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1.发明申请
公开(公告)号：WO2017039133A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：PCT/KR2016/007013
申请日：2016-06-30
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 4개의 전극과 상기 4개의 전극을 고정하기 위한 절연체 홀더를 포함하는 사중극자 질량분석기용 사중극자 질량필터에 관한 것으로, 본 발명에 따른 사중극자 질량필터는 절연체 홀더의 내부면 중 각각의 전극과 접촉하는 부분은 평면으로 이루어지며, 상기 4개의 전극 각각은 상기 절연체 홀더와 접촉하는 부분이 평면으로 이루어짐으로써, 사중극자의 평행도, 직진도 및 조립정밀도가 우수한 사중극자 질량 분석기를 제공할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于四极质谱仪的四极质量过滤器，四极质量过滤器包括四个电极和用于固定四个电极的绝缘体保持器。 在根据本发明的四极质量过滤器中，与每个电极接触的绝缘体保持器的内表面的一部分形成为平坦表面，并且四个电极中的每一个的一部分进入 与绝缘体保持器接触形成为平坦表面。 因此，本发明可以提供四极杆的平行度，直线性和组装精度优异的四极质谱仪。
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公开(公告)号：WO2016024704A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/KR2015/005337
申请日：2015-05-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 하전입자 현미경의 입자빔 제어 장치 및 방법에 관한 것으로, 보 다 상세하게는 하전입자 현미경내 하전입자빔을 제어함으로써, 시료 표면의 정보를 획득하기 위해 정전 방식 또는 자기 방식의 편향기(스캐너)에 의해 왜곡되는 동적 특성을 바로 잡아 원하는 위치에 하전입자빔을 조사 시킴으로써 측정된 시료표면의 이미지가 왜곡되는 것을 방지하고, 고속으로 이미지를 획득 할 수 있도록 하며, 원하는 형태로 시료 표면을 가공할 수 있도록 하는 하전 입자빔 제어 장치 및 이를 이용한 하전입자빔의 제어 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种带电粒子显微镜的粒子束控制装置和方法，更具体地，涉及一种带电粒子束控制装置和使用该粒子束控制装置的带电粒子束控制方法，该方法控制带电粒子内的带电粒子束 显微镜，以校正由静电方案或磁性方案的偏转器（扫描仪）变形的动态特性，并将带电粒子束照射到期望的位置，以获取样本表面上的信息，从而防止样本表面的测量图像 不会变形，能够快速获取图像，并且能够以期望的形式处理样品表面。
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公开(公告)号：WO2014073778A1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：PCT/KR2013/007445
申请日：2013-08-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J49/147 , H01J49/067 , H01J49/16
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따르는 이온원은, 일측을 통해서 유입된 가스가 이온화되어 타측으로 배출되며, 외주에 슬릿이 형성되는 양극관과, 상기 가스를 이온화시키도록 상기 슬릿으로 열전자를 방출하는 필라멘트 및 상기 양극관 내부로 유입되는 상기 열전자의 확산을 줄이도록, 상기 열전자가 통과할 수 있게 한 개 이상의 구멍을 가지며, 상기 필라멘트와 상기 슬릿 사이에 배치되는 확산방지체를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，离子源包括：阳极管，其中通过一侧流动的气体被离子化并排出到另一侧，并且在其外周上形成狭缝; 将热电子排出到狭缝以使气体离子化的灯丝; 以及布置在灯丝和狭缝之间并具有至少一个热电子可以通过的孔的扩散防止体，以便减少流入阳极管的热电子的扩散。
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公开(公告)号：WO2016068507A1
公开(公告)日：2016-05-06
申请号：PCT/KR2015/010578
申请日：2015-10-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 입자빔 질량분석기 및 이를 이용한 입자 측정 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가스 흐름(gas flow)에 의한 입자 빔을 집속하는 입자 집속유닛; 열전자를 가속하여 상기 입자 집속 유닛에 의해 집속된 입자 빔을 이온화시켜 하전 입자 빔을 형성하는 전자총; 상기 하전 입자빔을 운동 에너지 대 전하 비(kinetic energy to charge ratio)에 따라 굴절시키는 디플렉터; 및 굴절된 상기 하전 입자 빔에 의한 전류를 측정하는 감지부;를 포함하고, 상기 디플렉터는 굴절되기 전의 하전입자 빔의 진행 중심축을 기준으로 양측에 각각 적어도 하나이상 형성된 입자 빔 분리 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 빔 질량 분석기에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子束质谱仪和粒子测量方法，更具体地涉及一种粒子束质谱仪，其特征在于包括：粒子聚焦单元，用于聚焦由气流引起的粒子束; 电子枪，用于通过加速热电子以使由粒子聚焦单元聚焦的粒子束离子化而形成带电粒子束; 用于根据动能与电荷比弯曲带电粒子束的偏转器; 以及用于测量由于带电粒子束弯曲的电流引起的电流的感测单元，其中偏转器在弯曲之前相对于带电粒子束的前进轴线在其每一侧上包括一个或多个粒子束分离极。
