公开(公告)号：KR100287957B1

公开(公告)日：2002-05-13

申请号：KR1019980055279

申请日：1998-12-16

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김달현 ,  구자용 ,  김영주 ,  황찬용 ,  이근섭 ,  이세경 ,  김종진

IPC: G01B11/30

Abstract: 본 발명은 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광 전송방법에 관한 것으로, 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광을 전송하는 방법으로서, AFM 팁(2)의 (10㎛ ∼ 100㎛) 크기보다 더 이 빛이 퍼지기 전에 팁에 광화이버 끝을 (100㎛ ∼ 500㎛)로 근접시키고, 빛이 팁 끝에서 전부 반사되어 4-cell 포토다이오드에서 검출되게 하되 샘플과 팁의 거리가 달라지면 팁과 시편 사이에 작용하는 힘의 크기가 달라져서 팁이 위 또는 아래로 구부러지고, 그러면 팁에서 반사된 레이저 빛의 반사각도가 달라져서 포토다이오드의 상부(2개 cell), 하부(2개 cell )에 입사하는 빛의 양이 달라져 상부가 하부보다 빛의 세기가 더 커지거나 작아진다. 그러면 상부와 하부 사이의 빛의 세기 차이를 측정하여 일정한 차이를 유지하는데 이것은 팁과 시편 사이가 일정한 거리로 유지된다는 것을 의미한다. 팁을 시편의 다른 지점으로 이동시키면 시편 표면의 높이가 다르므로 팁과 시편 사이의 거리가 달라져서 팁이 위로 혹은 아래로 휘어진다. 따라서 거리를 일정하게 유지시켜 주기 위해서 팁 혹은 시편을 움직여서 거리를 일정하게 유지시킨다. 이때 움직인 거리가 결국 그 지점에서의 표면 높낮이가 되는 것이다. 그래서 시편의 측정 지점을 바꾸면서 이 높낮이를 측정하면 시편의 표면 굴곡을 측정하는 것이 아토믹 포스 마이크로스코프의 원리이다. 그런데 우리는 광화이버를 팁에 가깝게 접근시키고 반사된 빛이 포토다이오드의 중앙에 입사하도록 광화이버를 조절하기 위하여 광화이버를 스테인리스스틸 튜브 안에 넣고 접착제로 고정시켜서 광화이버를 미세하게 조절하는 것이다.

公开(公告)号：KR1020000039822A

公开(公告)日：2000-07-05

申请号：KR1019980055279

申请日：1998-12-16

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김달현 ,  구자용 ,  김영주 ,  황찬용 ,  이근섭 ,  이세경 ,  김종진

IPC: G01B11/30

Abstract: PURPOSE: A method for transmitting atomic force microscope probe light through an optical fiber is provided to minimize a head and improve a laser property by using an optical fiber without using a lens. CONSTITUTION: In a method for transmitting atomic force microscope probe light, an extreme end of an optical fiber(1) approaches a tip(2) before light is dispersed over a size of the tip(2). When a distance between the tip(2) and a sample(4) is varied, the tip(2) is bent upward and downward so that laser reflected from the tip(2) can be deflected. By deflection of the laser, amounts of light incident to two cells. By measuring the difference, an irregulation of the surface of the sample(4) is measured. The optical fiber(1) is inserted into a tube(5) so as to adjust the optical fiber(1) such that the light reflected from the optical fiber can be incident to a center of a photo diode(3).

Abstract translation: 目的：提供通过光纤传输原子力显微镜探针光的方法，以最小化头部，并且通过在不使用透镜的情况下使用光纤来提高激光性能。 构成：在用于发射原子力显微镜探针光的方法中，在将光分散在尖端（2）的尺寸上之前，光纤（1）的末端接近尖端（2）。 当尖端（2）和样品（4）之间的距离改变时，尖端（2）向上和向下弯曲，使得从尖端（2）反射的激光可以偏转。 通过激光的偏转，入射到两个电池的光量。 通过测量差异，测量样品（4）的表面的不调节。 将光纤（1）插入管（5）中，以便调节光纤（1），使得从光纤反射的光可以入射到光电二极管（3）的中心。