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公开(公告)号：WO2023068629A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2022/015345
申请日：2022-10-12
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C07F5/00
Abstract: 본 발명은 신규한 3족 금속 전구체, 이의 제조방법, 이를 이용하는 박막의 제조방법 및 이를 채용하여 제조되는 박막에 관한 것으로, 상기 3족 금속 전구체는 고유전상수 및 열역학적 안정성을 가지고 우수한 증기압을 나타내어, 우수한 순도의 박막을 제조할 수 있다.
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