公开(公告)号：TWI410513B

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：TW096137237

申请日：2007-10-04

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 王長工 ,  WANG, CHANG-GONG ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN

IPC: C23C16/00 ,  C30B25/14

CPC classification number: C23C16/405 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45531

公开(公告)号：TWI493071B

公开(公告)日：2015-07-21

申请号：TW096124005

申请日：2007-07-02

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 王長工 ,  WANG, CHANG-GONG ,  雪洛 艾立克J. ,  SHERO, ERIC J. ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM

IPC: C23C16/30 ,  C23C16/44

CPC classification number: H01L21/3141 ,  C23C16/401 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/45542 ,  H01L21/28194 ,  H01L21/31612 ,  H01L21/31645

公开(公告)号：TWI443221B

公开(公告)日：2014-07-01

申请号：TW096139836

申请日：2007-10-24

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK ,  威爾克 葛嵐 ,  WILK, GLEN ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN

IPC: C23C16/32

CPC classification number: C23C16/32 ,  C23C16/45527 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/515

公开(公告)号：TWI397110B

公开(公告)日：2013-05-21

申请号：TW095108719

申请日：2006-03-15

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 努頓 莎貝之聖E 凡 ,  NOOTEN, SEBASTIAN E. VAN ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN ,  拉薩內尼 佩托 ,  RAISANEN, PETRI ,  艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/8242

CPC classification number: H01J37/32082 ,  C23C16/045 ,  C23C16/403 ,  C23C16/448 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/50 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/52 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32935 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3141 ,  H01L21/3162 ,  H01L29/66181