公开(公告)号：TWI385714B

公开(公告)日：2013-02-11

申请号：TW095103696

申请日：2006-02-03

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 波爾 麥特喜愛斯 ,  BAUER, MATTHIAS ,  艾倫奈 權特爾 ,  ARENA, CHANTAL ,  培特朗 羅奈爾德 ,  BERTRAM, RONALD ,  托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE ,  寇帝 奈爾 ,  CODY, NYLES ,  布蘭特 保羅 ,  BRABANT, PAUL ,  義特理諾 喬瑟分 ,  ITALIANO, JOSEPH ,  雅各布森 保羅 ,  JACOBSON, PAUL ,  威克斯 基斯 多倫 ,  WEEKS, KEITH DORAN

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01L29/7848 ,  C23C16/04 ,  C23C16/22 ,  C23C16/24 ,  C23C16/32 ,  C23C16/325 ,  C23C16/45512 ,  C30B25/02 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02636 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/32056 ,  H01L21/3215 ,  H01L29/165 ,  H01L29/66628 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/7834

公开(公告)号：TWI382456B

公开(公告)日：2013-01-11

申请号：TW093122682

申请日：2004-07-29

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 爾瑞那 謙托J ,  ARENA, CHANTAL J. ,  托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE ,  寇帝 奈爾 ,  CODY, NYLES ,  波爾 麥特喜愛斯 ,  BAUER, MATTHIAS

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B25/02 ,  C30B29/52 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02494 ,  H01L21/02502 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262

公开(公告)号：TWI443713B

公开(公告)日：2014-07-01

申请号：TW097141223

申请日：2008-10-27

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE ,  寇帝 奈爾 ,  CODY, NYLES

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/205 ,  C23C16/24 ,  C23C16/22

CPC classification number: H01L29/167 ,  C23C16/04 ,  C23C16/22 ,  C30B25/02 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02636

公开(公告)号：TWI547975B

公开(公告)日：2016-09-01

申请号：TW101148792

申请日：2012-12-20

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 寇帝 奈爾W ,  CODY, NYLES W. ,  湯瑪斯 蕭恩 ,  THOMAS, SHAWN ,  托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02661

公开(公告)号：TWI509699B

公开(公告)日：2015-11-21

申请号：TW097133445

申请日：2008-09-01

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 湯瑪斯 蕭恩 ,  THOMAS, SHAWN ,  托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE

IPC: H01L21/336 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L29/0847 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02447 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02639 ,  H01L29/165 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/78 ,  H01L29/7848 ,  Y10T428/2462

公开(公告)号：TWI466174B

公开(公告)日：2014-12-21

申请号：TW095103699

申请日：2006-02-03

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 波爾 麥特喜愛斯 ,  BAUER, MATTHIAS ,  威克斯 基斯 多倫 ,  WEEKS, KEITH DORAN ,  托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE ,  寇帝 奈爾 ,  CODY, NYLES

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/7848 ,  C23C16/04 ,  C23C16/22 ,  C23C16/24 ,  C23C16/32 ,  C23C16/325 ,  C23C16/45512 ,  C30B25/02 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02636 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/32056 ,  H01L21/3215 ,  H01L29/165 ,  H01L29/66628 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/7834

公开(公告)号：TW201327637A

公开(公告)日：2013-07-01

申请号：TW101148792

申请日：2012-12-20

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 寇帝 奈爾W ,  CODY, NYLES W. ,  湯瑪斯 蕭恩 ,  THOMAS, SHAWN ,  托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02661

Abstract: 用於在現場沈積之前進行低溫清潔一半導體表面之方法具有高產量及消耗非常少之熱預算。GeH4在該表面上沈積Ge且將任何表面氣轉換為GeOx。諸如Cl2或HCl之一蝕刻劑移除Ge及任何GeOx且之後係磊晶沈積。可因至該基板中之擴散而在該基板上剩下Ge濃度之一尖峰。可在比習知烘焙步驟更低之溫度下循序現場地進行所有三個步驟。

Abstract in simplified Chinese: 用于在现场沉积之前进行低温清洁一半导体表面之方法具有高产量及消耗非常少之热预算。GeH4在该表面上沉积Ge且将任何表面气转换为GeOx。诸如Cl2或HCl之一蚀刻剂移除Ge及任何GeOx且之后系磊晶沉积。可因至该基板中之扩散而在该基板上剩下Ge浓度之一尖峰。可在比习知烘焙步骤更低之温度下循序现场地进行所有三个步骤。