公开(公告)号：TWI490919B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：TW098137301

申请日：2009-11-03

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 吉文斯 麥克 ,  GIVENS, MICHAEL ,  古德曼 馬修G ,  GOODMAN, MATTHEW G. ,  霍金斯 馬克 ,  HAWKINS, MARK ,  哈勒克 布拉德 ,  HALLECK, BRAD ,  特后司特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/6719 ,  C23C16/45504 ,  C23C16/45589 ,  C23C16/45591

公开(公告)号：TWI412063B

公开(公告)日：2013-10-11

申请号：TW095101879

申请日：2006-01-18

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 馬伊夫 維基 ,  VERGHESE, MOHITH ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  貝比克 達寇 ,  BABIC, DARKO ,  特后司特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT ,  沛薩 瑪寇 ,  PEUSSA, MARKO ,  洋 敏 ,  YAN, MIN

IPC: H01L21/00 ,  C23C16/455 ,  C30B25/14

CPC classification number: H01L21/68785 ,  C23C16/4408 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45517 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45582 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/458 ,  C23C16/4582 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/4586 ,  C30B35/00 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68742

公开(公告)号：TWI531675B

公开(公告)日：2016-05-01

申请号：TW099110511

申请日：2010-04-06

Applicant: ASM美國公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 哈爾平 麥可 ,  HALPIN, MIKE ,  馬瑞司 丹 ,  MAURICE, DAN ,  席羅 艾瑞克 ,  SHERO, ERIC ,  特豪斯特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT ,  佛吉斯 摩希茲 ,  VERGHESE, MOHITH ,  懷特 卡爾 ,  WHITE, CARL

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/45502 ,  C23C16/45504 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45591 ,  H01L21/0228 ,  Y10T137/85938