公开(公告)号：WO2023080505A1

公开(公告)日：2023-05-11

申请号：PCT/KR2022/016135

申请日：2022-10-21

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 정택모 ,  류지연 ,  박찬우 ,  박보근 ,  김창균 ,  엄태용

IPC: C07F3/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455

Abstract: 본 발명은 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 화학기상증착 또는 용액공정을 통하여 박막을 제조함에 있어, 열적 안정성과 휘발성이 개선되고, 낮은 온도에서 쉽게 양질의 금속 박막 또는 금속 산화물 박막을 제조할 수 있는 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：WO2023068629A1

公开(公告)日：2023-04-27

申请号：PCT/KR2022/015345

申请日：2022-10-12

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  고용민 ,  정택모 ,  김건환 ,  엄태용 ,  류지연

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C07F5/00

Abstract: 본 발명은 신규한 3족 금속 전구체, 이의 제조방법, 이를 이용하는 박막의 제조방법 및 이를 채용하여 제조되는 박막에 관한 것으로, 상기 3족 금속 전구체는 고유전상수 및 열역학적 안정성을 가지고 우수한 증기압을 나타내어, 우수한 순도의 박막을 제조할 수 있다.

公开(公告)号：WO2023013949A1

公开(公告)日：2023-02-09

申请号：PCT/KR2022/010925

申请日：2022-07-26

Applicant: 한국화학연구원 ,  주식회사 메카로

Inventor： 정택모 ,  류지연 ,  엄태용 ,  김창균 ,  박보근 ,  박찬우 ,  김선아 ,  황정민

IPC: C07F15/00 ,  C07F17/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455

Abstract: 본 발명은 루테늄 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 화학기상증착 또는 용액공정을 통하여 박막을 제조함에 있어, 열적 안정성과 휘발성이 개선되고, 낮은 온도에서 쉽게 양질의 루테늄 박막 또는 루테늄 산화물 박막을 제조할 수 있는 루테늄 유기금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.