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公开(公告)号：KR1020170026882A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020150122617
申请日：2015-08-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은 4개의전극과상기 4개의전극을고정하기위한절연체홀더를포함하는사중극자질량분석기용사중극자질량필터에관한것으로, 본발명에따른사중극자질량필터는절연체홀더의내부면중 각각의전극과접촉하는부분은평면으로이루어지며, 상기 4개의전극각각은상기절연체홀더와접촉하는부분이평면으로이루어짐으로써, 사중극자의평행도, 직진도및 조립정밀도가우수한사중극자질량분석기를제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于四极质谱仪的四极质量过滤器，四极质量过滤器包括四个电极和用于固定四个电极的绝缘体保持器。 在根据本发明的四极质量过滤器中，与每个电极接触的绝缘体保持器的内表面的一部分形成为平坦表面，并且四个电极中的每一个的一部分进入 与绝缘体保持器接触形成为平坦表面。 因此，本发明可以提供四极杆的平行度，直线性和组装精度优异的四极质谱仪。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160020598A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020140104928
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/28 , H01J49/027 , H01J2231/50047
Abstract: 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及带电粒子显微镜中控制带电粒子束的装置和方法。 更具体地，控制带电粒子显微镜中的带电粒子束。 由此，校正由静电法或磁法的偏转器（扫描仪）变形的动态特性，以获得样品表面的信息。 带电粒子束被发射到期望的位置。 由此，能够防止测定的样品表面的图像的变形。 图像可以高速获得。 样品表面可以被处理成所需的形状。
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公开(公告)号：KR1020150058596A
公开(公告)日：2015-05-29
申请号：KR1020130139831
申请日：2013-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버와대물렌즈사이에반사판인스크린을삽입하여광학빔을대물렌즈로직접확인하는방법으로광학빔정렬을용이하게하기위한탐침현미경, 이를이용한탐침현미경의광학빔정렬방법, 기록매체및 탐침현미경의광학빔자동정렬시스템에관한것이다. 이를위하여캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나의정밀한측정을위하여, 캔틸레버의상부면종단에설정되고, 광학빔이입사되는목표위치; 목표위치가포함된캔틸레버를확대하여표시하는확대수단; 확대수단에의해확대표시된캔틸레버를영상으로표시하는영상표시부; 및캔틸레버의연직상부에구비되고, 광학빔의반사광에의해광학빔의입사위치가영상표시부에의해영상으로표시되도록구성되는스크린;을포함하고, 스크린의영상에캔틸레버의영상이오버랩되도록하고, 스크린에서반사되는광학빔의반사광에의한입사위치을이용하여, 광학빔을목표위치에정렬하는것을특징으로하는탐침현미경이제공될수 있다. 이에따르면, 캔틸레버의상부면에정밀한광학빔을정밀하게정렬하여탐침현미경의정밀도를향상시키고, 분석결과의오차가최소화되는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及通过使用通过在悬臂和物镜之间插入作为反射板的屏幕直接确认物镜的光束的方法来简化光束的布置的探针显微镜， 通过使用探针显微镜的光束布置方法，记录介质和自动布置探针显微镜的光束的系统。 为了实现该目的，提供了一种探针显微镜，其包括设置在悬臂的上表面的端部并且光束进入的目标位置，以精确地测量运动位移，运动频率， 和弯曲度; 放大单元，放大并显示包括目标位置的悬臂; 显示由放大单元放大的悬臂的图像显示装置作为图像; 以及安装在悬臂的垂直上部的屏幕，并且形成为使得由图像显示部显示的光束的入射位置作为图像。 因此，由于精确的光束精确地布置在悬臂的上表面上，所以提高了探针显微镜的精度并且使分析结果的误差最小化。
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公开(公告)号：KR101448199B1
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020130090248
申请日：2013-07-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/252 , H01L21/66
Abstract: The present invention relates to a method for cleaning a metal tip used as a probe for a scanning probe microscope or a source for a particle beam under ultra-high vacuum. Provided is the method for cleaning the metal tip which includes the steps of: a) maintaining vacuum with a pressure of 10^-7 mbar in a chamber including the metal tip; b) introducing nitrogen gas into the chamber; and c) applying a positive voltage to the metal tip in the chamber to which the nitrogen gas is introduced.
