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公开(公告)号：TWI382456B
公开(公告)日：2013-01-11
申请号：TW093122682
申请日：2004-07-29
Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 爾瑞那 謙托J , ARENA, CHANTAL J. , 托馬西尼 皮爾瑞 , TOMASINI, PIERRE , 寇帝 奈爾 , CODY, NYLES , 波爾 麥特喜愛斯 , BAUER, MATTHIAS
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C30B29/06 , C30B25/02 , C30B29/52 , H01L21/0245 , H01L21/02494 , H01L21/02502 , H01L21/02532 , H01L21/0262
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