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公开(公告)号：TWI490919B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW098137301
申请日：2009-11-03
Applicant: ASM美國股份有限公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 吉文斯 麥克 , GIVENS, MICHAEL , 古德曼 馬修G , GOODMAN, MATTHEW G. , 霍金斯 馬克 , HAWKINS, MARK , 哈勒克 布拉德 , HALLECK, BRAD , 特后司特 赫伯特 , TERHORST, HERBERT
IPC: H01L21/20
CPC classification number: H01L21/6719 , C23C16/45504 , C23C16/45589 , C23C16/45591
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