公开(公告)号：TWI489526B

公开(公告)日：2015-06-21

申请号：TW099114330

申请日：2010-05-05

Applicant: ASM美洲公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 阿嘉瓦 拉凡德K ,  AGGARWAL, RAVINDER K. ,  哈洛 羅伯C ,  HARO, ROBERT C.

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/52 ,  G01K7/04 ,  G05D23/22

CPC classification number: G01K7/02 ,  G01K7/04

公开(公告)号：TW201115627A

公开(公告)日：2011-05-01

申请号：TW099114330

申请日：2010-05-05

Applicant: ASM美洲公司

Inventor： 阿嘉瓦 拉凡德K ,  哈洛 羅伯C

IPC: H01L ,  C23C ,  G01K ,  G05D

CPC classification number: G01K7/02 ,  G01K7/04

Abstract: 本發明提供一種用於提供溫度測量的改良式熱耦組件。該熱耦組件包括具有一測量尖端的護套,接收在該護套之內的一支撐構件,及設置在該支撐構件內的第一與第二線材。該等第一線材與第二線材之每一者的末端被熔融在一起,以在其間形成一熱耦接頭。一凹陷區域形成在該支撐構件的一遠端中,且該熱耦接頭被固定地設置在該凹陷區域的基底處,使得該凹陷區域相對於該護套的該測量尖端將該熱耦接頭維持在一實質固定的位置處。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种用于提供温度测量的改良式热耦组件。该热耦组件包括具有一测量尖端的护套,接收在该护套之内的一支撑构件,及设置在该支撑构件内的第一与第二线材。该等第一线材与第二线材之每一者的末端被熔融在一起,以在其间形成一热耦接头。一凹陷区域形成在该支撑构件的一远程中,且该热耦接头被固定地设置在该凹陷区域的基底处,使得该凹陷区域相对于该护套的该测量尖端将该热耦接头维持在一实质固定的位置处。