Abstract translation: 本发明涉及一种在超高真空下清洗用作扫描探针显微镜或粒子束源的金属尖端的方法。 提供了用于清洁金属尖端的方法，其包括以下步骤：a）在包括金属尖端的室中保持10 ^ -7毫巴的压力的真空; b）将氮气引入室内; 以及c）向导入氮气的室中的金属尖端施加正电压。
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公开(公告)号：KR100816081B1
公开(公告)日：2008-03-24
申请号：KR1020060130402
申请日：2006-12-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 박창준
Abstract: An inductively coupled plasma mass spectrometer is provided to obtain high-sensitivity analysis results of an ultramicro-element below ppq(10^-15) by concentrating ions of the element to improve concentration of the ions. An inductively coupled plasma mass spectrometer includes a plasma unit(10), an interface(20), an ion lens unit(30), a reaction cell(40), a mass analyzing unit(50), and an ion detector(60). The plasma converts a sample solution into ions. The interface extracts a required component from ion beam of the plasma unit. The ion lens unit focuses the ion beam passed through the interface. The reaction cell removes an interference component from the ions passed through the ion lens unit. The mass analyzing unit removes the remaining ions from the ions without the interference component. The ion detector detects the ions to be analyzed. Ion trap lenses(1a,1b) are installed at an inlet and an outlet of the reaction cell respectively to store and concentrate the ions with pulse voltage according to a fine time control program.
Abstract translation: 提供电感耦合等离子体质谱仪，通过浓缩元素的离子以提高离子浓度，获得低于ppq（10 ^ -15）的超微量元素的高灵敏度分析结果。 电感耦合等离子体质谱仪包括等离子体单元（10），界面（20），离子透镜单元（30），反应池（40），质量分析单元（50）和离子检测器（60） 。 等离子体将样品溶液转化为离子。 界面从等离子体单元的离子束中提取所需的组分。 离子透镜单元将通过界面的离子束聚焦。 反应池从通过离子透镜单元的离子中除去干扰成分。 质量分析单元从离子中除去剩余的离子而没有干扰成分。 离子检测器检测要分析的离子。 离子阱透镜（1a，1b）分别安装在反应池的入口和出口，以根据精细的时间控制程序以脉冲电压存储和浓缩离子。
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公开(公告)号：KR1020040103274A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：KR1020030035256
申请日：2003-06-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 박창준
IPC: B05B7/06
Abstract: PURPOSE: A parallel type concentric nebulizer is provided to easily connect or disconnect an argon gas tube and to discharge more atomized particles having smaller sizes compared to the prior concentric nebulizer. CONSTITUTION: The parallel type concentric nebulizer comprises a main body(37) having a gas connecting part(34) formed on one end thereof and an orifice(39) formed on the other end of the main body and communicated with the gas connecting part(34) on an axis of the gas connecting part, a tube inserting part(36) formed on a side of a periphery of the gas connecting part and obliquely penetrating the main body, a sample injecting tube(32) into which a sample is injected and having an end connected to the tube inserting part, and a fine tube(40) mounted in the main body to be coaxial with the main body and having one end extending to the tube inserting part and the other end extending to the orifice.
Abstract translation: 目的：提供一种并联型同心雾化器，以容易地连接或断开氩气管，并排出与现有的同心雾化器相比具有较小尺寸的更多雾化颗粒。 构成：平行型同心式雾化器包括主体（37），其主体（37）具有形成在其一端的气体连接部（34）和形成在主体的另一端的孔（39），并与气体连接部 34），气体连接部的轴线上形成的管插入部（36），倾斜地贯穿主体的气体连接部的周边的管插入部（36），注入了样品的样本注入管 并且具有连接到管插入部的端部和安装在主体中以与主体同轴并且具有延伸到管插入部的一端并且延伸到孔的另一端的细管（40）。
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