公开(公告)号：KR20180022775A

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：KR20187000230

申请日：2016-05-17

Applicant: ADEKA CORP

Inventor： YOSHINO TOMOHARU ,  ENZU MASAKI ,  NISHIDA AKIHIRO ,  SUGIURA NANA

IPC: C07F15/06 ,  C23C16/18 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C16/18 ,  C07F13/00 ,  C07F13/005 ,  C07F15/04 ,  C07F15/045 ,  C07F15/06 ,  C07F15/065 ,  H01L21/285

Abstract: 본발명의신규화합물은, 하기일반식 (I) 또는 (II)로나타내어지는것을특징으로한다: [화학식 1][식중, R및 R는, 각각독립적으로탄소원자수 1 ~ 12의탄화수소기를나타내며, 그탄화수소기의수소원자는 Si(R)으로치환되어있는경우도있다. 단, R과 R는상이한기이다. R은, 메틸기또는에틸기를나타내며, M은, 금속원자또는규소원자를나타내며, n은 1 ~ 4의정수를나타낸다.]

Abstract translation: 本发明的新型化合物的特征在于由以下通式（I）或（II）表示：其中R和R各自独立地表示具有1至12个碳原子的烃基， 该烃基的氢原子可以被Si（R）取代。 只要R和R是不同的基团。 R表示甲基或乙基，M表示金属原子或硅原子，n表示1〜4的数。