过折射的带电粒子束来测量电流。 偏转器包括在折射之前形成在带电粒子束的进程的中心轴线的两侧的一个或多个粒子束分离电极。
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