Patent search ap:("한국표준과학연구원") AND inv:"황농문" Page 1

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发明授权
플라즈마 나노입자의 제조 장치 및 그 제조 방법 有权

公开(公告)号：KR101909891B1

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：KR1020160135509

申请日：2016-10-19

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 유승완 , 김정형 , 성대진 , 유신재 , 황농문

IPC: B01J19/08 , C01B33/029 , C01B31/06

Abstract: 본발명은나노입자제조장치및 나노입자제조방법을제공한다. 본발명의일 실시예에따른나노입자제조장치는진공용기; 상기진공용기의상부면에배치된유전체상판; 상기유전체상판상에배치되고상기진공용기내부에유도결합플라즈마를생성하는유도코일; 상기유도코일에 RF 전력을공급하는 RF 전원; 상기진공용기에배치되어나노입자를합성하는기판; 및상기기판과상기유전체상판사이에배치되고도전성메쉬를포함하는그리드구조물을포함한다.

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