公开(公告)号：TWI457983B

公开(公告)日：2014-10-21

申请号：TW097115888

申请日：2008-04-30

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 米利根 羅伯特B. ,  MILLIGAN, ROBERT B.

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/28562 ,  C23C16/14 ,  C23C16/34 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/56 ,  H01L21/76843

公开(公告)号：TWI508175B

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：TW099101667

申请日：2010-01-21

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 米利根 羅伯特B ,  MILLIGAN, ROBERT B. ,  李 東 ,  LI, DONG ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L23/562 ,  C23C16/32 ,  C23C16/36 ,  C23C16/45542 ,  H01L21/28088 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/517 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00