公开(公告)号：KR1020170037102A

公开(公告)日：2017-04-04

申请号：KR1020150136231

申请日：2015-09-25

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  정택모 ,  김창균 ,  전동주 ,  한정환 ,  한성호 ,  이선주

IPC: C07F15/06 ,  C07F13/00 ,  H01M4/525 ,  H01M4/505

Abstract: 본발명은전이금속함유전구체, 이의제조방법및 이를이용하여박막을제조하는방법에관한것으로, 본발명에따른전이금속함유전구체는열적안정성과휘발성이개선되어낮은온도에서도쉽게양질의코발트산화물또는망간산화물을포함하는박막의제조가가능하다.

Abstract translation: 本发明涉及含有过渡金属的前体，其制备方法以及使用该前体制备薄膜的方法，其中根据本发明的含过渡金属的前体具有改进的热稳定性和挥发性， 可以制造含有氧化物的薄膜。

公开(公告)号：KR101769338B1

公开(公告)日：2017-08-30

申请号：KR1020150136231

申请日：2015-09-25

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  정택모 ,  김창균 ,  전동주 ,  한정환 ,  한성호 ,  이선주

IPC: C07F15/06 ,  C07F13/00 ,  H01M4/525 ,  H01M4/505

Abstract: 본발명은전이금속함유전구체, 이의제조방법및 이를이용하여박막을제조하는방법에관한것으로, 본발명에따른전이금속함유전구체는열적안정성과휘발성이개선되어낮은온도에서도쉽게양질의코발트산화물또는망간산화물을포함하는박막의제조가가능하다.