公开(公告)号：KR1020150088538A

公开(公告)日：2015-08-03

申请号：KR1020140008990

申请日：2014-01-24

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  정택모 ,  김창균 ,  전동주 ,  한정환 ,  조지,쉐비메리 ,  오현지

IPC: C07F3/00

CPC classification number: C07F3/003 ,  C23C16/409 ,  C23C16/45525

Abstract: 본발명은하기화학식1로표시되는스트론튬전구체에관한것으로, 상기스트론튬전구체는열적으로안정하고휘발성이좋으므로양질의스트론튬박막을형성할수 있다. [화학식 1](상기식에서, R은 C1-C10의선형또는분지형알킬기이고, R, R, R, R은각각독립적으로 H, C1-C10의선형또는분지형알킬기, 또는 C1-C10의플루오르화알킬기이며, m, n은각각독립적으로 1 내지 3이고, a는 1 내지 3이다.)

Abstract translation: 本发明涉及由化学式1表示的锶前体，能够形成优质的锶薄膜，因为锶前体具有热稳定性和高挥发性。 在化学式1中，R_1为C1-C10直链或支链烷基，R_2，R_3，R_6和R_7独立地为H，C1-C10直链或支链烷基或C1-C10氟烷基，m n分别为1〜3的数，a为1〜3的数。