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公开(公告)号：TWI443221B
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW096139836
申请日：2007-10-24
Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 艾爾斯 凱 艾瑞克 , ELERS, KAI-ERIK , 威爾克 葛嵐 , WILK, GLEN , 馬庫斯 史蒂芬 , MARCUS, STEVEN
IPC: C23C16/32
CPC classification number: C23C16/32 , C23C16/45527 , C23C16/45542 , C23C16/515
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