公开(公告)号：TWI523103B

公开(公告)日：2016-02-21

申请号：TW100130472

申请日：2011-08-25

Applicant: ASM日本公司 ,  ASM JAPAN K. K.

Inventor： 洪國維 ,  HONG, KUO WEI ,  清水亮 ,  SHIMIZU, AKIRA ,  難波邦年 ,  NAMBA, KUNITOSHI ,  李禹鎮 ,  LEE, WOO-JIN

IPC: H01L21/314

CPC classification number: C23C16/45523 ,  C23C16/045 ,  C23C16/345 ,  C23C16/36 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/515 ,  H01L21/02167 ,  H01L21/02219 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228