公开(公告)号：TWI397110B

公开(公告)日：2013-05-21

申请号：TW095108719

申请日：2006-03-15

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 努頓 莎貝之聖E 凡 ,  NOOTEN, SEBASTIAN E. VAN ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN ,  拉薩內尼 佩托 ,  RAISANEN, PETRI ,  艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/8242

CPC classification number: H01J37/32082 ,  C23C16/045 ,  C23C16/403 ,  C23C16/448 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/50 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/52 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32935 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3141 ,  H01L21/3162 ,  H01L29/66181